用于湿法工艺设备的气液分离装置的制作方法

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用于湿法工艺设备的气液分离装置的制造方法

本发明涉及一种气液分离装置,特别是涉及一种用于湿法工艺设备的气液分离装置。



背景技术:

湿法工艺设备广泛用在半导体元件的制造。在湿法工艺中湿法工艺设备须采用大量的化学药液,其大多为具有酸性或碱性等腐蚀性的物质。因此,从湿法工艺设备内流出的化学性气液混合物中往往带有具有腐蚀性的化学液体。基于环境保护与安全的考量,必须将湿法工艺设备内的化学性气液混合物加以处理将化学性气液混合物中的化学液体分离后才可排放。

请参照图1,其显示一种现有的气液分离装置10的示意图。所述气液分离装置10包含一输入通道p1、一位在底部的排液通道p2和一位在上方的排气通道p3,其中所述气液分离装置10的所述输入通道p1与一湿法工艺设备20连接、所述排液通道p2与一液体回收装置30连接、以及所述排气通道p3与一气体处理装置40连接。在使用时,所述湿法工艺设备20内的化学性气液混合物50通过所述输入通道p1进入所述气液分离装置10内。所述化学性气液混合物50进入所述气液分离装置10后,所述化学性气液混合物50中的化学液体51会自然地向下方滴落,并且通过在所述气液分离装置10底部的所述排液通道p2收集到所述液体回收装置30内。另一方面,剩余的废气52则会通过位在所述气液分离装置10上方的所述排气通道p3收集至所述气体处理装置40内。

然而,由于所述气液分离装置10内的空间有限,容易发生化学性气液混合物50还没有被气液分离完全时就已经被送入所述排气通道p3中,使得进入所述气体处理装置40的废气52中依然带有大量的化学液体,进而导致所述气体处理装置40内的元件受到腐蚀而损坏。另一方面,当化学性气液混合物50中的化学液体51被分离且被收集至所述液体回收装置30后,可将所述液体回收装置30内回收的化学液体51经处理后再次使用。也就是说,若是能增加所述气液分离装置10的气液分离的效能即可有效地减少生产成本。因此,为了增强所述气液分离装置10的气液分离的效能,现有的做法是通过在所述气液分离装置10内设置拉西环或者是菜瓜布…等元件,以增加化学性气液混合物50在所述气液分离装置10内的行经路径。然而,上述方法对于增加气液分离的效果有限,有鉴于此有必要提供一种气液分离装置,以解决现有技术所存在的问题。



技术实现要素:

为解决上述技术问题,本发明的目的在于提供一种气液分离装置,其内部设置有螺旋杆,位在所述气液分离装置的输入通道和排气通道之间。因此,当化学性气液混合物通过所述螺旋杆时,所述化学性气液混合物中的所述化学液体会凝结且附着在所述螺旋杆上,使得所述螺旋杆能有效地增加化学性气液混合物在所述气液分离装置内的行经路径,进而增强气液分离的功效。

为达成上述目的,本发明提供一种用于湿法工艺设备的气液分离装置,包含:一输入通道,与一湿法工艺设备连接,用于将所述湿法工艺设备的一化学性气液混合物输入所述气液分离装置内;一螺旋杆,设置在所述气液分离装置的内部,用于将所述化学性气液混合物分离为一废气和一化学液体;一排液通 道,位于所述湿法工艺设备的底部,与一用于收集所述化学液体的液体回收装置连接;以及一排气通道,用于将所述废气排出。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆设置在所述化学性气液混合物从所述输入通道前往所述排气通道的行经路径之间。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆包含一轴杆和多个形成在所述轴杆上的叶片。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆的所述轴杆与一马达连接以接收所述马达的驱动,使得所述多个叶片与所述轴杆一同旋转。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆的所述轴杆包含一中心空穴和多个从所述中心空穴连通至所述轴杆外部的开孔,并且所述轴杆与一外部气体供应设备连接,用于将一气体输入所述轴杆的所述中心空穴内。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆的所述轴杆与所述气液分离装置的侧壁平行。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述气液分离装置还包含一多孔元件,设置在所述气液分离装置的侧壁上。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述多孔元件为金属网。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述多孔元件为铁丝网。

