1.一种半导体制造设备的排气监控系统，其特征在于，包括：
排气压力监测装置，包括压力表，所述排气压力监测装置与需要排气的机台上的排气管路相连；
数据收集装置，与所述排气压力监测装置通讯连接。
2.根据权利要求1所述的半导体制造设备的排气监控系统，其特征在于：
还包括报警器，所述报警器在所述压力表测量的实际排气压力值超出预设排气压力上限值和排气压力下限值之间的范围时发出报警信息。
3.根据权利要求1所述的半导体制造设备的排气监控系统，其特征在于：
所述压力表包括电接点压力表。
4.根据权利要求1所述的半导体制造设备的排气监控系统，其特征在于：
所述排气管路上装有排气调节阀。
5.根据权利要求1-4任一项所述的半导体制造设备的排气监控系统，其特征在于：
所述需要排气的机台至少有2台，每台机台的排气管路上均设置有所述排气压力监测装置。
6.根据权利要求5所述的半导体制造设备的排气监控系统，其特征在于：
所述数据收集装置还与良品率测试系统通信连接，所述良品率测试系统提供产品良率信息。