1.一种用于操作衬底的设备，其特征在于，包括：
抽气管（181）和抓取盘装置；所述抽气管（181）的一端与所述抓取盘装置连接；在所述抓取盘装置的底部设置有多个第一抽气孔（38，39），所述多个第一抽气孔与所述抽气管（181）连通；所述多个第一抽气孔（38，39）分布在所述抓取盘装置底部的特定区域，使得在衬底（40）与所述抓取盘装置的底部接触的状态下，所述多个第一抽气孔位于所述衬底（40）外边缘处；通过所述抽气管（181）以及所述多个第一抽气孔抽出在所述衬底（40）与所述抓取盘装置的底部之间的空气，用以吸附所述衬底（40）。
2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述特定区域为环形区域，所述多个第一抽气孔（38，39）在所述环形区域内沿圆周方向均匀设置；所述环形区域的最大半径与所述衬底（40）的半径相等；所述环形区域的最小半径与所述衬底（40）半径的比值为7/10。
3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述抓取盘装置包括：匀气盘（182）和承载盘（183）；
所述匀气盘（182）和所述承载盘（183）连接；所述多个第一抽气孔设置在所述承载盘（183）的底部；所述抽气管（181）的一端与所述匀气盘（182）连接，所述匀气盘（182）设置有通气管道，所述多个第一抽气孔通过所述通气管道与所述抽气管（181）连通。
4.如权利要求3所述的设备，其特征在于，还包括：第一环形弹性元件（221）和第二环形弹性元件（222）；
所述第一环形弹性元件（221）和所述第二环形弹性元件（222）位于所述匀气盘（182）和所述承载盘（183）之间；所述第一环形弹性元件（221）和所述第二环形弹性元件（222）在所述匀气盘（182）和所述承载盘（183）之间围成环形密封空腔区域，所述通气管道和所述多个第一抽气孔均与所述环形密封空腔区域连通。
5.如权利要求4所述的设备，其特征在于，
所述多个第一抽气孔包括：至少两组第一抽气孔（38，39），所述至少两组第一抽气孔呈同心圆布置并且每组第一抽气孔都沿圆周方向均匀分布；其中，所述至少两组第一抽气孔都位于所述环形密封空腔区域内。
6.如权利要求5所述的设备，其特征在于，
所述多个第一抽气孔包括：两组第一抽气孔；第一组第一抽气孔（38）相对于第二组第一抽气孔（39）靠近所述承载盘（183）的外边缘；所述承载盘（183）的底部设置有吸附槽（41），所述第一组第一抽气孔（38）与第二组第一抽气孔（39）均与所述吸附槽（41）连通。
7.如权利要求4所述的设备，其特征在于，
所述匀气盘包括：圆盘装置；在所述圆盘装置上设置有与所述环形密封空腔区域相连通的第二抽气孔（37）；其中，所述环形密封空腔区域通过所述第二抽气孔（37）与所述通气管道相连通。
8.如权利要求7所述的设备，其特征在于，
所述通气管道包括：多个抽气支管（161）；所述多个抽气支管（161）设置在所述圆盘装置上；所述多个抽气支管（161）的一端都与所述抽气管（181）的一端连通，各抽气支管（161）以与所述抽气管（181）的连接处为中心呈辐射状分布；所述多个抽气支管（161）的另一端通过所述第二抽气孔（37）与所述环形密封空腔区域相连通。
9.如权利要求8所述的设备，其特征在于，包括：
在所述匀气盘（182）与所述抽气管（181）之间设置第三环形弹性元件（121）和第四环形弹性元件（122）；
其中，所述第三环形弹性元件（121）和所述第四环形弹性元件（122）为同轴设置，所述第三环形弹性元件（121）用以对所述多个抽气支管（161）与所述抽气管（181）的连接处进行密封，所述第四环形弹性元件（122）位于所述第三环形弹性元件（121）的外围，并分别与所述匀气盘（182）与所述抽气管（181）相接触。
10.如权利要求8所述的设备，其特征在于，
所述圆盘装置包括：中心圆盘（151）和环形盘（171），所述中心圆盘（151）和所述环形盘（171）同心设置，并且多个抽气支管（161）的两端分别连接所述中心圆盘（151）和所述环形盘（171）；所述中心圆盘（151）与所述抽气管（181）的一端密封连接；其中，所述第二抽气孔（37）设置在所述环形盘（171）上。
11.如权利要求10所述的设备，其特征在于，
多个所述第二抽气孔（37）按圆环形排列并沿圆周方向均匀分布，其中，所述第二抽气孔（37）与所述抽气支管（161）对应设置。