一种生产线竖向上料系统及硅片传输系统的制作方法

文档序号:17456605发布日期:2019-04-20 03:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种生产线竖向上料系统,其特征在于,包括花篮和运输线总成,

所述花篮包括多个内齿,相邻所述内齿之间形成间隙空间,所述间隙空间被设置用于放置运输件;

多个所述内齿所在的水平面和所述运输线总成所在的水平面垂直,多个所述内齿和所述运输线总成的运输方向平行。

2.根据权利要求1所述的生产线竖向上料系统,其特征在于,所述运输线总成包括进料输送带、转运输送带、出料输送带、卸料输送带。

3.根据权利要求2所述的生产线竖向上料系统,其特征在于,所述进料输送带的运输方向、所述转运输送带的运输方向、所述出料输送带的运输方向和所述卸料输送带的运输方向都在同一水平面;

所述进料输送带的运输方向和所述卸料输送带的运输方向平行;

所述转运输送带的运输方向和所述出料输送带的运输方向平行;

所述转运输送带的运输方向和所述进料输送带的运输方向垂直。

4.根据权利要求3所述的生产线竖向上料系统,其特征在于,所述运输线总成包括两条互相平行的所述进料输送带,两条互相平行的所述卸料输送带。

5.根据权利要求1所述的生产线竖向上料系统,其特征在于,所述生产线竖向上料系统还包括石英舟和机械臂,所述石英舟被设置用于缓存所述运输件并对所述运输件进行后续工艺加工,所述机械臂被设置用于对所述运输件进行移位。

6.根据权利要求5所述的生产线竖向上料系统,其特征在于,所述机械臂内设置有吸盘,所述吸盘插入所述花篮的所述间隙空间并抓取所述花篮内的所述运输件。

7.根据权利要求6所述的生产线竖向上料系统,其特征在于,所述生产线竖向上料系统还包括转接托盘和升降机构,所述转接托盘被设置用于接收所述机械臂抓取出的所述运输件,并通过所述升降机构将所述运输件落到所述石英舟的槽内。

8.根据权利要求7所述的生产线竖向上料系统,其特征在于,所述转接托盘还被设置用于接收所述石英舟内已加工完成的所述运输件,所述已加工完成的运输件通过所述升降机构脱离所述石英舟并置于所述转接托盘。

9.根据权利要求8所述的生产线竖向上料系统,其特征在于,所述转接托盘通过所述机械臂将所述已加工完成的运输件转运到转运输送带的空花篮内。

10.一种硅片传输系统,其特征在于,包括硅片和权利要求1-9任一项所述的生产线竖向上料系统。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1