用于刻蚀机防短路保护罩的制作方法

本实用新型涉及电气装置保护领域，尤其涉及一种用于刻蚀机防短路保护罩。

背景技术：

等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

在刻蚀金属材料时，离子源产生离子，离子经过电场后形成离子束，为了避免正电荷在离子束中或离子束入射材料表面的积累，消弱空间电荷效应减少束发散，需要通过中和灯丝进行电荷中和，且中和灯丝需均匀设置在离子束发射出口四周。中和后的离子束轰击金属表面产生金属离子完成刻蚀，但是被轰击出的金属离子容易在刻蚀机内四处散射，附着在中和灯丝上；若大量的金属离子持续的堆积附着在中和灯丝上，会造成中和灯丝短路，损坏设备，因此需要设计一种用于刻蚀机的防短路保护罩。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于刻蚀机防短路保护罩，能够保护中和灯丝，解决被轰击出的金属离子会持续堆积附着在中和灯丝上，造成中和灯丝短路的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于刻蚀机防短路保护罩，包括盖体，所述盖体设置在离子束发射出口外，所述盖体中心设有第一通孔，所述第一通孔孔径大小与离子束发射出口相同且第一通孔与离子束发射出口的中心重合，所述盖体外侧周向固定设置有耳板，所述耳板上设有安装孔，所述安装孔上设有螺栓，所述刻蚀机内壁上设有螺纹孔，所述螺栓穿过耳板上的安装孔并与刻蚀机内壁上的螺纹孔螺纹连接，所述耳板通过螺栓将盖体固定连接在刻蚀机内壁上。

本实用新型的工作原理及优点在于：盖体中心设有第一通孔，由于第一通孔的孔径大小与离子束发射出口相同，所有的中和灯丝都被盖体挡住，并且整个离子束都能够通过盖体并照射到需要刻蚀的金属上，金属被离子束刻蚀之后产生的金属离子在刻蚀机内四处散射，由于盖体的阻挡，金属离子不能附着到中和灯丝上，不会使造成中和灯丝短路；而且由于离子束从第一通孔高速喷出，四处散射的金属离子不能从第一通孔穿过盖体附着到中和灯丝上，使得中和灯丝得到保护，避免了中和灯丝发生短路；使螺栓穿过耳板上的安装孔将盖体固定连接在刻蚀机内壁上，使得整个保护罩安装简单，便于拆卸。

进一步，耳板上一侧设有第一通槽，所述第一通槽与安装孔相通，所述第一通槽槽口方向垂直于安装孔与第一通孔两者的中心连线。

盖体安装时，首先将螺栓不完全转动连接在刻蚀机内壁上的螺纹孔内，螺栓暴露在外的长度留有一定的余裕，能够使耳板通过第一通槽挂在螺栓上；然后将最顶部的耳板通过其上的第一通槽挂在对应的螺栓上，再转动整个盖体使得盖体上的每个耳板都能通过其本身的第一通槽挂在对应的螺栓上，然后拧紧螺栓即可将盖体固定好，整个盖体的安装、拆卸更加简单方便省力。

进一步，耳板上一侧设有第二通槽，所述第二通槽贯穿安装孔，所述安装孔与第一通孔两者的中心连线与第二通槽槽口方向平行。

第二通槽的设置可适用于螺纹孔距离子束发射出口中心的距离不相同的情况。

进一步，盖体上设有盖板，所述盖板中心设置有第二通孔，所述第二通孔开设孔径可根据离子束发射出口实际半径调整，所述盖板上设置有固定孔，所述盖体上设置有圆柱形凸起，所述盖板可通过固定孔与圆柱形凸起的配合固定连接在盖体上。

当离子束发射出口实际半径小于盖体的第一通孔时，为了防止金属离子进入盖体，设置盖板并调整第二通孔的半径，使得盖板上的第二通孔的半径满足离子束发射出口的实际半径，达到保护中和灯丝的效果，适用范围广。

