四极杆固定装置的制作方法

文档序号:18803676发布日期:2019-10-08 20:56阅读:572来源:国知局
四极杆固定装置的制作方法

本实用新型涉及四极杆装配制造技术领域,具体涉及一种四极杆固定装置。



背景技术:

四极质量分析器,是四极杆质谱仪的核心部件,其用于控制带电离子或其它带电粒子的运动,四极杆由四根相对平行的金属杆构成,而相邻两根杆之间的距离和四极杆直径的精度都要求非常高,误差必须控制在1微米以内,相对两根金属杆为一组,共两组,两组金属杆均分别加上相反的电压,通过电场扫描就可以使不同质荷比的离子依次通过四极杆到达检测器被检测,从而实现质量分离和选择的目的。

通入的射频电源产生的射频电压峰的峰值高达上万伏,频率一般为1至2兆赫兹,而金属杆是射频电源的电容性负载,传统四极质量分析器的导线连接方式容易引入杂散电容,额外增加了射频电源的输出功率,且装配结构及工艺较为复杂,由于四极质量分析器的装配精度要求非常高,进而使不同批次装配的产品出现较大的差异,产品加工生产的合格率较为低下,导致了企业生产经济效益的下降。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于改进现有技术的缺陷,提供一种四极杆固定装置,本实用新型的结构简单,简化了装配的工艺过程,提高产品加工生产的合格率,进而提高了企业的生产经济效益。

其技术方案如下:

四极杆固定装置,包括四极杆组件及绝缘固定件;

所述四极杆组件包括数量至少具有四根的电极杆,相邻两根电极杆之间相互并行设置,相邻两根电极杆之间具有间隙,所述电极杆的侧壁设有凸起固定部;

所述绝缘固定件设有第一通孔及第二通孔,所述第一通孔与第二通孔连通,通过第一通孔使绝缘固定件套设在四极杆组件上,所述第二通孔与凸起固定部配合。

进一步地,所述绝缘固定件的数量为两个,两个绝缘固定件在四极杆组件上的朝向方向相对,绝缘固定件还设有倒角,所述第二通孔位于倒角处;在绝缘固定件的轴向方向上,所述第一通孔贯穿于绝缘固定件;在绝缘固定件的径向方向上,所述第二通孔贯穿于绝缘固定件。

进一步地,第一通孔的内壁设有四个向外凹陷的凹部,该凹部呈弧形结构,各凹部均与电极杆相对应;所述第二通孔与凸起固定部的配合处具有缝隙,该缝隙内填充有胶体。

进一步地,所述电极杆的在径向方向上的横截面呈圆形、扁圆形或双曲面状。

进一步地,数量为四根的所述电极杆分别为第一电极杆、第二电极杆、第三电极杆及第四电极杆,所述第一电极杆的轴心及第三电极杆的轴心在径向方向上的连线、与第二电极杆的轴心及第四电极杆的轴心在径向方向上的连线垂直,所述第一电极杆与第三电极杆电性连接,所述第二电极杆与第四电极杆电性连接。

进一步地,还包括有金属连接片及连接线,所述金属连接片的一端与所述凸起固定部接触连接,金属连接片的另一端与连接线接触连接;通过金属连接片及连接线使第一电极杆与第三电极杆电性连接;通过金属连接片及连接线使第二电极杆与第四电极杆电性连接。

进一步地,还包括有锁紧件及固定孔,所述固定孔设置于绝缘固定件的端面上,所述锁紧件将金属连接片及连接线均固定安装于固定孔上。

进一步地,所述电极杆及连接线的材质为金属材料,所述绝缘固定件的材质为非金属材料。

需要说明的是:

前述第一电极杆的轴心及第三电极杆的轴心在径向方向上的连线、与第二电极杆的轴心及第四电极杆的轴心在径向方向上的连线不一定为绝对的垂直,还可以稍微倾斜,如呈89度至91度的范围之间。

前述锁紧件为固定螺丝。

下面对本实用新型的优点或原理进行说明:

四极杆固定装置,通过第一通孔使绝缘固定件套设在四极杆组件上,再用外界夹具设备将四根电极杆夹紧并使相邻两根电极杆之间的间隙的距离固定,第二通孔与电极杆的凸起固定部配合,绝缘固定件将四根电极杆固定安装,并将相邻两根电极杆之间的间隙误差控制保持在1微米的范围内,便能完成四极杆固定装置的装配,四极杆组件与绝缘固定件的装配,以及第二通孔与凸起固定部的装配,该装配的精度高,装配的过程较为简便,且装配结构的四极杆固定装置还能避免电极杆之间电性连接引入的杂散电容,有利于提高四极杆固定装置的加工生产的合格率,进而提高企业的生产经济效益。

附图说明

图1是本实用新型实施例四极杆固定装置的结构示意图;

图2是本实用新型实施例四极杆固定装置的主视图;

图3是本实用新型实施例四极杆固定装置的侧视图;

图4是本实用新型实施例四极杆组件的结构示意图;

图5是本实用新型实施例电极杆与绝缘固定件配合的结构示意图;

图6是本实用新型实施例绝缘固定件的结构示意图;

图7是本实用新型实施例绝缘固定件的主视图;

附图标记说明:

