一种基于有机无机混合波导的可调谐窄线宽激光器的制作方法

文档序号:20003900发布日期:2020-02-22 03:25阅读:来源:国知局
技术总结
本申请公开了一种基于有机无机混合波导的可调谐窄线宽激光器,包括平面光波导和半导体光放大器,平面光波导包括衬底层、下包层、波导芯层、上包层和电极层,波导芯层分为无机波导芯层区域和有机波导芯层区域,无机波导区域包括环形反射器、第一双锥形模式转换器、直波导芯层、第二双锥形模式转换器和平行信道单微环滤波器,直波导芯层上键合有半导体光放大器,有机波导芯层区域包括无机有机锥形模式转换器以及热光开关阵列和波导光栅滤波器,波导光栅滤波器的另一端为输出端口,环形反射器、平行信道单微环滤波器、热光开关阵列和波导光栅滤波器的上部均设置有加热电极,既具有窄线宽优点,调谐范围又宽,而且输出的激光具有高边模抑制比。

技术研发人员:梁磊;贾鹏;秦莉
受保护的技术使用者:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
技术研发日:2019.11.20
技术公布日:2020.02.21

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