进一步，耳板为三个。三个耳板就能对盖体形成稳定的固定，且用材更少。

进一步，螺栓与耳板的连接处设有绝缘垫圈。防止螺栓与耳板的连接处粘连在一起，不便于拆卸。

附图说明

图1为本实用新型用于刻蚀机防短路保护罩实施例一的局部剖视图；

图2为本实用新型用于刻蚀机防短路保护罩实施例二的正视图；

图3为本实用新型用于刻蚀机防短路保护罩实施例三的正视图；

图4为盖体与盖板的连接结构的正视图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式进一步详细说明：

说明书附图中的附图标记包括：耳板1、螺栓2、圆柱形凸起3、盖体4、第一通孔5、中和灯丝6、安装孔7、第一通槽8、第二通槽9、固定孔10、盖板11、第二通孔12。

实施例一：

基本如附图1所示：一种用于刻蚀机防短路保护罩，包括盖体4，所述盖体4为圆盘形的金属盖体，所述盖体4设置在离子束发射出口外，所述盖体4中心设有第一通孔5，所述第一通孔5孔径大小与离子束发射出口相同且第一通孔5与离子束发射出口的中心重合，所述盖体4外侧周向均匀固定设置有三块耳板1，三块所述耳板1上均设有安装孔7，所述安装孔7上设有螺栓2，所述刻蚀机内壁上设有螺纹孔，所述螺栓2穿过耳板1上的安装孔7并与刻蚀机内壁上的螺纹孔螺纹连接，所述螺栓2与耳板1的连接处均设有绝缘垫圈，三块所述耳板1通过螺栓2将盖体4固定连接在刻蚀机内壁上。

如图4所示，盖体4上还设有圆盘形的金属盖板11，所述盖板11中心设置有第二通孔12，所述第二通孔12开设孔径可根据离子束发射出口实际半径调整，所述盖板11上均匀设置有三个固定孔10，所述盖体4上均匀设置有三个圆柱形凸起3，所述盖板11可通过固定孔10与圆柱形凸起3的配合固定连接在盖体4上；所述第二通孔12开设孔径调整的具体方式为：设置多块盖板11，盖板11上的第二通孔12的孔径有不同的规格，根据离子束发射出口的实际半径选择相适配的盖板11。

具体实施过程如下：

由于第一通孔5的孔径大小与离子束发射出口相同，所有的中和灯丝6都被盖体挡住，整个离子束都能够通过盖体4并照射到需要刻蚀的金属上，金属被离子束刻蚀之后产生的金属离子在刻蚀机内四处散射，由于盖体4的阻挡，金属离子不能附着到中和灯丝6上，不会使造成中和灯丝6短路；而且由于离子束从第一通孔5高速喷出，四处散射的金属离子也不会从第一通孔5穿过盖体4附着到中和灯丝6上，使得中和灯丝6得到保护，避免了中和灯丝6发生短路；耳板1通过螺栓2将盖体4固定连接在刻蚀机内壁上，使得整个保护罩安装简单，便于拆卸。

实施例二：

基本如附图2所示：

实施例二与实施例一的区别在于：所述耳板1上一侧设有第一通槽8，所述第一通槽8与安装孔7相通，所述第一通槽8槽口方向垂直于安装孔7与第一通孔5两者的中心连线。

具体实施过程如下：

实施例二与实施例一的原理基本相同，不同在于盖体4的安装方法不同。第一通槽8与安装孔7相通。盖体4安装时首先将螺栓2不完全转动连接在刻蚀机内壁上的螺纹孔内，螺栓2暴露在外的长度留有一定的余裕，能够使耳板1通过第一通槽挂在螺栓2上；然后将最顶部的耳板1通过其上的第一通槽8挂在对应的螺栓2上，再转动整个盖体4使得盖体4上的每个耳板1都能通过耳板1上自身的第一通槽8挂在对应的螺栓2上，然后拧紧螺栓2即可将盖体4固定好，整个盖体4的安装、拆卸更加简单方便省力。

实施例三：

基本如附图3所示：

实施例三与实施例一的区别在于：所述耳板1上一侧设有第二通槽9，所述第二通槽9贯穿安装孔7，所述安装孔7与第一通孔5两者的中心连线与第二通槽9槽口方向平行。

具体实施过程如下：

实施例三与实施例一的原理基本相同，不同在于盖体4的安装方法不同。第二通槽9贯穿安装孔7。第二通槽9的设置可适用于螺纹孔距离子束发射出口中心的距离不相同的情况，安装前，只需将螺纹孔设置在与第二通槽9槽口方向相同的方向上，即使螺纹孔距离子束发射出口中心的距离不相同，也能使盖体4安装在刻蚀机内壁上，适用范围广。

以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述，所属领域普通技术人员知晓申请日或者优先权日之前实用新型所属技术领域所有的普通技术知识，能够获知该领域中所有的现有技术，并且具有应用该日期之前常规实验手段的能力，所属领域普通技术人员可以在本申请给出的启示下，结合自身能力完善并实施本方案，一些典型的公知结构或者公知方法不应当成为所属领域普通技术人员实施本申请的障碍。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。