技术总结
本实用新型公开了提供一种用于石墨舟硅片取放的吸盘组件，所述吸盘组件包括安装部和连接在所述安装部下侧的吸取部；所述安装部内设有第一气道；所述吸取部包括基板，沿所述基板的纵轴方向平行开设有多条容纳槽，在每条所述容纳槽内设有一根气管；每条所述容纳槽的下端连通地设有一个吸盘通槽；所述每根气管的上端均连通所述第一气道，所述每根气管的下端均连接有一吸盘，所述吸盘位于所述吸盘通槽中；每个所述吸盘通槽的周围连通地设有四条弹簧通槽，每条所述弹簧通槽中均设有弹簧，所述弹簧的一端连接在所述吸盘上，另一端连接在所述基板上。本实用新型所提供的吸盘组件，具备优异的弹性，以应对石墨舟的易变形性。
技术研发人员：潘加永;戴秋喜
受保护的技术使用者：苏州映真智能科技有限公司
技术研发日：2018.07.11
技术公布日：2019.02.19