本发明还提供一种用于湿法工艺设备的气液分离装置,包含:一输入通道设于所述气液分离装置的一侧壁,与一湿法工艺设备连接,用于将所述湿法工艺设备的一化学性气液混合物输入所述气液分离装置内;一排气通道设于所述气液分离装置的另一侧壁并和一气体处理装置连接;一螺旋杆具有叶片,设置在所述气液分离装置的内部,和所述二侧壁平行设置并位于所述输入通道和所述排气通道之间,用于将所述化学性气液混合物分离为一废气和一化学液体, 所述废气通过所述排气通道来排入所述气体处理装置中;一排液通道,位于所述湿法工艺设备的底部,与一用于收集所述化学液体的液体回收装置连接。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述气液分离装置更包含一马达用以驱动所述螺旋杆的转动。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述气液分离装置更包含一外部气体供应设备可提供气体至所述气液分离装置中,用以吹动附着在所述叶片上的所述化学液体使其朝向所述气液分离装置的所述侧壁移动。

于本发明其中之一优选实施例当中,所述螺旋杆包含一轴杆,所述轴杆包含一中心空穴和多个从所述中心空穴连通至所述轴杆外部的开孔,并且所述轴杆与所述外部气体供应设备连接,用于将所述气体输入所述轴杆的所述中心空穴内并通过所述开孔来吹动附着在所述叶片上的所述化学液体。

附图说明

图1显示一种现有的气液分离装置的示意图;

图2显示一种本发明第一优选实施例的气液分离装置的示意图;以及

图3显示一种本发明第二优选实施例的气液分离装置的示意图。

具体实施方式

为了让本发明的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂,下文将特举本发明优选实施例,并配合附图,作详细说明如下。

请参照图2,其显示一种本发明第一优选实施例的气液分离装置100的示意图。所述气液分离装置100包含一设置在一侧边的输入通道p1、设置在底部的一排液通道p2、和设置在相对所述输入通道p1的另一侧边的排气通道p3。所述 气液分离装置100的所述输入通道p1与一湿法工艺设备20连接,并且所述湿法工艺设备20内的化学性气液混合物50通过所述输入通道p1进入所述气液分离装置100内。所述气液分离装置100的所述排液通道p2与一液体回收装置30连接,以及所述排气通道p3与一气体处理装置40连接。在运作时,当所述化学性气液混合物50进入所述气液分离装置100后,所述气液分离装置100是用于将所述化学性气液混合物50气液分离为化学液体51和废气52,并且通过所述排液通道p2将所述化学液体51收集到所述液体回收装置30内,以及通过所述排气通道p3将所述废气52排入所述气体处理装置40内。

如图2所示,所述气液分离装置100还包含一螺旋杆110,设置在所述气液分离装置100的内部,并且是位于所述化学性气液混合物50从所述输入通道p1前往所述排气通道p3的行经路径之间。当所述化学性气液混合物50通过所述螺旋杆110时,所述化学性气液混合物50中的所述化学液体51会凝结且附着在所述螺旋杆110上,使得所述螺旋杆110达到将所述化学性气液混合物50气液分离为所述化学液体51和所述废气52的功效。所述螺旋杆110包含一中央的轴杆111和多个形成在所述轴杆111上的叶片112,其中所述轴杆111与所述气液分离装置100的侧壁102平行,及和所述气液分离装置100的上壁和下壁相互垂直。优选地,所述多个叶片112是与所述轴杆111一体成型,并且设计为延伸至靠近所述气液分离装置100的所述侧壁102和所述上壁和下壁,使得所述螺旋杆110在所述气液分离装置100内的有限空间中形成足够大的总表面积。因此,在所述化学性气液混合物50从所述输入通道p1前往所述排气通道p3的行经过程中发生与所述螺旋杆110可有充分的接触,进而有效地达到所述气液分离装置100有增强气液分离的效能。

另一方面,当所述化学性气液混合物50中的所述化学液体51被分离且被收 集至所述液体回收装置30后,可将所述液体回收装置30内回收的所述化学液体51经处理后再次使用。因此,由于所述气液分离装置100的所述螺旋杆110的设置,有效地增强气液分离的效能,进而增加可回收再利用的所述化学液体51的量,如此使得生产成本有效地降低。

