一种多晶硅玻璃电池薄膜的制作方法

本实用新型涉及电池薄膜的技术领域，具体为一种多晶硅玻璃电池薄膜。

背景技术：

目前电池技术是电动汽车等新能源设备进行推广和发展的门槛，而目前的电池产业正处于铅酸电池和传统锂电池发展遭遇瓶颈的时期，石墨烯储能设备的研制成功，则会带来电池产业，新能源产业的新的变革。

但现有的多晶硅玻璃电池薄膜，其不足之处在于多晶硅玻璃电池薄膜在其使用的时候会出现以下四种不足之处，首先多晶硅玻璃电池薄膜的安全性不高，然后多晶硅玻璃电池薄膜的密封性不强，接着多晶硅玻璃电池薄膜的致密性差，紧接着多晶硅玻璃电池薄膜的保护能力不好。

所以，如何设计一种多晶硅玻璃电池薄膜，成为我们当前要解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅玻璃电池薄膜，以解决上述背景技术中提出安全性不高，密封性不强，致密性差以及保护能力不好的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅玻璃电池薄膜，包括电池薄膜装置主体、壳体、背板和多晶硅玻璃，所述电池薄膜装置主体的表面设置有壳体，所述壳体通过焊接条紧密焊接在电池薄膜装置主体上，所述电池薄膜装置主体的顶部设置有前板，所述前板通过板体紧密贴合在电池薄膜装置主体上，所述电池薄膜装置主体的底部右侧设置有丁基热熔胶，所述丁基热熔胶通过板体紧密贴合在电池薄膜装置主体上，所述电池薄膜装置主体的底部设置有背板，所述背板通过焊接条紧密焊接在电池薄膜装置主体上，所述电池薄膜装置主体的顶端设置有多晶硅玻璃，所述多晶硅玻璃通过焊接条紧密焊接在电池薄膜装置主体上，所述多晶硅玻璃的底端设置有半导体衬底，所述半导体衬底通过板体紧密贴合在多晶硅玻璃上，所述半导体衬底的顶部设置有栅极氧化层，所述栅极氧化层通过胶水固定连接在半导体衬底上，所述栅极氧化层的顶部设置有多晶硅层，所述多晶硅层通过胶水固定连接在栅极氧化层上，所述多晶硅层的顶部设置有多晶硅氧化硅层，所述多晶硅氧化硅层通过焊接条紧密焊接在多晶硅层上，所述多晶硅氧化硅层的顶部设置有硬掩膜层，所述硬掩膜层通过板体紧密贴合在多晶硅氧化硅层上，所述多晶硅玻璃的顶端设置有光阻层，所述光阻层通过焊接条紧密焊接在多晶硅玻璃上，所述光阻层的底部设置有有机抗反射层，所述有机抗反射层通过板体紧密贴合在光阻层上，所述有机抗反射层的底部设置有无机抗反射层，所述无机抗反射层通过胶水固定连接在有机抗反射层上。

进一步的，所述前板的底部设置有防爆膜，所述防爆膜通过板体紧密贴合在前板上。

进一步的，所述电池薄膜装置主体的底部左侧设置有结构硅胶，所述结构硅胶通过焊接条紧密焊接在电池薄膜装置主体上。

进一步的，所述硬掩膜层的顶部设置有氧化硅层，所述氧化硅层通过焊接条紧密焊接在硬掩膜层上。

进一步的，所述无机抗反射层的底部设置有不定形碳层，所述不定形碳层通过焊接条紧密焊接在无机抗反射层上。

进一步的，所述防爆膜设置有两块，主要是以玻璃材质制作而成。

进一步的，所述结构硅胶设置有两块，分别设置在电池薄膜装置主体的底部左侧和右侧部位。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种多晶硅玻璃电池薄膜，设置有防爆膜，防爆膜可以进行对前板以及丁基热熔胶和结构硅胶进行非常有效的防爆保护，而且还具备隔热的作用，防爆膜本身就具有很强的韧性，不容易轻易的破碎，防爆膜很好的提高了电池薄膜装置主体的安全性，设置有结构硅胶，结构硅胶属于结构胶，粘接的强度非常的好，可以有效的保护丁基热熔胶，使得达到一个良好的密封状态，结构硅胶很好的提高了电池薄膜装置主体的密封性，设置有氧化硅层，氧化硅层可以非常方便的进行后续刻蚀，使含氮的硬掩膜层和多晶硅层进行刻蚀，另一方面用于阻挡所述含氮的硬掩膜层中的游离氮，氧化硅层很好的提高了电池薄膜装置主体的致密性，设置有不定形碳层，不定形碳层属于比较稳定的一个层体，可以防止在蚀刻的过程中电池薄膜装置主体会出现崩塌的后果，不定形碳层很好的提高了电池薄膜装置主体的保护能力。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的电池薄膜装置主体剖面结构示意图；