10、绝缘固定件,11、第一通孔,111、凹部,12、第二通孔,121、缝隙,20、四极杆组件,21、第一电极杆,22、第二电极杆,23、第三电极杆,24、第四电极杆,25、凸起固定部,26、倒角,27、间隙,30、金属连接片,40、连接线,50、锁紧件,60、固定孔。

具体实施方式

下面对本实用新型的实施例进行详细说明。

如图1至图7所示,四极杆固定装置,包括四极杆组件20及绝缘固定件10;所述四极杆组件20包括数量至少具有四根的电极杆,相邻两根电极杆之间相互并行设置,相邻两根电极杆之间具有间隙27,所述电极杆的侧壁设有凸起固定部25;所述绝缘固定件10设有第一通孔11及第二通孔12,所述第一通孔11与第二通孔12连通,通过第一通孔11使绝缘固定件10套设在四极杆组件20上,所述第二通孔12与凸起固定部25配合。

其中,第一通孔11的内壁设有四个向外凹陷的凹部111,该凹部111呈弧形结构,各凹部111均与电极杆相对应;所述第二通孔12与凸起固定部25的配合处具有缝隙121,该缝隙121内填充有胶体。

其中,电极杆的在径向方向上的横截面呈扁圆形;所述电极杆的材质为钼;所述连接线40的材质为镀金材料;金属连接片30的材质为镀金材料,所述绝缘固定件10的材质为陶瓷材料。

其中,绝缘固定件10的数量为两个,两个绝缘固定件10在四极杆组件20上的朝向方向相对,绝缘固定件10还设有倒角26,所述第二通孔12位于倒角26处;在绝缘固定件10的轴向方向上,所述第一通孔11贯穿于绝缘固定件10;在绝缘固定件10的径向方向上,所述第二通孔12贯穿于绝缘固定件10。

其中,数量为四根的所述电极杆分别为第一电极杆21、第二电极杆22、第三电极杆23及第四电极杆24,所述第一电极杆21的轴心及第三电极杆23的轴心在径向方向上的连线、与第二电极杆22的轴心及第四电极杆24的轴心在径向方向上的连线垂直,所述第一电极杆21与第三电极杆23电性连接,所述第二电极杆22与第四电极杆24电性连接;四极杆固定装置还包括有金属连接片30及连接线40,所述金属连接片30的一端与所述凸起固定部25接触连接,金属连接片30的另一端与连接线40接触连接;通过金属连接片30及连接线40使第一电极杆21与第三电极杆23电性连接;通过金属连接片30及连接线40使第二电极杆22与第四电极杆24电性连接。

其中,四极杆固定装置还包括有锁紧件50及固定孔60,所述固定孔60设置于绝缘固定件10的端面上,所述锁紧件50将金属连接片30及连接线40均固定安装于固定孔60上;四极杆固定装置还包括有装配件,该装配件固定安装于绝缘固定件10上,所述装配件设有凹槽,通过凹槽将四极杆固定装置装配在外界的真空腔体中。

本实施例具有如下优点:

1、四极杆固定装置,通过第一通孔11使绝缘固定件10套设在四极杆组件20上,再用外界夹具设备将四根电极杆夹紧并使相邻两根电极杆之间的间隙27的距离固定,第二通孔12与电极杆的凸起固定部25配合,绝缘固定件10将四根电极杆固定安装,并将相邻两根电极杆之间的间隙27误差控制保持在1微米的范围内,便能完成四极杆固定装置的装配,四极杆组件20与绝缘固定件10的装配,以及第二通孔12与凸起固定部25的装配,该装配的精度高,装配的过程较为简便,且装配结构的四极杆固定装置还能避免电极杆之间电性连接引入的杂散电容,有利于提高四极杆固定装置的加工生产的合格率,进而提高企业的生产经济效益。

2、两个绝缘固定件10能进一步固定四极杆组件20,增强绝缘固定件10套设的稳定性,倒角26的设置以便于通过参照并调整相邻两根电极杆之间的间隙27,还有利于后续胶体的填充。

3、第一通孔11内壁的凹部111能使绝缘固定件10更好地套设在四根电极杆上,进一步避免电极杆与第一通孔11内壁的碰撞损耗而降低精度;在缝隙121处通过填充胶体使第二通孔12与凸起固定部25粘合,当胶体凝固或风干后,便能固定好四根电极杆,且误差精度能达到装配要求。

4、在实际的生产过程中,扁圆形接近圆形的横截面的电极杆能够更好地负载电容,使电容更加稳定。

5、通过金属连接片30及连接线40使第二电极杆22与第四电极杆24电性连接,该金属连接片30及连接线40的导线连接方式能够有效地缩短导线连接长度,进一步避免引入杂散电容,进而稳定射频电源的输出功率。

6、材质为钼的电极杆、材质为镀金材料的连接线40及金属连接片30,以便于在满足高精度要求的情况下,还能保证对应电性连接的电极杆之间的通电性;材质为陶瓷材料的绝缘固定件10,有利于保证电性连接的稳定性。

以上仅为本实用新型的具体实施例,并不以此限定本实用新型的保护范围;在不违反本实用新型构思的基础上所作的任何替换与改进,均属本实用新型的保护范围。

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