一种稳定刻蚀槽液面的装置的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池刻蚀技术领域，具体为一种稳定刻蚀槽液面的装置。

背景技术：

太阳能电池制造经过扩散形成pn结后，需要通过刻蚀工序去掉硅片背面和硅片侧面的pn结，达到正面与背面绝缘的目的。刻蚀工序通常是在刻蚀设备的刻蚀槽中进行，现有的刻蚀槽通常由转动滚轮带动硅片在刻蚀液面上前进，进行刻蚀，由于硅片需要在液面上进行移动，所以，刻蚀槽内的液面会产生比较大的波动，并且容易造成刻蚀液体从槽体两侧侧壁溢出，而且比较大的液面波动情况，也会导致出现硅片过刻或者刻蚀效果差的情况，所以需要一个用来稳定液面波动的设备进行整流。

对于上述情况，现有技术中，申请号为“201420064839.7”的一种液体槽的整流挡板，挡板竖直设置在液体的表层，挡板的两端固定在液体槽的侧壁上。挡板在高度方向上的一部分位于液面之上，一部分位于液面之下。挡板在宽度方向上一半的区域为格栅区，一半的区域为中空区，格栅区间隔分布斜向的格栅，该液体槽的整流挡板消耗液面多余的动能，使得液面波动显著降低，适用于各种需要较高的液体流速但又希望液面保持平稳的场合。

但是，上述该整流挡板的使用范围为液面上不需要设置产品的场合，对于硅片的刻蚀来说，刻蚀槽在使用过程中，硅片需要在刻蚀槽内的液面上进行传送，而上述该整流挡板很明显则无法再在液面上进行使用，并且对刻蚀槽槽体这种需要平稳溢流的设备，其液面的稳流效果非常不好。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种稳定刻蚀槽液面的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种稳定刻蚀槽液面的装置，包括挡板，所述挡板顶端开设有波浪状区域，所述波浪状区域在接触液体一侧从下往上设置为斜面。

优选的，所述挡板用于加装在刻蚀槽前后两侧的内侧壁上。

优选的，所述挡板底端固定连接有安装板，所述安装板在接触液体一侧从上往下设置为斜平面，所述斜平面上开设有若干凹槽，所述凹槽与刻蚀槽侧壁通过螺丝固定连接。

优选的，所述斜平面上开设有稳浪槽，所述稳浪槽中水平设置有缓冲板，所述缓冲板呈三角形设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置有波浪形端面的挡板并将其安装在刻蚀槽槽体前后方的侧壁上，可以很好的减小刻蚀槽液面波动的情况，而且通过凹槽的配合，可以很好的调节挡板的安装高度，并且通过安装板上斜平面和稳浪槽的设置，可以进一步的减缓液面波动情况，而且不会影响刻蚀槽液面上硅片的传输，达到稳定刻蚀槽液面的目的，解决了现有刻蚀槽液面波动容易导致过刻的问题。

附图说明

图1为本实用新型的挡板结构立体示意图；

图2为本实用新型的挡板结构主视示意图；

图3为本实用新型的挡板结构侧视示意图；

图4为本实用新型的挡板结构与刻蚀槽槽体连接结构示意图；

图5为本实用新型的a区放大结构示意图。

图中：1挡板、2波浪状区域、3安装板、31斜平面、4凹槽、5稳浪槽、6缓冲板、7刻蚀槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：

一种稳定刻蚀槽液面的装置，包括挡板1，挡板1用于加装在刻蚀槽7前后两侧的内侧壁上，防止刻蚀槽7内的液体从前后两侧侧壁上发生溢流情况，并且对液面进行稳浪，挡板1顶端开设有波浪状区域2，波浪状区域2在接触液体一侧从下往上设置为斜面，利用“短板效应”，挡板1上沿波浪状平稳溢流，增加容纳体积，避免液面突增造成波动，接触液体一侧即朝向刻蚀槽7槽内方向一侧，用于接触刻蚀液，并且通过倾斜的波浪状斜面设置，可以很好的减小刻蚀槽7内的液面波动，使得槽内液面可以平稳从两端溢流，达到稳定液面的目的。

挡板1底端固定连接有安装板3，安装板3在接触液体一侧从上往下设置为斜平面31，可以增加刻蚀液体的容纳体积，朝向槽体内的斜平面31的设置，可以用来进一步的防止液面上下波动，斜平面31上开设有若干凹槽4，凹槽4的设置，用于与刻蚀槽7槽体上的螺丝孔对应，凹槽4与刻蚀槽7侧壁通过螺丝固定连接，可以使得安装板3在与刻蚀槽7固定安装时，用来调节安装板3的高度位置，从而很好的控制挡板1及其波浪状区域2的高度，以便更好的控制挡板1最高处不能接触硅片，而且需要在刻蚀槽7体的前后方均对称加装。

斜平面31上开设有稳浪槽5，稳浪槽5中水平设置有缓冲板6，缓冲板6呈三角形设置，稳浪槽5和缓冲板6的设置，可以对液面的波动进一步的进行缓冲，且可以进一步增加槽体内刻蚀液体的容纳体积。

挡板1长度根据刻蚀槽7槽体宽度进行选择，厚度以实际情况适合刻蚀进行考虑选择，并且挡板1与匹配使用的螺丝需采用pvdf材质，pvdf是一种防酸碱材质，刻蚀槽7槽体里面用的氢氟酸和硝酸，所以材质选用pvdf不会对刻蚀造成影响。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种稳定刻蚀槽液面的装置，包括挡板(1)，其特征在于：所述挡板(1)顶端开设有波浪状区域(2)，所述波浪状区域(2)在接触液体一侧从下往上设置为斜面。

2.根据权利要求1所述的一种稳定刻蚀槽液面的装置，其特征在于：所述挡板(1)用于加装在刻蚀槽(7)前后两侧的内侧壁上。

3.根据权利要求2所述的一种稳定刻蚀槽液面的装置，其特征在于：所述挡板(1)底端固定连接有安装板(3)，所述安装板(3)在接触液体一侧从上往下设置为斜平面(31)，所述斜平面(31)上开设有若干凹槽(4)，所述凹槽(4)与刻蚀槽(7)侧壁通过螺丝固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种稳定刻蚀槽液面的装置，其特征在于：所述斜平面(31)上开设有稳浪槽(5)，所述稳浪槽(5)中水平设置有缓冲板(6)，所述缓冲板(6)呈三角形设置。

技术总结
本实用新型公开了一种稳定刻蚀槽液面的装置，包括挡板，所述挡板顶端开设有波浪状区域，所述波浪状区域在接触液体一侧从下往上设置为斜面。所述挡板底端固定连接有安装板，所述安装板在接触液体一侧从上往下设置为斜平面，所述斜平面上开设有若干凹槽，所述凹槽与刻蚀槽侧壁通过螺丝固定连接。本实用新型通过设置有波浪形端面的挡板并将其安装在刻蚀槽槽体前后方的侧壁上，可以很好的减小刻蚀槽液面波动的情况，而且通过凹槽的配合，可以很好的调节挡板的安装高度，而且不会影响刻蚀槽液面上硅片的传输，达到稳定刻蚀槽液面的目的，解决了现有刻蚀槽液面波动容易导致过刻的问题。

技术研发人员：任波;谢毅
受保护的技术使用者：通威太阳能(合肥)有限公司;通威太阳能(成都)有限公司
技术研发日：2019.12.31
技术公布日：2020.06.09