1.一种ABM光刻机用晶圆去边治具，其特征在于：包括治具本体，所述治具本体的一侧设有用以实现其于光刻机上安装的安装部，所述治具本体的另一侧开设有光刻板放置槽、晶圆放置槽和取片槽，所述光刻板放置槽与所述晶圆放置槽对应设置，且所述晶圆放置槽位于所述光刻板放置槽的下方，所述取片槽位于所述晶圆放置槽的下方，且所述取片槽的一端延伸至所述治具本体的外周边设置。
2.如权利要求1所述的ABM光刻机用晶圆去边治具，其特征在于：所述治具本体的边角位置均开设有便于取放光刻板的倒角缺口。
3.如权利要求2所述的ABM光刻机用晶圆去边治具，其特征在于：所述晶圆放置槽的底面为与晶圆外径相适配的圆形，所述晶圆放置槽的槽壁为弧状结构，且所述晶圆放置槽的敞口直径大于其底面直径。
4.如权利要求3所述的ABM光刻机用晶圆去边治具，其特征在于：所述取片槽为便于晶圆吸笔插入的半圆柱形，且所述取片槽的一端与其中一所述倒角缺口相对应，所述取片槽的另一端位于所述晶圆放置槽的中心位置。
5.如权利要求4所述的ABM光刻机用晶圆去边治具，其特征在于：所述安装部上开设有用以实现其定位固定的螺纹孔。
6.如权利要求1-5任一项所述的ABM光刻机用晶圆去边治具，其特征在于：所述治具本体为铝合金材料制成的一体成型结构，且所述治具本体的所述光刻板放置槽、所述晶圆放置槽和所述取片槽的槽面均设有防护层。
7.如权利要求6所述的ABM光刻机用晶圆去边治具，其特征在于：所述防护层为氧化喷砂层。