一种用于检测晶舟放置到位的装置的制作方法

本实用新型涉及晶舟放置检测机械领域，尤其涉及一种用于检测晶舟放置到位的装置

背景技术：

随着时代的发展，半导体技术发展越来越快，作为半导体黄光区关键设备-track(涂布机和显影机)显的越来越重要,其工作效率直接影响整个工艺流程的进度。track(涂布机和显影机)机台操作流程步骤中关键的一步就是晶舟的放置，而用来感应晶舟有无放置好的顶针则成为了一个重要的部分。但是由于晶舟的类型尺寸不一致，导致hbar(晶舟底部h型条状凸起)高度也不尽相同。调节顶针的高度，使之适用于不同的晶舟则成为了重中之重。而调整顶针位置过程繁琐，影响生产效率。

因此，如何提供一种用于检测晶舟放置到位的装置，可以检测晶舟有无在载台上放好是晶舟领域需要解决的问题。

技术实现要素：

为此，需要提供一种用于检测晶舟放置到位的装置，解决晶舟是否到位的检测问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种用于检测晶舟放置到位的装置，包括载台，所述载台上设有供晶舟h型凸条移动的轨道，轨道间距离和晶舟h型凸条的外围凸条间距离相同；其特征在于，还包括感应传感器，所述载台上设置第一转动轴和第二转动轴，第一转动轴和第二转动轴平行设置，且第一转动轴和第二转动轴所在平面与载台平面平行，第一转动轴上转动设置有第一定位栓，第二转动轴上转动设置有第二定位栓；第一定位栓上端和第二定位栓上端之间的距离略大于晶舟的横条宽度，第一定位栓和第二定位栓二者上端的间距小于二者下端的间距；所述第一定位栓和第二定位栓下方的载台上均设有接触传感器；所述第一定位栓和第二定位栓具有让定位栓下端往靠近载台方向运动的恢复力；所述感应传感器设在两个定位栓之间的载台上。

进一步地，所述第一定位栓和第二定位栓在转动轴下方的重量大于上方的重量，所述恢复力由下方重量与上方重量的差值提供。

进一步地，所述转动轴设中心位置，所述第一定位栓和第二定位栓的上半部分质量密度低于下半部分。

进一步地，所述第一定位栓和第二定位栓的质量密度均匀，第一转动轴处于第一定位栓上部，第二转动轴处于第二定位栓上部。

进一步地，在两个定位栓下方的载台上设有一个升降轴，接触传感器设置在升降轴上，升降轴用于调节接触传感器的位置。

进一步地，所述感应传感器为测距传感器。

区别于现有技术，上述技术方案在使用时，将晶舟外围凸条沿着载台轨道移动，当晶舟横条移动到第一定位栓时，通过转动轴的旋转将第一定位栓下压并通过第一定位栓，而后晶舟横条被第一定位栓和第二定位栓之间的感应传感器检测到，感应传感器会发出到位信号，来确定机台知道了晶舟放置到位。并在晶舟完全通过第一定位栓后，第一定位栓由恢复力作用恢复到初始状态，之后晶舟横条与第二定位栓接触，受到阻挡停止移动。两个定位栓与接触传感器都接触到位，而后接触传感器也会发出接触到位信号，只有在接触传感器发出到位信号且感应传感器发出到位信号，表面晶舟真正放置到位。在结构上和传感器端双重保证晶舟放置到位。

附图说明

图1为一实施例晶舟底部的结构视图；

图2为一实施例载台俯视结构图；

图3为一实施例载台截面结构视图；

图4为一实施例晶舟靠近定位栓时载台截面结构视图；

图5为一实施例晶舟移动到定位栓时载台截面结构视图；

图6为一实施例晶舟移动到位时载台截面结构视图；

附图标记说明：

1、晶舟外围凸条；

2、晶舟横条宽度；

3、第一定位栓；

4、第二定位栓；

5、感应传感器；

6、升降轴；

7、载台轨道；

8、第一定位栓下的接触传感器；

9、第二定位栓下的接触传感器；

10、第一转动轴；

11、第二转动轴；

12、晶舟横条；

20、晶舟；

21、载台；

22、晶舟横条移动线。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1-图6，晶舟20的h型凸条的外围凸条1间距离为b，如图1所述；晶舟放置载台21轨道7内侧间距离为c，如图2；其中距离b＝c；晶舟放置在载台上时，晶舟与载台21轨道嵌合。

