一种用于硅片放置的石英舟的制作方法

本实用新型涉及半导体封装领域，具体是一种用于硅片放置的石英舟。

背景技术：

在硅片的生产工序中，石英舟起到了重要的承载作用，尤其是在高温环境的各个工序中，石英舟甚至起到了不可替代的作用，但是现在市场上使用的石英舟，一般都只能针对固定型号的硅片使用，不同的硅片配备不同的石英舟，在生产工序中需要不断的进行替换，提高生产成本的同时还降低了生产的效率，增大了工作人员的劳动强度，鉴于大部分硅片的厚度改变不大，主要还是在长宽上不同，因此当前的改进装置中也有针对此提出的改进，可以调节大小以适应不同硅片的使用，但是这些改进的装置，调节起来比较麻烦，调节后的装置在放置硅片时降低了装置的稳定性，容易使硅片放置不稳，在进出高温区域时容易导致硅片掉落，影响正常生产程序的进行。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于硅片放置的石英舟，它能够调节舟体的大小以适应不同硅片的使用，并能够使调节后的硅片稳定放置，保证硅片在加工过程中的稳定。

本实用新型为实现上述目的，通过以下技术方案实现：

一种用于硅片放置的石英舟，包括舟体，所述舟体包括石英上板、石英下板，所述石英上板与石英下板之间设有支撑柱，所述石英下板上设有多个滑杆，所述滑杆的顶部设有限位块，所述滑杆上滑动连接有调节板，所述调节板为两个且位于舟体长度方向的两端，两个所述调节板之间设有放置底板，所述调节板的底部与石英下板之间设有压缩弹簧，所述石英上板的底部设有连接板，所述连接板上水平的转动连接有转轴，所述转轴上固定有转轮，所述转轮位于调节板的上方，所述转轮上圆形阵列有多个不同长度的支杆，所述支杆与调节板的顶部相接触，所述石英上板的底部、放置底板的顶部的对应位置均设有硅片卡槽。

进一步的，所述支杆的末端可拆卸的设有贴合板，所述贴合板为倒立的t型，所述支杆与贴合板的竖直部分连接，不同所述贴合板的竖直部分的长度不同，所述贴合板底部的形状与调节板上表面的形状相适应。

进一步的，所述调节板为弧形，所述调节板的弧形的两端对称的设有水平扩张板，所述水平扩张板上设有通孔，所述滑杆与通孔滑动连接，所述放置底板设置在两个调节板的水平扩张板之间，所述贴合板的底部为与调节板相适应的弧形。

进一步的，所述转轴的一端设有旋钮，所述石英下板的一端设有钩环。

进一步的，所述石英下板上设有线槽，所述线槽内设有感温探头。

进一步的，所述舟体为两层，上层所述舟体的石英下板比下层舟体的石英下板窄。

对比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过转动转轴，带动所述转轮转动，进而使转轮上的不同长度的支杆与调节板接触，使调节板在高度方向上升或者下降对应的高度，从而使调节板上的放置底板与石英上板之间的距离变化，从而可以在放置底板与石英上板之间放置不同型号的硅片使用，主要针对竖直放置时不同高度的硅片使用，在一个转轮上设置多个长度的支杆，与不同型号的硅片通过长度对应关系相匹配，就能实现一个石英舟供多个不同型号硅片使用，并且调节好长度之后，所述调节板通过挤压底部的压缩弹簧产生向上的反向作用力，这个力使调节板与支杆之间紧密接触，从而使放置底板与石英上板之间保持紧密的连接关系，将硅片插入两者之间时，硅片不容易发生松动，在近处加工区域时更加稳定，保证了硅片的稳定生产。

附图说明

附图1是本实用新型的立体结构示意图。

附图2是本实用新型的前视图。

附图3是本实用新型的左视图。

附图4是本实用新型的俯视图。

附图中所示标号：

1、舟体；2、石英上板；3、石英下板；4、支撑柱；5、滑杆；6、限位块；7、调节板；8、放置底板；9、压缩弹簧；10、连接板；11、转轴；12、转轮；13、支杆；14、硅片卡槽；15、贴合板；16、水平扩张板；17、通孔；18、旋钮；19、钩环。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所限定的范围。

本实用新型所述是一种用于硅片放置的石英舟，主体结构包括舟体1，所述舟体1包括石英上板2、石英下板3，所述舟体由石英材质的石英上板2和石英下板3组成，所述石英上板2与石英下板3之间设有支撑柱4，优选的所述支撑柱4为四个，分别固定在石英上板2与石英下板3的四个角上，所述石英下板3上设有多个滑杆5，优选的所述滑杆5为四个，每两个成对设置在石英下板3的一端，所述滑杆5的顶部设有限位块6，优选的所述限位块6为矩形或圆形或方形，其横截面大于滑杆5，保证在其上滑动的物体到达顶部后不会滑脱，所述滑杆5上滑动连接有调节板7，所述调节板7上设置滑孔，所述滑杆5滑动连接在滑孔内，优选的所述调节板7的一端分别于成对存在的两个滑杆5滑动连接，使调节板7的滑动更加稳定，所述调节板7为两个且位于舟体1长度方向的两端，两个所述调节板7之间设有放置底板8，优选的所述放置底板8为两个，分别设置在调节板7的两侧，所述调节板7的底部与石英下板3之间设有压缩弹簧9，所述压缩弹簧9的顶部与调节板7焊接或者螺钉固定，底部与石英下板3焊接或者螺栓固定，所述压缩弹簧9一直处于压缩状态，对调节板7产生向上的反向作用力，优选的所述滑杆5位于压缩弹簧9的内部，能够使压缩弹簧9在收到挤压时不会歪斜，保证骑上调节板7的稳定；

