用于石墨舟硅片取放的吸盘组件的制作方法

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池领域，具体涉及一种用于石墨舟硅片取放的吸盘组件。

背景技术：

在晶体硅太阳能电池硅片的制造过程中，太阳能电池硅片通常由硅片承载舟承载后再进行加工处理。PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)镀膜工艺是利用强电场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在硅片表面形成固态薄膜。在该工艺中，需要先将未镀膜的硅片插入至石墨舟上，完成镀膜后，再将硅片自石墨舟上取出，由于石墨材质较软的特性，随着使用时间的推移，石墨舟容易变形，常规的吸盘组件无法与变形后的石墨舟匹配，导致硅片无法插入至石墨舟上及无法自石墨舟上取出硅片。

现有将硅片放置于变形后的石墨舟上或将硅片从变形后的石墨舟上取出时采用人工取放，效率低下，同时硅片容易在插片及取片过程中受到不同程度的污染及划伤，影响产品质量。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种晶体硅太阳能电池加工生产中用于石墨舟硅片取放的吸盘组件，以解决上述现有技术存在的不足。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种用于石墨舟硅片取放的吸盘组件，所述吸盘组件包括安装部和连接在所述安装部下侧的吸取部；所述安装部内设有第一气道；所述吸取部包括基板，沿所述基板的纵轴方向平行开设有多条容纳槽，在每条所述容纳槽内设有一根气管；每条所述容纳槽的下端连通地设有一个吸盘通槽；所述每根气管的上端均连通所述第一气道，所述每根气管的下端均连接有一吸盘，所述吸盘位于所述吸盘通槽中；每个所述吸盘通槽的周围连通地设有四条弹簧通槽，每条所述弹簧通槽中均设有弹簧，所述弹簧的一端连接在所述吸盘上，另一端连接在所述基板上；

所述吸盘包括壳体，在所述壳体内设置有第二气道，在所述壳体的正面开设有第一吸气口，所述第二气道连通所述第一吸气口与所述气管的下端；

所述第一吸气口为设于所述正面中心的圆形孔，所述正面依次设有位于所述第一吸气口外周的第一环形凸台、位于所述第一环形凸台外周的环形凹槽和位于所述环形凹槽外周的第二环形凸台；

在所述环形凹槽上开设有至少一个第二吸气口，所述第二气道连通所述第二吸气口与所述气管的下端。

作为对上述方案的改进，所述第一环形凸台与所述第二环形凸台高度相同。

作为对上述方案的改进，在所述基板上开设有第一固定孔，在所述壳体的对应位置上开设有第二固定孔，所述弹簧的两端分别连接在所述第一固定孔和所述第二固定孔上。

作为对上述方案的改进，所述容纳槽设有三条，三条所述容纳槽的下端连通地设有三个所述吸盘通槽，位于所述三个吸盘通槽中的三个吸盘的中心组成一个等腰三角形。

作为对上述方案的改进，在所述安装部的一侧设有抽气嘴，所述抽气嘴连接在所述第一气道上。

本实用新型所提供的用于石墨舟硅片取放的吸盘组件，适用于将硅片放置于石墨舟上或将硅片自石墨舟上取出，其具备优异的弹性，可应对石墨舟的易变形性，同时可缓冲吸盘组件作用于硅片上的压迫力，降低硅片被压坏损伤的几率；克服了人工取放硅片可能造成的硅片表面划伤，降低了硅片被污染的几率，提高了生产效率的同时提高了成品率。

附图说明

图1是本实用新型实施例中用于石墨舟硅片取放的吸盘组件的结构示意图；

图2是图1中的A部放大图；

图3是本实用新型实施例中吸盘的主视图；

图4本实用新型实施例中吸盘的俯视图。

附图中各部件的标记如下：10-安装部；11-抽气嘴；21-基板； 210-容纳槽；211-吸盘通槽；2110-弹簧通槽；212-第一固定孔；22- 气管；23-吸盘；230-壳体；2301-壳体正面；231-第二气道；232- 第一吸气口；233-第一环形凸台；234-环形凹槽；235-第二环形凸台； 236-第二吸气口；237-第二固定孔；24-弹簧。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“纵”、“横”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

