一种硅片缓存装置的制作方法

本实用新型属于机械领域，具体涉及一种硅片缓存装置。

背景技术：

现有刻蚀、制绒下料工艺中，机器更换料盒时硅片输送不停，如果没有缓存装置，容易造成输送线上硅片的堵片或叠片，此时需要人工取出硅片，增加了作业人员的工作强度，降低了生产效率。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片缓存装置，以解决现有技术存在的效果不佳等问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种硅片缓存装置，其固定底座上设有电缸固定板，电缸固定在电缸固定板上；电缸上设有缓存固定板，缓存固定板上设置有缓存板。

其中，所述的电缸固定板有两块，分别固定在电缸的两端。

其中，所述的缓存固定板两侧设有两块侧板固定板，侧板固定板分别连接缓存侧板的两端。

其中，所述的缓存板有两块。

其中，两块缓存板在水平方向上左右对称分布在侧板固定板两端。

其中，所述的缓存板上设有若干个预存硅片的槽口。

有益效果：

与现有技术相比，本实用新型解决了硅片堵片、叠片的问题，在不影响效率的前提下减少了设备报警，同时减轻了作业人员的劳动强度。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的侧视图；

图3为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

实施例1

如图1～3所示的硅片缓存装置，固定底座1上设有两块电缸固定板2，电缸3的两端分别固定在两块电缸固定板2上。电缸3上设有缓存固定板4，

缓存固定板4两侧设有两块侧板固定板6，侧板固定板6分别连接缓存侧板9的两端，两块缓存板8在水平方向上左右对称分布在侧板固定板6两端；其中，缓存板8上设有若干个预存硅片的槽口。

本实施例工作过程如下：输送机将硅片送到缓存板8下位置时停止运行，电缸开始动作，带动缓存板往上提升，硅片被带到缓存槽内，起到缓存作用；缓存装置会根据机器产能信号释放缓存内的硅片，由于电缸每次提升距离固定，所以可以保证硅片处于缓存槽中间位置。

本实施例结构紧凑，运行稳定、成本低、寿命高，实际生产中已得到验证，设备碎片率降低到0.02％，新型装置机动率在100％；可以在制绒、刻蚀上下料机等设备上使用。