载台21上设有第一转动轴10和第二转动轴11，第一转动轴和第二转动轴平行设置，且第一转动轴和第二转动轴所在平面与载台平面平行，第一转动轴上转动设置有第一定位栓3，第二转动轴上转动设置有第二定位栓4，以及一个让机台感知晶舟放置到位的感应传感器5，如图2。在图2虚线处做截面，截面视图如图3到图6，第一定位栓3和第二定位栓4可绕转动轴旋转，还有一可升降轴6，第一定位栓3和第二定位栓4之间的距离略大于晶舟横条宽度2，假设宽度为a，则定位栓上端之间距离可以为a+0.2cm。

图2是晶舟放置过程，其中以晶舟横条12代表晶舟整体做以下说明：晶舟先放置在轨道上，然后往目标位置移动，如图4。其中线22为晶舟横条下方移动经过的线。移动到第一定位栓3时将第一定位栓3压下，如图5；移动到第一定位栓3和第二定位栓4之间时，即移到目标位置。由于第一定位栓没有被压下，则恢复力会让第一定位栓下端往靠近载台方向运动，第一定位栓3恢复初始位置，完成晶舟放置及定位。要求第一定位栓3和第二定位栓4的上半部分质量密度低于下半部分，以及转动轴在靠上部分，以保证定位栓保持图6所示状态及在晶舟放置到位后能将定位栓恢复初始位置。

载台21轨道7确定晶舟放置大致位置，用定位栓实现可前移压下和无法后移压下的特点将晶舟放置到位。设定定位栓之间的感应传感器5目的为了让机台知道晶舟放置到位，在定位栓下设置第一定位栓下的接触传感器8和第二定位栓下的接触传感器9的目的是为了避免在放置过程晶舟横条12和定位栓有应力，在结构上和机台端双重保证晶舟放置完成。

在本实施方式中，所述第一定位栓3和第二定位栓4在转动轴下方的重量大于上方的重量，所述恢复力由下方重量与上方重量的差值提供。在其他实施例中，恢复力可以弹力或者重力，弹力由定位栓下端与载台21连接的拉伸弹簧提供或者由定位栓上端与载台21连接的压缩弹簧提供。

在本实施方式中，所述转动轴设中心位置，所述第一定位栓3和第二定位栓4的上半部分质量密度低于下半部分。由于密度和转动轴下方设有第一定位栓下的接触传感器8和第二定位栓下的接触传感器9的原因，可以达到将第一定位栓3下压完成后可恢复的效果。

在本实施方式中，所述第一定位栓3和第二定位栓4的质量密度均匀，第一转动轴处于第一定位栓3上部，第二转动轴处于第二定位栓4上部。当密度相同时，转动轴位于定位栓的上方，由于定位栓重心在上方和转动轴下方设有第一定位栓下的接触传感器8和第二定位栓下的接触传感器9的原因，可以达到将第一定位栓3下压完成后可恢复的效果。

在本实施方式中，在两个定位栓下方的载台上设有一个升降轴6，第一定位栓下的接触传感器8和第二定位栓下的接触传感器9设置在升降轴6上，升降轴6用于调节定位栓之间的距离和第一定位栓下的接触传感器8和第二定位栓下的接触传感器9的位置。利用升降轴6可以调节定位栓之间的距离和接触传感器上下的位置，从而达到可以适用于不同尺寸的晶舟放置。采用这样的结构后，通过升降轴带动定位栓调整定位栓之间的距离，可以检测不同晶舟有无在载台上放好。

优选的，所述感应传感器5为测距传感器5，在另一些实施例中可以采用其他的方式如光电传感器。测距传感器可以在检测到距离小于等于与晶舟横条间距时发出感应信号，如高电平。感应传感器是光电传感器时，光电传感器的光发送端的方向与接收端的方向具有一个夹角，当晶舟横条移动到光电传感器上方时，光电传感器的光线被晶舟横条反射后被光电传感器的接收端接收到后，发出感应信号，如高电平。在本实施方式中，接触传感器可以采用霍尔开关传感器(则定位栓下方可以设置有磁铁)或者按压式的非自锁按钮开关，则当定位栓恢复初始位置并与接触传感器接触后，接触传感器可以发出接触信号，如可以发出高电平。感应传感器和接触传感器都可以分别与一个led灯连接，当感应传感器和接触传感器的led灯都点亮，则说明放置到位，可以进行正常后续工作。或者也可以接到机台控制器，机台控制器判断到感应传感器和接触传感器的信号都符合条件(感应传感器感应到晶舟横条和接触传感器都检测到定位栓)时，则机台控制器可以进行后续工作。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。