硅片花篮的翻转机构的制作方法

文档序号:16405056发布日期:2018-12-25 20:22阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片花篮的翻转机构,其特征在于,包括支架、以及铰接于所述支架的托盘和翻转气缸,所述支架至少包括上下相对水平设置的第一横梁和第二横梁以及竖直设置于所述第一横梁和第二横梁之间的支撑杆,所述第一横梁和第二横梁两端分别设有第一安装板,所述第一横梁的顶面设有第二安装板,所述托盘底端铰接于所述第二安装板,所述第二横梁一侧凸伸有安装杆,所述翻转气缸缸筒的一端铰接于所述安装杆,所述翻转气缸的活塞杆铰接于所述托盘,所述托盘包括挡板和分别设置于所述挡板两端的第一固定夹和第二固定夹,所述第一固定夹铰接于所述第二安装板。

2.根据权利要求1所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述第二安装板与所述第一固定夹之间设有铰接板,所述铰接板背离所述安装杆的一侧凸伸于所述第一横梁,所述铰接板内凹设有第一让位槽,所述铰接板上设有可转动的转轴,所述转轴两端分别通过轴承座固定于所述第一让位槽的两侧,所述第一固定夹铰接于所述转轴。

3.根据权利要求2所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述第一固定夹包括相互垂直第三安装板和第一连接板,所述第三安装板通过第一加强筋固定于所述挡板,所述第三安装板背离所述第一加强筋的一侧端面与挡板的端面齐平,所述第一连接板一端固定于所述第一加强筋,所述第三安装板背离所述第一加强筋的一侧端面固定有第一夹紧气缸,所述第一连接板背离所述第三安装板的一侧通过两平行设置的铰接块铰接于所述转轴。

4.根据权利要求3所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述第一夹紧气缸为多轴气缸,所述第一夹紧气缸的固定板端部设有第一夹紧块。

5.根据权利要求4所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述第一夹紧块的截面呈L型结构,包括相互垂直的第四安装板和第一夹紧板,所述第四安装板固定于所述夹紧气缸的固定板,所述第一夹紧板设置于所述第四安装板背离所述夹紧气缸的一侧,所述第一夹紧板内凹设有与硅片花篮对应设置的第二让位槽。

6.根据权利要求3所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述铰接块靠近所述转轴的一端凸伸有圆弧第一凸台,所述第一凸台内凹设有通孔,所述通孔套设于所述转轴。

7.根据权利要求1所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述第二固定夹包括第五安装板和第二夹紧气缸,所述第五安装板通过第二加强筋固定于所述挡板,所述第二夹紧气缸固定于所述第五安装板。

8.根据权利要求7所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述第二夹紧气缸为手指气缸,所述第二夹紧气缸的气爪分别设有相对设置的第二夹紧块。

9.根据权利要求8所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述第二夹紧块背离对应所述气爪的一侧端面凸伸有第二凸台,所述第二凸台内凹设有圆弧槽,所述第二凸台和圆弧槽与硅片花篮对应设置。

10.根据权利要求1所述的硅片花篮的翻转机构,其特征在于:所述第二固定夹的两侧分别设有限位块,所述限位块加工有导向斜面。

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