图3是本实用新型的多晶硅玻璃剖面结构示意图。

图中：1、电池薄膜装置主体，101、壳体，102、前板，103、防爆膜， 104、丁基热熔胶，105、结构硅胶，2、背板，3、多晶硅玻璃，301、半导体衬底，302、栅极氧化层，303、多晶硅层，304、多晶硅氧化硅层，305、硬掩膜层，306、氧化硅层，307、不定形碳层，308、无机抗反射层，309、有机抗反射层，3010、光阻层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅玻璃电池薄膜，包括电池薄膜装置主体1、壳体101、背板2和多晶硅玻璃3，电池薄膜装置主体1的表面设置有壳体101，壳体101通过焊接条紧密焊接在电池薄膜装置主体1上，电池薄膜装置主体1的顶部设置有前板102，前板102通过板体紧密贴合在电池薄膜装置主体1上，电池薄膜装置主体1的底部右侧设置有丁基热熔胶104，丁基热熔胶104通过板体紧密贴合在电池薄膜装置主体1上，电池薄膜装置主体1的底部设置有背板2，背板2通过焊接条紧密焊接在电池薄膜装置主体1上，电池薄膜装置主体1的顶端设置有多晶硅玻璃3，多晶硅玻璃3通过焊接条紧密焊接在电池薄膜装置主体1上，多晶硅玻璃3的底端设置有半导体衬底301，半导体衬底301通过板体紧密贴合在多晶硅玻璃3 上，半导体衬底301的顶部设置有栅极氧化层302，栅极氧化层302通过胶水固定连接在半导体衬底301上，栅极氧化层302的顶部设置有多晶硅层303，多晶硅层303通过胶水固定连接在栅极氧化层302上，多晶硅层303的顶部设置有多晶硅氧化硅层304，多晶硅氧化硅层304通过焊接条紧密焊接在多晶硅层303上，多晶硅氧化硅层304的顶部设置有硬掩膜层305，硬掩膜层305 通过板体紧密贴合在多晶硅氧化硅层304上，多晶硅玻璃3的顶端设置有光阻层3010，光阻层3010通过焊接条紧密焊接在多晶硅玻璃3上，光阻层3010 的底部设置有有机抗反射层309，有机抗反射层309通过板体紧密贴合在光阻层3010上，有机抗反射层309的底部设置有无机抗反射层308，无机抗反射层308通过胶水固定连接在有机抗反射层308上。

进一步的，前板102的底部设置有防爆膜103，防爆膜103通过板体紧密贴合在前板102上，防爆膜103可以进行对前板102以及丁基热熔胶104和结构硅胶105进行非常有效的防爆保护，而且还具备隔热的作用，防爆膜103 本身就具有很强的韧性，不容易轻易的破碎，防爆膜103很好的提高了电池薄膜装置主体1的安全性。

进一步的，电池薄膜装置主体1的底部左侧设置有结构硅胶105，结构硅胶105通过焊接条紧密焊接在电池薄膜装置主体1上，结构硅胶105属于结构胶，粘接的强度非常的好，可以有效的保护丁基热熔胶104，使得达到一个良好的密封状态，结构硅胶105很好的提高了电池薄膜装置主体1的密封性。

进一步的，硬掩膜层305的顶部设置有氧化硅层306，氧化硅层306通过焊接条紧密焊接在硬掩膜层305上，氧化硅层306可以非常方便的进行后续刻蚀，使含氮的硬掩膜层305和多晶硅层303进行刻蚀，另一方面用于阻挡所述含氮的硬掩膜层305中的游离氮，氧化硅层306很好的提高了电池薄膜装置主体1的致密性。

进一步的，无机抗反射层308的底部设置有不定形碳层307，不定形碳层 307通过焊接条紧密焊接在无机抗反射层308上，不定形碳层307属于比较稳定的一个层体，可以防止在蚀刻的过程中电池薄膜装置主体1会出现崩塌的后果，不定形碳层307很好的提高了电池薄膜装置主体1的保护能力。

进一步的，防爆膜103设置有两块，主要是以玻璃材质制作而成，很好的提高了电池薄膜装置主体1的整体安全性。

进一步的，结构硅胶105设置有两块，分别设置在电池薄膜装置主体1 的底部左侧和右侧部位，很好的提高了电池薄膜装置主体1的整体密封性。

工作原理：首先将该种多晶硅玻璃电池薄膜安装好，然后防爆膜103可以进行对前板102以及丁基热熔胶104和结构硅胶105进行非常有效的防爆保护，而且还具备隔热的作用，防爆膜103本身就具有很强的韧性，不容易轻易的破碎，防爆膜103很好的提高了电池薄膜装置主体1的安全性，接着结构硅胶105属于结构胶，粘接的强度非常的好，可以有效的保护丁基热熔胶104，使得达到一个良好的密封状态，结构硅胶105很好的提高了电池薄膜装置主体1的密封性，紧接着氧化硅层306可以非常方便的进行后续刻蚀，使含氮的硬掩膜层305和多晶硅层303进行刻蚀，另一方面用于阻挡所述含氮的硬掩膜层305中的游离氮，氧化硅层306很好的提高了电池薄膜装置主体1的致密性，最后不定形碳层307属于比较稳定的一个层体，可以防止在蚀刻的过程中电池薄膜装置主体1会出现崩塌的后果，不定形碳层307很好的提高了电池薄膜装置主体1的保护能力，这就是该种多晶硅玻璃电池薄膜工作原理。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。