技术特征：
技术总结
一种质谱仪，包括依次连接的、内部均为真空状态的离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室，离子化腔室、质量分析器腔室、检测器腔室内分别设有离子源、质量分析器、检测器，离子源和质量分析器通过离子光学系统连接，质量分析器外部设有电极，质量分析器腔室和检测器腔室之间通过仅电子能穿过的薄膜间隔。本发明还提供了一种利用上述质谱仪实现的质谱检测方法，通过薄膜的设置实现质量分析器和检测器的工作气压的差异化，可以降低真空泵的负载，检测器的低工作气压保证了离子的检测灵敏度，同时高气压条件下的质量分析器可以保证正常的质量分辨能力，因而在极小的真空负载下同时保证了质谱仪的性能不受影响，尤其适合用于微型化和便携式质谱仪。
技术研发人员：王亮
受保护的技术使用者：王亮
技术研发日：2019.03.08
技术公布日：2019.06.14