一种用于半导体芯片生产用机械手的制作方法

本实用新型涉及半导体生产领域，具体为一种用于半导体芯片生产用机械手。

背景技术：

半导体芯片：在半导体片材上进行浸蚀、布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓（砷化镓有毒，所以一些劣质电路板不要好奇分解它），锗等半导体材料，半导体也像汽车有潮流，二十世纪七十年代，因特尔等美国企业在动态随机存取内存(d-ram)市场占上风，但由于大型计算机的出现，需要高性能d-ram的二十世纪八十年代，日本企业名列前茅；

现有的半导体芯片在进行元器件贴片时，一般只是将硅板放在一平面上进行贴片，硅板没有进行固定，进行运行产生的震动容易导致硅板倾斜，使得元器件贴合后偏斜，影响半导体芯片的质量。

技术实现要素：

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于半导体芯片生产用机械手，解决了现有的半导体芯片在进行元器件贴片时，一般只是将硅板放在一平面上进行贴片，硅板没有进行固定，进行运行产生的震动容易导致硅板倾斜，使得元器件贴合后偏斜，影响半导体芯片的质量的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：包括移动运输板，所述移动运输板的上表面开设有若干条贯穿其一侧的第一滑槽，所述第一滑槽贯穿移动运输板的一侧设置有一移动板，所述移动板靠近移动运输板的一侧滑动连接有若干个与第一滑槽相配合的伸缩爪，所述移动板远离移动运输板的一侧通过一连接杆滑动连接有一支架，所述支架的顶端固定连接有一环形固定板，所述环形固定板的底侧固定连接有一固定环。

优选的，所述移动板靠近移动运输板的一侧开设有若干条第二滑槽，所述伸缩爪通过第二滑槽与移动板滑动连接。

优选的，所述移动运输板的上表面开设有一容纳腔。

优选的，若干个所述伸缩爪的一侧皆固定连接有一齿条，所述齿条的周侧啮合有一齿轮，若干个所述齿轮间固定连接有一转轴，所述转轴的一端固定连接有一电机。

优选的，所述支架的一侧开设有一第三滑槽，所述连接杆通过第三滑槽与支架滑动连接，所述第三滑槽的底侧固定连接有一电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的另一端与连接杆固定连接。

（三）有益效果

本实用新型提供了一种用于半导体芯片生产用机械手。具备以下有益效果：

（1）、该用于半导体芯片生产用机械手，通过伸缩爪与移动板滑动连接，移动板与支架滑动连接的配合作用，使得伸缩爪可伸入移动运输板内，接着移动板在支架上上移，带动硅板上移并与环形固定板固定，解决了现有的半导体芯片在进行元器件贴片时，一般只是将硅板放在一平面上进行贴片，硅板没有进行固定，进行运行产生的震动容易导致硅板倾斜，使得元器件贴合后偏斜，影响半导体芯片的质量的问题。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型支架连接结构示意图；

图3为本实用新型支架结构正视示意图；

图4为本实用新型伸缩爪连接结构示意图；

图5为本实用新型移动运输板结构示意图。

图中：1、移动运输板；11、容纳腔；12、第一滑槽；2、移动板；21、第二滑槽；22、伸缩爪；23、连接杆；24、齿条；3、支架；31、第三滑槽；4、环形固定板；41、固定环；5、电机；51、转轴；52、齿轮；6、电动伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：包括移动运输板1，移动运输板1固定连接在传输带上，由传输带带动移动运输板1进行移动运输，移动运输板1的上表面开设有一容纳腔11，待贴片的硅板放置于容纳腔11内，

