一种硅片刻蚀带叶滚轮装置的制作方法

文档序号:15869590发布日期:2018-11-07 21:09阅读:215来源:国知局

本实用新型涉及硅片刻蚀技术领域,具体为一种硅片刻蚀带叶滚轮装置。



背景技术:

太阳能电池是人们利用太阳能的一种主要方式,其主要部件是太阳能电池片。太阳能电池片是由硅片经过表面制绒、扩散制结、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等工艺过程制备而成。其中,刻蚀工艺是太阳能电池片制造过程中的一个重要工序,目的是去除硅片下表面及四个侧面的PN结,以达到上下表面绝缘的目的,同时去除下表面及四个侧面的磷硅玻璃层,当前太阳能电池制造时常用的一种刻蚀方法是湿法刻蚀,通过化学试剂腐蚀掉硅片下表面及四个侧面的PN结及磷硅玻璃层。湿法刻蚀工艺是在湿法刻蚀槽内进行,但是,传统的滚轮轴为平面滚轮轴,与酸的接触面过大,造成成本的增加,且现有的滚轮轴安装均为卡入底座内,安装不牢靠,在传动过程中会出现跳动,造成对硅片的损伤,影响刻蚀的质量。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种硅片刻蚀带叶滚轮装置,以解决上述背景技术中提出的传统的滚轮轴为平面滚轮轴,与酸的接触面过大,造成成本的增加,且现有的滚轮轴安装均为卡入底座内,安装不牢靠,在传动过程中会出现跳动,造成对硅片的损伤,影响刻蚀的质量的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片刻蚀带叶滚轮装置,包括底座,所述底座的顶部均匀开设有卡槽,所述底座的顶部均匀开设有第一固定螺孔,两组所述卡槽在两组第一固定螺孔之间,所述底座的顶部连接有挡板,所述挡板的底部均匀开设有压槽,所述挡板的顶部均匀连接有第二固定螺孔,两组所述压槽在两组第二固定螺孔之间,所述卡槽与压槽之间连接有带叶滚轮,所述底座与挡板的左侧连接有支撑柱,所述支撑柱的右侧镶嵌有轴承,所述底座的右侧底部连接有电机底座,所述电机底座的顶部连接有电机,所述电机的左侧输出轴连接有转轴,所述转轴的左端插接在轴承的内腔,所述转轴的外壁均匀套接有斜齿轮,所述斜齿轮的左侧与带叶滚轮的右侧连接,所述带叶滚轮包括支柱,所述支柱的外壁开设有螺纹,所述支柱的左右两端均连接有齿轮。

优选的,所述第一固定螺孔与第二固定螺孔均为M固定螺孔。

优选的,所述卡槽与压槽一一对应。

优选的,所述电机为伺服电机。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型将原有的平面滚轮轴变为带叶滚轮,减少了与酸的接触面,减少了成本,本实用新型滚轮轴通过挡板和螺钉将其固定在底座上,降低了滚轮轴的跳动,提高了生产质量。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型前视图;

图3为本实用新型带叶滚轮结构示意图。

图中:1底座、2卡槽、3第一固定螺孔、4挡板、5压槽、6第二固定螺孔、7带叶滚轮、71支柱、72齿轮、73螺纹、8支撑柱、9轴承、10电机底座、11电机、12转轴、13斜齿轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种硅片刻蚀带叶滚轮装置,包括底座1,底座1的顶部均匀开设有卡槽2,底座1的顶部均匀开设有第一固定螺孔3,两组卡槽2在两组第一固定螺孔3之间,底座1的顶部连接有挡板4,挡板4的底部均匀开设有压槽5,挡板4的顶部均匀连接有第二固定螺孔6,两组压槽5在两组第二固定螺孔6之间,卡槽2与压槽5之间连接有带叶滚轮7,底座1与挡板4的左侧连接有支撑柱8,支撑柱8的右侧镶嵌有轴承9,底座1的右侧底部连接有电机底座10,电机底座10的顶部连接有电机11,电机11的左侧输出轴连接有转轴12,转轴12的左端插接在轴承9的内腔,转轴12的外壁均匀套接有斜齿轮13,斜齿轮13的左侧与带叶滚轮7的右侧连接,带叶滚轮7包括支柱71,支柱71的外壁开设有螺纹73,支柱71的左右两端均连接有齿轮72。

其中,第一固定螺孔3与第二固定螺孔6均为M4固定螺孔,槽2与压槽5一一对应,电机11为伺服电机。

工作原理:将带叶滚轮7放置于卡槽2上,将挡板4压在带叶滚轮7上,将螺钉穿过第二固定螺孔6,放到第一固定螺孔3内拧紧固定,防止带叶滚轮7的跳动,将齿轮72与斜齿轮13连接,启动电机11,电机11带动转轴12旋转,转轴12带动斜齿轮13旋转,斜齿轮13带动齿轮72旋转,齿轮72带动支柱71旋转,支柱71旋转带动螺纹73上的硅片移动进行刻蚀,支柱71的外壁上设置有螺纹73,有效的减少了与酸的接触面,减少成本。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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