半导体装置及半导体装置的制造方法与流程

文档序号:19792733发布日期:2020-01-24 14:39阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体装置,其特征在于:

包括存储晶体管,

所述存储晶体管包括:

具有开口的导电体;

以与所述开口的内侧面接触的方式设置的第一绝缘体;

以与所述第一绝缘体的内侧接触的方式设置的第二绝缘体;

以与所述第二绝缘体的内侧接触的方式设置的第三绝缘体;

以与所述第三绝缘体的内侧接触的方式设置的第一氧化物;以及

以与所述第一氧化物的内侧接触的方式设置的第二氧化物,

所述第二氧化物的能隙比所述第一氧化物的能隙窄。

2.一种半导体装置,其特征在于:

包括存储晶体管,

所述存储晶体管包括:

具有开口的导电体;

以与所述开口的内侧面接触的方式设置的第一绝缘体;

以与所述第一绝缘体的内侧接触的方式设置的第二绝缘体;

以与所述第二绝缘体的内侧接触的方式设置的第三绝缘体;

以与所述第三绝缘体的内侧接触的方式设置的第一氧化物;

以与所述第一氧化物的内侧接触的方式设置的第二氧化物;以及

以与所述第二氧化物的内侧接触的方式设置的第三氧化物,

所述第二氧化物的能隙比所述第一氧化物的能隙窄,

所述第二氧化物的能隙比所述第三氧化物的能隙窄。

3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于:

所述第一氧化物及所述第二氧化物包含in、元素m(m是al、ga、y或sn)、zn。

4.根据权利要求3所述的半导体装置,其特征在于:

所述第一氧化物中的相对于in的元素m的原子个数比大于所述第二氧化物中的相对于in的元素m的原子个数比。

5.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于:

还包括基体,

在所述基体上包括多个所述存储晶体管,

在垂直于所述基体所具有的一个面的方向上层叠设置有所述多个存储晶体管。

6.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于:

所述第一绝缘体为包含硅、铝及铪中的任一个的氧化物。

7.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其特征在于:

所述第三绝缘体为包含硅、铝及铪中的任一个的氧化物。

8.根据权利要求2所述的半导体装置,其特征在于:

所述存储晶体管还包括第四绝缘体,

所述第四绝缘体以与所述第三氧化物的内侧接触的方式设置。

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