移动运输板1的上表面开设有若干条贯穿其一侧的第一滑槽12，第一滑槽12位于容纳腔11的下方，第一滑槽12贯穿移动运输板1的一侧设置有一移动板2，移动板2靠近移动运输板1的一侧滑动连接有若干个与第一滑槽12相配合的伸缩爪22，伸缩爪22可移动伸入第一滑槽12内，移动板2远离移动运输板1的一侧通过一连接杆23滑动连接有一支架3，移动板2在支架3上上下移动，通过伸缩爪22带动硅板上下移动，支架3的顶端固定连接有一环形固定板4，硅板上移与环形固定板4接触，使得硅板固定，贴片装置位于环形固定板4的上方，进行贴片，环形固定板4的底侧固定连接有一固定环41，环形固定板4通过固定环41与硅板进行固定，移动板2靠近移动运输板1的一侧开设有若干条第二滑槽21，伸缩爪22通过第二滑槽21与移动板2滑动连接，若干个伸缩爪22的一侧皆固定连接有一齿条24，齿条24的周侧啮合有一齿轮52，齿轮52转动，通过齿条24带动伸缩爪22进行移动，若干个齿轮52间固定连接有一转轴51，转轴51的一端固定连接有一电机5，电机5为正反转电机，电机5正转，使得伸缩爪22生产，电机5反转，带动伸缩爪22收回，电机5为现有结构，型号可选用y80m2-2，支架3的一侧开设有一第三滑槽31，连接杆23通过第三滑槽31与支架3滑动连接，第三滑槽31的底侧固定连接有一电动伸缩杆6，电动伸缩杆6的另一端与连接杆23固定连接，电动伸缩杆6带动连接杆23移动，使得移动板2随之移动，电动伸缩杆6为现有技术，型号可选用py497。

使用时，只需将硅板放置在容纳腔11内，接着启动电机5，使电机5正转，电机5通过齿轮52、齿条24配合带动伸缩爪22伸入第一滑槽12内，关闭电机5，接着启动电动伸缩杆6，电动伸缩杆6通过连接杆23带动移动板2上移，使得伸缩爪22带动硅板进行上移，直至硅板与环形固定板4上的固定环41接触，即可进行元器件贴片，贴片完成后，关闭电动伸缩杆6，伸缩爪22带动硅板下移，待硅板与容纳腔11接触，随后启动电机5使其反转，使伸缩爪22缩入移动板2内即可。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于：包括移动运输板（1）；

所述移动运输板（1）的上表面开设有若干条贯穿其一侧的第一滑槽（12），所述第一滑槽（12）贯穿移动运输板（1）的一侧设置有一移动板（2）；

所述移动板（2）靠近移动运输板（1）的一侧滑动连接有若干个与第一滑槽（12）相配合的伸缩爪（22）；

所述移动板（2）远离移动运输板（1）的一侧通过一连接杆（23）滑动连接有一支架（3），所述支架（3）的顶端固定连接有一环形固定板（4）；

所述环形固定板（4）的底侧固定连接有一固定环（41）。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于：所述移动板（2）靠近移动运输板（1）的一侧开设有若干条第二滑槽（21），所述伸缩爪（22）通过第二滑槽（21）与移动板（2）滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于：所述移动运输板（1）的上表面开设有一容纳腔（11）。

4.根据权利要求2所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于：若干个所述伸缩爪（22）的一侧皆固定连接有一齿条（24），所述齿条（24）的周侧啮合有一齿轮（52），若干个所述齿轮（52）间固定连接有一转轴（51），所述转轴（51）的一端固定连接有一电机（5）。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体芯片生产用机械手，其特征在于：所述支架（3）的一侧开设有一第三滑槽（31），所述连接杆（23）通过第三滑槽（31）与支架（3）滑动连接，所述第三滑槽（31）的底侧固定连接有一电动伸缩杆（6），所述电动伸缩杆（6）的另一端与连接杆（23）固定连接。

技术总结
本实用新型公开了一种用于半导体芯片生产用机械手，涉及半导体生产领域，包括移动运输板，所述移动运输板的上表面开设有若干条贯穿其一侧的第一滑槽，所述第一滑槽贯穿移动运输板的一侧设置有一移动板，所述移动板靠近移动运输板的一侧滑动连接有若干个与第一滑槽相配合的伸缩爪，所述移动板远离移动运输板的一侧通过一连接杆滑动连接有一支架，所述支架的顶端固定连接有一环形固定板，所述环形固定板的底侧固定连接有一固定环。该用于半导体芯片生产用机械手，解决了半导体芯片在进行元器件贴片时，一般只是将硅板放在一平面上进行贴片，进行运行产生的震动容易导致硅板倾斜，使得元器件贴合后偏斜，影响半导体芯片的质量的问题。

技术研发人员：李杰
受保护的技术使用者：深圳市松冠科技有限公司
技术研发日：2019.12.14
技术公布日：2020.05.26