一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备的制作方法

本实用新型涉及湿式制程设备领域，尤其涉及一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备。

背景技术：

随着国家的不断发展，各个产业也在转型升级，其中对半导体行业的投入也逐渐加大，目前的半导体湿式制程中，各槽体都有设置抽气设备,但在各槽体间的连结处并未单独设置上抽气，容易造成反应气体泄漏并逸散至下一槽体内或作业环境中造成污染，从而影响半导体产品的质量。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种预防反应气体逸散至下一槽体内且设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备，包括抽气装置，所述抽气装置的下方设有槽体，所述槽体包括第一槽体和第二槽体，所述抽气装置设置在第一槽体和第二槽体的上壁之间，所述抽气装置包括抽气主体和进风罩，所述进风罩的内侧设有十块叶片，所述叶片通过转轴转动连接在进风罩的两侧内壁上，所述叶片固定安装在转轴上，所述叶片的一端设有条形通槽，所述叶片一端端部之间设有圆球，所述圆球之间通过弹力绳进行连接，所述弹力绳穿过条形通槽连接在相邻圆球的表面，所述弹力绳的两端分别连接在进风罩的内壁两侧，所述进风罩穿过槽体上壁并延伸至槽体内部，所述抽气装置的抽气主体外侧设有固定板，所述固定板设置在抽气主体与槽体上表面交接处，所述固定板的两侧通过螺栓分别固定安装在抽气主体和槽体上表面，所述槽体下方设有传动机构，所述传动机构上侧放置有加工元件。

优选的，所述固定板的下方设有密封垫，防止槽体内的化学气体逸出对人员构成危害。

优选的，中间位置的所述圆球的上侧设有螺杆，所述螺杆的下端设有限位块，中间位置的所述圆球的内侧设有限位槽，所述限位块转动连接在限位槽内，所述螺杆的上端穿过进风罩上壁和固定板并延伸至固定板上方且固定连接有把柄，所述螺杆的外侧螺接有螺母，所述螺母固定连接在固定板的上表面处，使圆球整体向上移动，从而改变叶片的朝向，增大抽气装置的进风范围。

优选的，所述圆球的直径等于相邻竖直叶片的内侧面之间的距离，使圆球可以在叶片间移动。

本实用新型的有益效果：

本实用新型将抽气装置独立设置于第一槽体与第二槽体连结的间隙的上方,防止第一槽体产生的气体泄漏进入第二槽体造成污染，通过在叶片之间设置圆球来使各叶片角度不均匀的旋转，从而使叶片的朝向呈放射形，增大了抽气装置的抽气范围，有效防止了制造工件产生的反应气体从抽气装置的前后侧泄漏，提高了工件的加工环境，保证了产品的质量。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备结构正视图；

图2是本实用新型的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备结构侧视图；

图3是本实用新型的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备中抽气装置的结构侧视图；

图4是本实用新型的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备中抽进气罩的结构仰视图；

图5是本实用新型的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备中叶片的结构示意图；

图6是本实用新型的一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备中抽气装置的局部结构图。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-6所示，一种设置在半导体湿式制程槽体连接处的抽取设备，包括抽气装置1，所述抽气装置1的下方设有槽体2，所述槽体2包括第一槽体3和第二槽体4，所述抽气装置1设置在第一槽体3和第二槽体4的上壁之间，所述抽气装置1包括抽气主体5和进风罩6，所述进风罩6的内侧设有十块叶片7，所述叶片7通过转轴8转动连接在进风罩6的两侧内壁上，所述叶片7固定安装在转轴8上，所述叶片7的一端设有条形通槽9，所述叶片7一端端部之间设有圆球10，所述圆球10之间通过弹力绳11进行连接，所述弹力绳11穿过条形通槽9连接在相邻圆球10的表面，所述弹力绳11的两端分别连接在进风罩6的内壁两侧，所述进风罩6穿过槽体2上壁并延伸至槽体2内部，所述抽气装置1的抽气主体外侧设有固定板12，所述固定板12设置在抽气主体5与槽体3上表面交接处，所述固定板12的两侧通过螺栓分别固定安装在抽气主体5和槽体3上表面，所述抽气主体5上端设有排气管13，所述槽体3下方设有传动机构14，所述传动机构14上侧放置有加工元件15。

其中，所述固定板的下方设有密封垫16，防止槽体3内的化学气体逸出对人员构成危害，中间位置的所述圆球10的上侧设有螺杆17，所述螺杆17的下端设有限位块18，中间位置的所述圆球10的内侧设有限位槽19，所述限位块18转动连接在限位槽19内，所述螺杆17的上端穿过进风罩6上壁和固定板12并延伸至固定板12上方且固定连接有把柄20，所述螺杆17的外侧螺接有螺母21，所述螺母21固定连接在固定板12的上表面处，使圆球10整体向上移动，从而改变叶片7的朝向，增大抽气装置1的进风范围，所述圆球10的直径等于相邻竖直叶片7的内侧面之间的距离，使圆球可以在叶片7间移动。

本实用新型的工作原理是：

操作人员转动把柄20，带动螺杆17的转动，螺杆通过螺母21的内侧螺纹的作用向上移动，螺杆17带动中间位置的圆球10向上移动，中间位置的圆球10通过弹力绳11带动两侧的圆球10向上方移动，从而带动各叶片7的不均匀旋转，使叶片7的朝向呈放射形，抽气装置1的抽气范围增大，防止反应气体从槽体3上方的前后两侧泄漏。

本实用新型将抽气装置独立设置于第一槽体3与第二槽体4连结的间隙的上方,防止第一槽体3产生的气体泄漏进入第二槽体4造成污染，通过在叶片7之间设置圆球10来使各叶片角度不均匀的旋转，从而使叶片7的朝向呈放射形，增大了抽气装置1的抽气范围，有效防止了制造工件产生的反应气体从抽气装置1的前后侧泄漏，提高了工件的加工环境，保证了产品的质量。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。