技术总结
本实用新型公开了一种半导体制造设备的排气监控系统，该排气监控系统包括排气压力监测装置和数据收集装置，该排气压力监测装置由压力表和报警器组成，报警器在实际排气压力值超出预设排气压力上限值或预设排气压力下限值时发出报警信号，提醒操作人员检查，同时该排气压力检测装置还与数据收集装置连接，实时上传实际排气压力值至数据收集装置。本实用新型的排气监控系统可以实时监控机台排气压力的状况，使得排气异常状况能够及时被发现并修正。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2018.09.26
技术公布日：2019.04.12