请参照图3,其显示一种本发明第二优选实施例的气液分离装置200的示意图。所述气液分离装置200包含一设置在一侧边的输入通道p1、设置在底部的一排液通道p2、和设置在相对所述输入通道p1的另一侧边的排气通道p3。所述气液分离装置200的所述输入通道p1与一湿法工艺设备20连接,并且所述湿法工艺设备20内的化学性气液混合物50通过所述输入通道p1进入所述气液分离装置200内。所述气液分离装置200的所述排液通道p2与一液体回收装置30连接,以及所述排气通道p3与一气体处理装置40连接。在运作时,当所述化学性气液混合物50进入所述气液分离装置200后,所述气液分离装置200是用于将所述化学性气液混合物50气液分离为化学液体51和废气52,并且通过所述排液通道p2将所述化学液体51收集到所述液体回收装置30内,以及通过所述排气通道p3将所述废气52排入所述气体处理装置40内。

如图3所示,所述气液分离装置200还包含一螺旋杆210,设置在所述气液分离装置200的内部,并且是位于所述化学性气液混合物50从所述输入通道p1前往所述排气通道p3的行经路径之间。当所述化学性气液混合物50通过所述螺旋杆210时,所述化学性气液混合物50中的所述化学液体51会凝结且附着在所述螺旋杆210上,使得所述螺旋杆210达到将所述化学性气液混合物50气液分离为所述化学液体51和所述废气52的功效。再者,所述螺旋杆210包含一中央的轴杆211和多个形成在所述轴杆211上的叶片212,其中所述轴杆211与所述气液分离装置200的侧壁202平行,及和所述气液分离装置200的上壁和下壁相互垂 直。优选地,所述多个叶片212是与所述轴杆211一体成型,并且设计为延伸至靠近所述气液分离装置200的所述侧壁202和所述上壁和下壁,使得所述螺旋杆210在所述气液分离装置200内的有限空间中形成足够大的总表面积。因此,在所述化学性气液混合物50从所述输入通道p1前往所述排气通道p3的行经过程中可与所述螺旋杆210有充分的接触,进而有效地达到所述气液分离装置200有增强气液分离的效能。

如图3所示,所述气液分离装置200还包含一马达60,与所述螺旋杆210的所述轴杆211连接用于驱动所述轴杆211转动,进而带动所述多个叶片212与所述轴杆211一同旋转。通过所述马达60驱使所述螺旋杆210转动,使得凝结于所述螺旋杆210上的所述化学液体51产生一离心力,使所述化学液体51甩向所述气液分离装置200的侧壁202的方向,接着所述化学液体51会沿着垂直的侧壁202向下流动,进而增加所述化学液体51被收集至所述液体回收装置30内的效率。

如图3所示,所述气液分离装置200的所述侧壁202设置有一多孔元件220,其中所述多孔元件220优选为金属网,例如是铁丝网。通过所述多孔元件220的设置一方面能有效地捕捉住到达所述侧壁202的所述化学液体51,另一方面还可增长所述化学性气液混合物50沿着所述侧壁202移动时的行经路径,进而增强气液分离的效果。此外,所述螺旋杆210的所述轴杆211包含一中心空穴213和多个从所述中心空穴213连通至所述轴杆211外部的开孔214。所述轴杆211的所述中心空穴213连通至一外部气体供应设备70。在运作时,所述外部气体供应设备70会提供一气体至所述轴杆211的所述中心空穴213内,并且所述气体通过所述多个开孔214喷发至所述轴杆211的外部。因此,原先附着在所述轴杆211和所述叶片212上的所述化学液体51会因所述气体喷发时产生的作用力而将所 述化学液体51被吹向所述气液分离装置200的侧壁202,进而有效地增加所述化学液体51被收集至所述液体回收装置30内的效率。再者,通过所述气体的作用可使所述气液分离装置200内的所述化学性气液混合物50朝向位于所述侧壁202的所述多孔元件220流动,进而使得所述化学液体51凝结于所述多孔元件220上,故能进一步的增加气液分离的效率。

虽然本发明已用优选实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,本发明所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作各种的更动与润饰,因此本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定者为准。

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