硅片选择性发射极对位结构的制作方法

文档序号:17878620发布日期:2019-06-13 10:00阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种硅片选择性发射极对位结构,包括重度掺杂细栅线、重度掺杂mark点、主栅图形mark点和副栅图形mark点;重度掺杂mark点设置于重度掺杂细栅线与硅片的四个边、角的交界处,并以硅片中心对称;所述的主栅图形mark点和副栅图形mark点的位置完全重合;通过重度掺杂mark点的坐标计算得出的重度掺杂图形的中心位置与通过主栅图形mark点的坐标计算得出的主栅图形的中心位置、通过副栅图形mark点的坐标计算得出的副栅图形的中心位置分别重合。本实用新型解决了分步印刷方式的对位问题,使得在分步印刷的模式下,电极图形能够完全印刷在重度掺杂的结构上,同时主栅和细栅之间完全搭接,不发生偏移。

技术研发人员:刘斌;黄辉巍;薛伟;陆晓慧;黄柳柳
受保护的技术使用者:江苏顺风新能源科技有限公司
技术研发日:2018.10.09
技术公布日:2019.06.11

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