控制方法、搬运系统以及通信器件与流程

本发明涉及搬运系统的控制方法、搬运系统以及通信器件。

背景技术：

专利文献1公开一种搬运系统，具备：多个高架移动式的搬运台车，搬运储存有半导体晶圆的foup(frontopeningunifiedpod：前开式晶圆传送盒)；和对晶圆进行加工的多个半导体制造装置。在各半导体制造装置安装有1组通信器件以及接入点。各半导体制造装置具备供foup载置的载置口。通信器件经由并行线缆与载置口连接，并且经由lan(localareanetwork)线缆与接入点连接。接入点能够与各搬运台车执行无线通信。

专利文献1:日本特开2015-82574号公报

在上述那样的搬运系统中，各通信器件始终将用于检索通信对象的触发信号(例如，信标(beacon))经由接入点以无线方式持续发送至周围。搬运台车若为了载置foup而到达半导体制造装置的附近，则会响应来自安装于该半导体制造装置的通信器件的触发信号。由此，台车以及通信器件开始用于执行用于在载置口与搬运台车之间移载搬运物的处理(semie84标准中规定的互锁处理)的无线通信(互锁通信)。

但是，若邻接的各通信器件始终持续发送触发信号，则触发信号相互干涉，恐怕产生通信障碍。

技术实现要素：

因此，本发明的目的在于提供能够抑制搬运系统的通信障碍的产生的控制方法等。

为了解决上述课题，本发明的一方式所涉及的控制方法是搬运系统的控制方法，上述搬运系统具备用于搬运搬运物的搬运台车、与被交接上述搬运物的多个设备连接的多个通信器件以及控制上述搬运台车的行驶的控制器，上述控制方法包括：第1获取步骤，上述控制器获取确定上述搬运台车应该交接上述搬运物的设备的设备确定信息；第2获取步骤，上述搬运台车获取表示上述搬运台车的位置的台车位置信息；计算步骤，上述搬运台车、与由上述设备确定信息确定出的确定的设备连接的确定的通信器件以及上述控制器中的任一者基于表示上述确定的设备的位置的交接位置信息和上述台车位置信息，计算上述搬运台车与上述确定的通信器件之间的距离；判定步骤，上述搬运台车、上述确定的通信器件以及上述控制器中的任一者判定上述距离是否为规定距离以下；第1发送步骤，在判定为上述距离为上述规定距离以下的情况下，上述搬运台车和上述确定的通信器件中的一者将用于在上述搬运台车与上述确定的设备之间开始无线通信的触发信号以无线方式向周围发送；以及执行步骤，当上述触发信号在上述搬运台车与上述确定的通信器件之间进行无线通信的情况下，上述搬运台车以及上述确定的通信器件执行用于在上述搬运台车与上述确定的设备之间交接上述搬运物的无线通信。

根据上述控制方法，若搬运台车与确定的通信器件之间的距离为规定距离以下，则搬运台车与确定的通信器件中的一者发送触发信号。因此，不需要多个通信器件分别始终持续发送触发信号。因此，不会产生因多个通信器件发送触发信号产生的、触发信号的相互干涉。这样，根据上述控制方法，能够抑制搬运系统中的通信障碍的产生。

另外，也可以是，上述控制方法还包括第3获取步骤，在该步骤中，上述搬运台车通过从上述控制器接收指示该搬运台车行驶至上述确定的设备的位置的行驶指示，来获取上述交接位置信息，在上述计算步骤中，上述搬运台车基于获取到的上述交接位置信息和上述台车位置信息，计算上述距离，在上述判定步骤中，上述搬运台车判定上述距离是否为上述规定距离以下，在上述第1发送步骤中，在判定为上述距离为上述规定距离以下的情况下，上述搬运台车将上述触发信号以无线方式向周围发送。

由此，不一定需要多个通信器件分别具有发送触发信号的功能。因此，根据上述控制方法，能够在包括不具有发送触发信号的功能的通信器件而构成的搬运系统应用上述控制方法。

另外，也可以是，上述多个通信器件存储用于分别唯一地识别它们的识别码，在上述第1发送步骤中，上述搬运台车将包括用于识别上述确定的通信器件的确定的识别码在内的上述触发信号向周围发送，在上述执行步骤中，上述确定的通信器件通过确认上述触发信号包括上述确定的识别码，从而将上述搬运台车确定为通信对象，并基于该确定，由上述搬运台车以及上述确定的通信器件执行上述无线通信。

