半导体装置以及半导体装置的制造方法与流程

文档序号:22439167发布日期:2020-10-02 10:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体装置,包括:

第一绝缘体;

所述第一绝缘体上的第一氧化物;

所述第一氧化物上的第二氧化物;

所述第二氧化物上的第一导电体及第二导电体;

所述第二氧化物上的第三氧化物;

所述第三氧化物上的第二绝缘体;

位于所述第二绝缘体上并与所述第三氧化物重叠的第三导电体;

与第一绝缘体的顶面、所述第一氧化物的侧面、所述第二氧化物的侧面、所述第一导电体的侧面、所述第一导电体的顶面、所述第二导电体的侧面及所述第二导电体的顶面接触的第三绝缘体;

所述第三绝缘体上的第四绝缘体;

所述第四绝缘体上的第五绝缘体;以及

所述第三导电体、所述第二绝缘体、所述第三氧化物及所述第五绝缘体上的第六绝缘体,

其中,所述第六绝缘体与所述第三导电体、所述第二绝缘体、所述第三氧化物及所述第五绝缘体各自的顶面接触。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,

其中所述第三绝缘体和所述第四绝缘体都比所述第一绝缘体不容易使氧及氢中的一方或双方透过。

3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,

其中所述第三绝缘体、所述第四绝缘体和所述第六绝缘体都比所述第二绝缘体不容易使氧及氢中的一方或双方透过。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的半导体装置,

其中所述第四绝缘体和所述第六绝缘体都是包含铝及铪中的一方或双方的氧化物。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的半导体装置,

其中所述第四绝缘体和所述第六绝缘体都是氧化铝。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的半导体装置,

其中所述第三绝缘体包含硅及氮。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的半导体装置,

其中所述第一至所述第三氧化物包含in、元素m(m是al、ga、y或sn)及zn。


技术总结
提供一种通态电流大且可靠性高的半导体装置。一种半导体装置,包括:第一绝缘体;第一绝缘体上的第一氧化物;第一氧化物上的第二氧化物;第二氧化物上的第一导电体及第二导电体;第二氧化物上的第三氧化物;第三氧化物上的第二绝缘体;位于第二绝缘体上并与第三氧化物重叠的第三导电体;与第一绝缘体的顶面、第一氧化物的侧面、第二氧化物的侧面、第一导电体的侧面、第一导电体的顶面、第二导电体的侧面、第二导电体的顶面接触的第三绝缘体;第三绝缘体上的第四绝缘体;第四绝缘体上的第五绝缘体;以及第三导电体、第二绝缘体、第三氧化物及第五绝缘体上的第六绝缘体,其中第六绝缘体与第三导电体、第二绝缘体、第三氧化物及第五绝缘体各自的顶面接触。

技术研发人员:山崎舜平;栃林克明;方堂凉太
受保护的技术使用者:株式会社半导体能源研究所
技术研发日:2019.02.14
技术公布日:2020.10.02
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