技术特征：
技术总结
本发明公开了一种自保持MEMS继电器的触点结构，其包括第一、第二支撑梁，以及用于分别驱动第一、第二支撑梁的第一、第二驱动结构；第一、第二支撑梁的固定端固定在继电器衬底上，活动端分别设置有第一、二触点；第一触点相对于第一支撑梁的固定端的极惯性矩大于第二触点相对于第二支撑梁的固定端的极惯性矩。本发明中触点结构，使得器件在简单的驱动时序下就实现了两个触点的对应运动时序，以实现自保持功能，达到了简化驱动电路结构的有益效果。
技术研发人员：赵嘉昊;边潍
受保护的技术使用者：清华大学
技术研发日：2019.04.10
技术公布日：2019.08.13