由此，确定的通信器件通过对触发信号所包括的用于识别本通信器件的识别码进行确认，从而识别本通信器件为确定的通信器件。因此，根据上述控制方法，搬运台车以及确定的通信器件能够比较容易地实现用于在搬运台车与确定的设备之间交接搬运物的无线通信的执行。

另外，也可以是，上述搬运系统还具备中继装置，上述中继装置对上述搬运台车与上述多个通信器件之间的无线通信进行中继，上述控制方法还包括第3获取步骤，在该步骤中，上述搬运台车通过从上述控制器接收指示该搬运台车行驶至上述确定的设备的位置的行驶指示，来获取上述交接位置信息，在上述计算步骤中，上述搬运台车基于获取到的上述交接位置信息和上述台车位置信息，计算上述距离，在上述判定步骤中，上述搬运台车判定上述距离是否为上述规定距离以下，上述控制方法还包括第2发送步骤，在该步骤中，在判定为上述距离为上述规定距离以下的情况下，上述搬运台车将指示应该发送上述触发信号的发送指示经由上述中继装置以无线方式向上述确定的通信器件发送，在上述第1发送步骤中，在接收上述发送指示的情况下，上述确定的通信器件将上述触发信号以无线方式向周围发送。

由此，搬运台车不一定需要具有发送触发信号的功能。因此，根据上述控制方法，能够在包括不具有发送触发信号的功能的搬运台车而构成的搬运系统应用上述控制方法。

另外，也可以是，上述多个通信器件存储用于分别唯一地识别它们的识别码，上述搬运台车存储表示上述多个通信器件与多个上述识别码的对应关系的对应信息，在上述第1发送步骤中，上述确定的通信器件将包括用于识别上述确定的通信器件的确定的识别码在内的上述触发信号以无线方式向周围发送，在上述执行步骤中，上述搬运台车基于上述触发信号所含的上述确定的识别码和上述对应信息，将上述确定的通信器件确定为通信对象，并基于该确定，由上述搬运台车以及上述确定的通信器件执行上述无线通信。

由此，搬运台车使用触发信号所含的识别码将确定的通信器件确定为通信对象。因此，根据上述控制方法，搬运台车以及确定的通信器件能够比较容易地实现用于在搬运台车与确定的设备之间交接搬运物的无线通信的执行。

为了解决上述课题，本发明的一方式所涉及的搬运系统具备用于搬运搬运物的搬运台车、与被交接上述搬运物的多个设备连接的多个通信器件以及控制上述搬运台车的行驶的控制器，在上述搬运系统中，上述控制器获取确定上述搬运台车应该交接上述搬运物的设备的设备确定信息，上述搬运台车获取表示上述搬运台车的位置的台车位置信息，上述搬运台车、与由上述设备确定信息确定出的确定的设备连接的确定的通信器件以及上述控制器中的任一者基于表示上述确定的设备的位置的交接位置信息和上述台车位置信息，计算上述搬运台车与上述确定的通信器件之间的距离，上述搬运台车、上述确定的通信器件以及上述控制器中的任一者判定上述距离是否为规定距离以下，在判定为上述距离为上述规定距离以下的情况下，上述搬运台车和上述确定的通信器件中的一者将用于在上述搬运台车与上述确定的设备之间开始无线通信的触发信号以无线方式向周围发送，当上述触发信号在上述搬运台车与上述确定的通信器件之间进行无线通信的情况下，上述搬运台车以及上述确定的通信器件执行用于在上述搬运台车与上述确定的设备之间交接上述搬运物的无线通信。

根据上述搬运系统，若搬运台车与确定的通信器件之间的距离为规定距离以下，则搬运台车和确定的通信器件中的一者发送触发信号。因此，不需要多个通信器件分别持续始终发送触发信号。因此，不会产生因多个通信器件发送触发信号而产生的触发信号的相互干涉。这样，根据上述搬运系统，能够抑制通信障碍的产生。

另外，也可以是，上述搬运台车通过从上述控制器接收指示该搬运台车行驶至上述确定的设备的位置的行驶指示，来获取上述交接位置信息，上述搬运台车基于获取到的上述交接位置信息和上述台车位置信息，计算上述距离，上述搬运台车判定上述距离是否为上述规定距离以下，在判定为上述距离为上述规定距离以下的情况下，上述搬运台车将上述触发信号以无线方式向周围发送。

由此，不一定需要多个通信器件分别具有发送触发信号的功能。因此，根据上述搬运系统，能够包括不具有发送触发信号的功能的通信器件。

另外，也可以是，上述多个通信器件存储用于分别唯一地识别它们的识别码，上述搬运台车将包括用于识别上述确定的通信器件的确定的识别码在内的上述触发信号向周围发送，上述确定的通信器件通过确认上述触发信号包括上述确定的识别码，从而将上述搬运台车确定为通信对象，并基于该确定，由上述搬运台车以及上述确定的通信器件执行上述无线通信。