所述石英上板2的底部设有连接板10，所述连接板10竖直设置，所述连接板10靠近底部的位置通过轴承水平的转动连接有转轴11，所述转轴11向外延伸，所述转轴11上固定有转轮12，所述转轮12为圆形结构，通过焊接或者螺栓固定在转轴11上，所述转轮12位于调节板7的上方，所述转轮12上圆形阵列有多个不同长度的支杆13，所述支杆13除了长度不同其他的全部相同，以转轮12的圆心为中心圆形阵列在转轮12上，所述支杆13与调节板7的顶部相接触，通过转轮12的转动，就能使不同长度的支杆13与调节板7接触，所述转轮12通过连接板10固定在石英上板2上，因此其位置不会变化，而底部的调节板7滑动在滑杆5上，因此不同长度的支杆13就能使调节板7上升或下降对应的高度，以某一型号的硅片为标准，硅片的高度等于石英上板2到转轮12底部的距离加上支杆13的长度，以此对应出标准的硅片对应的支杆长度，其他硅片与标准硅片的高度差即为不同支杆13之间的高度差，因此就能将不同型号的硅片与不同长度的支杆13对应起来，在承载不同型号的硅片时，用手向下按压调节板7，将转轮12上对应长度的支杆13转动到调节板7的上方，松开调节板7此时在压缩弹簧9的作用下调节板7与支杆13贴紧，石英上板2与放置底板8之间的距离就与竖直放置的对应硅片的高度相适应，所述石英上板2的底部、放置底板8的顶部的对应位置均设有硅片卡槽14，所述硅片的上下两端分别与石英上板2的底部、放置底板8的顶部的卡槽14活动插接，以上长度计算不计算卡槽14的深度，实际使用时在以上基础上将卡槽计算为1-2毫米的距离，即石英上板2上的卡槽14的顶部到转轮12底部的距离加上支杆13的距离再加上一个卡槽13的深度等于硅片的高度。

优选的，所述支杆13的末端可拆卸的设有贴合板15，可拆卸连接优选的使用活动插接，所述贴合板15为中空结构，所述支杆13的末端插接到贴合板15内，所述贴合板15为倒立的t型，所述支杆13与贴合板15的竖直部分连接，具体的为竖直部分为中空，不同所述贴合板15的竖直部分的长度不同，此处不同支杆13的长度不同由竖直部分长度不同的贴合板15决定，可以适应性的更换不同长度的贴合板15，以适应更多硅片使用的需求，进一步增强了本装置的适应性，使用起来更加便捷，所述贴合板15底部的形状与调节板7上表面的形状相适应，能够使贴合板15与调节板7更加紧密的连接在一起，不容易使两者之间发生相对移动，装置更加稳定。

优选的，所述调节板7为弧形，所述调节板7的弧形的两端对称的一体成型的设有水平扩张板16，所述水平扩张板16上设有通孔17，所述滑杆5与通孔17滑动连接，所述滑杆5穿过通孔17并与之相对滑动，所述放置底板8设置在两个调节板7的水平扩张板16之间，这样在计算长度时就需要加上弧形调节板7的高度，所述贴合板15的底部为与调节板7相适应的弧形，两个弧形之间贴合的设置能够进一步增强两者之间贴紧的程度，进一步提高硅片放置之后的稳定。

优选的，所述转轴11的一端设有旋钮18，转动旋钮18来转动转轴11更加方便，所述石英下板3的一端设有钩环19，在将本装置进出高温区域时，利用钩子勾住狗焕19能够更方便的对石英舟进行操作。

优选的，所述石英下板3上设有线槽，所述线槽内设有感温探头，所述感温探头通过无线或者线路与外界的温度显示器连接，能够实时的感知石英舟上的温度，进而调节高温区域的温度，在高温区域进行加工时能够保证加工的质量。

优选的，所述舟体1为两层，这样可以充分利用高温区域的高度空间，在相同的范围内可以放置更多的硅片，提高生产效率，上层所述舟体1的石英下板3比下层舟体1的石英下板3窄，方便下层硅片的放置，使上下两层的硅片在存取时不容易产生干涉，实际使用起来效果更好。

工作原理：将硅片放置在石英上板2与放置底板8之间，这样两者之间的距离就由支杆13的长度决定，因此硅片的长度与支杆13的长度就形成了一一对应的关系，在使用时首先向下按压调节板7，使其进一步挤压压缩弹簧9，然后转动转轴11带动转轮12转动，使对应长度的支杆13转动至调节板7的上方，然后松开调节板7使其在压缩弹簧9的弹力作用下上升，带动与其固定的放置底板8上下移动，直至与支杆13的底部相贴紧，因为调节板7只能沿着滑杆5上下滑动，加上压缩弹簧9的弹力压紧，就能使石英上板2与放置底板8之间保持相对固定的状态，在硅片放入之后不容易歪斜活动，使硅片放置的更加稳定，而对于长度方向来说，石英上板2与放置底板8的长度较长，且较为开阔，完全能满足型号硅片的放置，因此只需考虑高度方向即可，本装置结构简单，使用方便，适应了不同硅片的使用，具备很好的实用性。