湿法清洗设备烘干机构的制作方法

本发明涉及的是湿法清洗设备烘干机构，具体涉及一种清洗工艺中产品需要干进干出的机构。

背景技术：

湿法清洗设备烘干机构是将前处理清洗、腐蚀后的cassette(晶圆花篮)及其内部的产品进行干燥处理的机构，主要是通过吹干将cassette及其内部的产品上附带的水分吹到槽体内并排放掉，再通过烘干机构将cassette及其内部的产品烘干。

现有技术的湿法清洗设备烘干机构存在以下不足：1)产品的表面会因为吹的不干净而存在水渍的痕迹；2)cassette上底部角落还是会存有一部分的水分，无法彻底清除。

技术实现要素：

本发明提出的是湿法清洗设备烘干机构，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现有效清除cassette及其内部的产品上的水分并进行烘干。

本发明的技术解决方案：湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体后侧面下部设气缸固定座、上部设模组固定板，气缸固定座上固定有气缸，气缸上固定有热风升降装置，热风升降装置上固定有热风管，热风管内设感温机构，气缸、热风升降装置和热风管组成上下升降热风烘干机构；模组固定板上固定有吹干模组和感应器，吹干模组上固定有冷风管，模组、感应器和冷风管组成左右摆动吹干机构。

优选的，所述的热风管设置在槽体主体内部两侧，热风管内通有热氮气，热风升降装置包括升降组件和连接升降组件一端的热风管接头，升降组件另一端连接气缸，热风管接头焊接连接热风管。

优选的，所述的热风管一端焊接有感温机构接头，感温机构包括感温棒，感温棒通过感温机构接头固定在热风管内。

优选的，所述的吹干模组设置在槽体主体上氮气椭圆吹气口处，吹干模组包括丝杆、导轨、滑块、上下固定座、移动螺母和电机，冷风管固定在移动螺母上，冷风管上设有氮气孔，感应器设置在导轨两侧端。

优选的，所述的槽体主体、气缸固定座和模组固定板为npp材质，热风升降装置、热风管、感温机构和冷风管均为sus316材质，吹干模组为日本ckd标准件，感应器为欧姆龙omroneesx674-wr标准件。

本发明的优点：1)烘干机构采用升降机构带动热风管，有效的覆盖了整个cassette及其内部的产品，能充分的烘干cassette及其内部的产品；2)吹干模组带动冷风管左右移动，也充分覆盖了整个cassette及其内部的产品，从而达到吹干cassette及其内部的产品上的水分；3)机构的零件精密度高，标准件保证了机构的整体稳定性，达到了设备的产品干进干出的目的，提高了产品的质量，并且提高了生产效率。

附图说明

图1是本发明湿法清洗设备烘干机构的结构示意图。

图2是图1的侧视图。

图3是图1的俯视图。

图中的1是槽体主体、2是气缸固定板、3是气缸、4是热风升降装置、5是热风管、6是感温机构、7是模组固定板、8是吹干模组、9是感应器、10是冷风管。

具体实施方式

下面结合实施例和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1、2、3所示，湿法清洗设备烘干机构，其结构是槽体主体1后侧面下部设气缸固定座2、上部设模组固定板7，气缸固定座2上固定有气缸3，气缸3上固定有热风升降装置4，热风升降装置4上固定有热风管5，热风管5内设感温机构6，气缸3、热风升降装置4和热风管5组成上下升降热风烘干机构；模组固定板7上固定有吹干模组8和感应器9，吹干模组8上固定有冷风管10，模组8、感应器9和冷风管10组成左右摆动吹干机构。

所述的热风管5设置在槽体主体1内部两侧。热风管5由气缸3控制进行上下运动，热风管5内通有热氮气。风管5接有热氮气可对cassette及其内部的产品进行烘干，达到产品干出的要求。

所述的热风升降装置4为现有技术，包括升降组件和连接升降组件一端的热风管接头，升降组件另一端连接气缸3，热风管接头焊接连接热风管5。升降组件由激光镭射设备镭射并焊接组成一个整体，通过气缸3控制升降组件升降的过程。

所述的热风管5一端焊接有感温机构接头，感温机构6为现有技术，包括感温棒，感温棒通过感温机构接头固定在热风管5内。当有热风通过时，可通过感温棒侦测到气体的温度，既保证温度的均匀和安全，又保证产品的烘干效果。

所述的吹干模组8设置在槽体主体1上氮气椭圆吹气口处，吹干模组8为现有技术、包括丝杆、导轨、滑块、上下固定座、移动螺母和电机，冷风管10固定在移动螺母上，冷风管10上设有氮气孔，感应器9设置在导轨两侧端。移动螺母带着冷风管10上左右移动，通过安装在导轨左右两侧端的感应器达到正反换向运动，从而达到往下吹干cassette及其内部的产品水分的要求。

所述的槽体主体1为npp材质，气缸固定座2为npp材质，热风升降装置4为sus316材质，热风管5、感温机构6和冷风管10均为sus316材质，模组固定板7为npp材质，吹干模组8为品牌标准件(日本ckd)，感应器9为品牌标准件(欧姆龙omroneesx674-wr)。

湿法清洗设备烘干机构的生产方法，该方法包括以下步骤：

1)使用cnc雕刻机加工槽体主体1板材用料，保证槽体主体1槽体制作的准确性及精度；

2)使用cnc雕刻机制作气缸固定板2和模组固定板7，保证安装的准确；

3)使用激光镭射制作热风升降装置4，保证精度；

4)焊接加工热风管5和冷风管10；

5)外购标准件，气缸、模组等。

以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。

以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。