由此，确定的通信器件通过确认触发信号所包括的用于识别本通信器件的识别码，从而识别本通信器件为确定的通信器件。因此，根据上述搬运系统，搬运台车以及确定的通信器件能够比较容易地实现用于在搬运台车与确定的设备之间交接搬运物的无线通信的执行。

另外，也可以是，还具备中继装置，上述中继装置对上述搬运台车与上述多个通信器件之间的无线通信进行中继，上述搬运台车通过从上述控制器接收指示该搬运台车行驶至上述确定的设备的位置的行驶指示，来获取上述交接位置信息，上述搬运台车基于获取到的上述交接位置信息和上述台车位置信息，计算上述距离，上述搬运台车判定上述距离是否为上述规定距离以下，在判定为上述距离为上述规定距离以下的情况下，上述搬运台车将指示应该发送上述触发信号的发送指示经由上述中继装置以无线方式向上述确定的通信器件发送，在接收上述发送指示的情况下，上述确定的通信器件将上述触发信号以无线方式向周围发送。

由此，搬运台车不一定需要具有发送触发信号的功能。因此，根据上述搬运系统，能够包括不具有发送触发信号的功能的搬运台车。

另外，也可以是，上述多个通信器件存储用于分别唯一地识别它们的识别码，上述搬运台车存储表示上述多个通信器件与多个上述识别码的对应关系的对应信息，上述确定的通信器件将包括用于识别上述确定的通信器件的确定的识别码在内的上述触发信号以无线方式向周围发送，上述搬运台车基于上述触发信号所含的上述确定的识别码和上述对应信息，将上述确定的通信器件确定为通信对象，并基于该确定，由上述搬运台车以及上述确定的通信器件执行上述无线通信。

由此，搬运台车使用触发信号所含的识别码将确定的通信器件确定为通信对象。因此，根据上述搬运系统，搬运台车以及确定的通信器件能够比较容易地实现用于在搬运台车与确定的设备之间交接搬运物的无线通信的执行。

为了解决上述课题，本发明的一方式所涉及的通信器件是与被交接搬运物的确定的设备连接的通信器件，在从用于搬运上述搬运物的搬运台车经由对上述搬运台车与上述通信器件之间的无线通信进行中继的中继装置接收到指示应该发送用于在上述搬运台车与上述确定的设备之间开始无线通信的触发信号的发送指示的情况下，将上述触发信号以无线方式向周围发送。

上述通信器件在接收发送指示的情况下，发送触发信号。因此，上述通信器件不需要持续始终发送触发信号。因此，若在包括多个通信器件而构成的搬运系统利用上述通信器件，则不会产生因多个通信器件分别发送触发信号而产生的触发信号的相互干涉。这样，根据上述通信器件，能够抑制通信障碍的产生。

另外，也可以是，存储用于唯一地识别上述通信器件的识别码，在上述触发信号的发送中，将包括存储的上述识别码在内的上述触发信号以无线方式向周围发送，在上述搬运台车基于接收到的上述触发信号所含的上述识别码将上述通信器件确定为通信对象的情况下，在上述通信器件与上述搬运台车之间执行用于在上述搬运台车与上述确定的设备之间交接上述搬运物的无线通信。

由此，搬运台车使用触发信号所含的识别码将上述通信器件确定为通信对象。因此，根据上述通信器件，能够在通信器件与搬运台车之间比较容易地实现用于在搬运台车与确定的设备之间交接搬运物无线通信的执行。

根据本发明的控制方法等，能够抑制搬运系统的通信障碍的产生。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的搬运系统的结构图。

图2是表示实施方式1所涉及的搬运系统的概要的外观图。

图3是表示实施方式1所涉及的搬运系统的功能结构的框图。

图4是实施方式1所涉及的互锁通信开始处理的流程图。

图5是实施方式2所涉及的搬运系统的结构图。

图6是表示实施方式2所涉及的搬运系统的功能结构的框图。

图7是实施方式2所涉及的互锁通信开始处理的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式具体地进行说明。

以下说明的实施方式均表示本发明的优选的一个具体例。以下的实施方式所示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置位置以及连接形式、步骤、步骤的顺序等为一个例子，不是旨在限定本发明。另外，针对以下的实施方式的结构要素中的表示本发明的最上位概念的独立权利要求没有记载的结构要素，作为构成更优选的形式的任意的结构要素而说明。此外，对相同的结构要素标注相同的附图标记，有时省略说明。

