点接触式激光掺杂选择性发射极太阳能电池的制作方法

文档序号:17878619发布日期:2019-06-13 10:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种点接触式激光掺杂选择性发射极太阳能电池,包括硅片本体,其特征在于:所述的硅片本体表面具有轻掺杂区域和多个激光重掺杂区域;所述的轻掺杂区域和激光重掺杂区域上设置有钝化膜层;所述的激光重掺杂区域在硅片表面呈等间距阵列式排布;每个激光重掺杂区域内均设置有下层点接触金属电极;所述的下层点接触金属电极覆盖单个激光重掺杂区域但不超过单个激光重掺杂区域;下层点接触金属电极的表面设置有上层金属电极;所述的上层金属电极仅连接下层点接触金属电极完成电流导通。

2.如权利要求1所述的点接触式激光掺杂选择性发射极太阳能电池,其特征在于:所述的轻掺杂区域的结深为0.1μm~0.5μm;所述的激光重掺杂区域,的结深为0.1μm~0.5μm;激光重掺杂区域呈矩形,宽度为60μm~156mm,长度为60μm~250μm;横向同一直线上的激光重掺杂区域的间距W1为0μm~300μm,横向相邻直线上激光重掺杂区域的间距W2为0μm~300μm,其中W1≥W2,激光重掺杂区域的纵向间距为1mm~2.5mm。

3.如权利要求1所述的点接触式激光掺杂选择性发射极太阳能电池,其特征在于:所述的下层点接触金属电极的高度为2μm~20μm。

4.如权利要求1所述的点接触式激光掺杂选择性发射极太阳能电池,其特征在于:所述的上层金属电极的电极长度为0mm~156.75mm,宽度为10μm~70μm,高度为2μm~20μm。

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