本实用新型提供了一种用于石墨舟硅片取放的吸盘组件，用于将硅片插入石墨舟或自石墨舟取出硅片，请参阅图1-图2，图1和图2 示出了本实用新型实施例中所述吸盘组件的结构，所述吸盘组件包括安装部10和连接在所述安装部10下侧的吸取部。所述吸盘组件通过所述安装部10安装至机械手等抓取组件上；所述吸取部用于吸取硅片插入至石墨舟上，或将石墨舟上的硅片吸取并取出，克服了人工取放硅片可能造成的硅片表面划伤，降低了硅片被污染的几率，提高了生产效率。

在所述安装部10内设有第一气道(图中未视出)。所述吸取部包括基板21，沿所述基板21的纵轴方向平行开设有多条容纳槽210，在每条所述容纳槽210内设有一根气管22，每根所述气管22的上端均连通所述第一气道。本实施例中，所述容纳槽210设有三条，所述气管22对应设置有三根。

每条所述容纳槽210的下端连通地设有一个吸盘通槽211，所述每根气管22的下端均连接有一吸盘23，所述吸盘23位于所述吸盘通槽211中，可以理解的，本实施例中，所述吸盘通槽211、吸盘23 对应的均设有三个。所述基板21为所述气管22和所述吸盘23提供支撑，所述吸取部通过所述三个吸盘23吸取硅片。

本实施例中，三个所述吸盘23的中心组成一个等腰三角形，每片硅片由所述三个吸盘23从三个方向将其吸住，吸力均匀可牢固吸住硅片，可有效避免所述吸盘组件在移动过程中发生硅片掉落。

请继续参阅图2，本实施例中，在每个所述吸盘通槽211的周围连通地设有四条弹簧通槽2110，每条所述弹簧通槽2110中均设有弹簧24，所述弹簧24的一端连接在所述吸盘23上，另一端连接在所述基板21上。

所述弹簧24的设置，使所述吸盘23在所述基板21的长度、宽度和厚度方向上具备了优异的弹性，可克服石墨舟易变形的缺陷，使得所述吸盘组件可顺利将吸取的硅片插入石墨舟上、以及所述吸盘 23与石墨舟上的硅片贴合更佳，同时，由于吸盘23在吸盘通槽211 中通过所述弹簧24与所述基板21实现柔性连接，吸盘23受到来自硅片的反作用力后对硅片的压迫力得到缓冲，从而降低了硅片被压坏损伤的几率，提高了成品率，降低了生产成本。

在所述基板21上开设有四个第一固定孔212，在所述吸盘23的对应位置上开设有四个第二固定孔237，所述弹簧24的两端分别连接在所述第一固定孔212和所述第二固定孔237上。

请参阅图3和图4，图3、图4分别示出了本实施例中所述吸盘 23的主视结构和俯视结构，所述吸盘23包括壳体230，所述第二固定孔237开设在所述壳体230上。

在所述壳体230内设置有第二气道231，在所述壳体230的正面 2301开设有第一吸气口232，所述第二气道231连通所述第一吸气口 232与所述气管22的下端。即所述第一吸气口232依次通过所述第二气道231、所述气管22与所述第一气道连通。

请继续参阅图1，在一个实施方式中，在所述安装部10的一侧设有抽气嘴11，所述抽气嘴11连接在所述第一气道上，可通过所述抽气嘴11抽气，以在所述第一气道、气管22和所述第二气道231内产生真空，通过所述第一吸气口232在所述吸盘23处形成负压区吸住硅片。

进一步的，所述第一吸气口232为设于所述正面2301中心的圆形孔，所述正面2301设置为依次位于所述第一吸气口232外周的第一环形凸台233、环形凹槽234和第二环形凸台235。其中，所述第一环形凸台233与所述第二环形凸台235高度相同，所述吸盘23吸取硅片时，硅片表面贴附在所述第一环形凸台233、第二环形凸台235 的环状表面上。所述正面2301指所述吸盘23吸住硅片的一面，即所述吸盘23的吸取面。

更进一步的，在所述环形凹槽234上开设有至少一个第二吸气口 236，所述第二气道231也连通所述第二吸气口236与所述气管22的下端。与所述第一吸气口232相同，所述第二吸气口236依次通过所述第二气道231、所述气管22与所述第一气道连通。当通过所述抽气嘴11抽气时，在所述第一气道、气管22和所述第二气道231内产生真空，通过所述第一吸气口232、第二吸气口236在所述吸盘23 处形成负压区吸住硅片。

本实施例中，所述第二吸气口236设有两个，位于所述第一吸气口232的两侧，以使所述吸盘23对硅片施加足够大的吸力，使硅片牢牢吸吸附至所述吸取部上。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。