(实施方式1)

以下，对搬运搬运物的搬运系统进行说明。

图1是实施方式1所涉及的搬运系统1的结构图。

如图1所示那样，搬运系统1包括用于搬运搬运物的搬运台车30、与被交接搬运物的多个设备40a～40k、40m连接的多个通信器件10a～10k、10m以及控制搬运台车30的行驶的控制器20而构成。

此处，搬运系统1成为以下的例子，在具备半导体制造装置50a～50c的半导体工厂中，作为将储存有半导体晶圆的foup作为搬运物来搬运的搬运系统而运用。

以下，对于通信器件10a～10k、10m而言，除了需要明确地区别各个体而说明的情况之外，其他称为通信器件10。另外，对于设备40a～40k、40m而言，除了需要明确地区别各个体而说明的情况之外，其他情况下称为设备40。另外，对于半导体制造装置50a～50c而言，除了需要明确地区别各个体而说明的情况之外，其他情况下称为半导体制造装置50。

此外，对搬运系统1不包括设备40以及半导体制造装置50的情况进行说明，但搬运系统1也可以包括设备40以及半导体制造装置50的一方或者双方。另外，图1中，图示了搬运台车30为1台，但也可以为多台。

图2是表示搬运系统1的概要的外观图。

图2所示的半导体制造装置50是加工半导体晶圆的装置，其具备用于将作为搬运物100的foup搬入以及搬出的foup搬入搬出口51。

设备40在载置有作为搬运物100的foup的载置口且半导体制造装置50的foup搬入搬出口51附近配置，并在与搬运台车30之间以及与半导体制造装置50之间交接搬运物100。

另外，设备40经由有线线缆在与通信器件10之间收发信号。此处，相对于一个半导体制造装置50，例如设置有四个设备40，各设备40与一个通信器件10一对一连接。因此，一个半导体制造装置50和多个(此处为四个)通信器件10经由多个(此处为四个)设备40而连接。

此外，在本实施方式1中，对设备40与通信器件10一对一连接的情况进行说明，但例如也可以构成为，通过设备40a以及40b与通信器件10a连接、设备40的40c、40d与通信器件10b连接等2对1的连接，从而减少通信器件10的数量。若这样，则可得到搬运系统整体的成本降低效果。

搬运台车30是在与设备40之间交接搬运物100，并沿着行驶路线2搬运搬运物100的台车，且在内部具备把持搬运物100的把持部31。把持部31例如可升降地设置，并在与设备40之间移载搬运物100时，下降至设备40附近。此外，把持部31也可以设置为能够在水平方向上移动。

通信器件10是包括对为了在设备40与搬运台车30之间交接搬运物而通信的信号具体而言互锁处理所涉及的信号(以下，称为“互锁信号”。)的收发(以下，称为“互锁通信”。)进行中继的通信功能的装置。互锁信号例如是包。互锁处理是若确定的条件不成立则无法执行其他动作的处理。互锁处理例如也可以是根据semie84标准规定的处理。通过在搬运系统1中进行互锁处理，从而在从搬运台车30将搬运物100向设备40移载时，若确定的条件不成立则无法向接下来的工序转移。确定的条件是指例如确定的搬运台车30向欲进行搬运物100的交接的确定的设备40发送包括确认当前是否处于可进行交接的状态的指示(互锁处理的执行指令)在内的互锁信号，并能够从确定的设备40接收包括表示当前处于可进行移载的状态的响应的互锁信号之类的条件。由此，能够安全并且切实地进行搬运物100从确定的搬运台车30向确定的设备40的交接。

通信器件10在设备40与搬运台车30之间的互锁通信的中继中，利用无线方式进行通信器件10与搬运台车30之间的通信，利用经由有线线缆的有线方式进行通信器件10与设备40之间的通信。此处，作为无线通信，例如可采用符合ieee802.11a、b、g、n标准、ism频带的通信中使用的ant通信标准等的通信、subgiga频带的通信。

另外，作为有线通信，例如，可采用ieee802.3标准、并行通信、串行通信等的通信。

以下，针对构成搬运系统1的各构成要素，更详细地进行说明。

图3是表示搬运系统1的功能结构的框图。

控制器20控制搬运台车30的行驶。控制器20例如通过利用沿着搬运台车30行驶的行驶路线2(参照图2)配置的泄漏馈线，以非接触方式与搬运台车30进行通信，对搬运台车30发送各种控制信号，从而进行搬运台车30的行驶的控制。控制器20与搬运台车30的通信是非接触的，也能够采用使控制信号叠加于被供给至沿着行驶路线2配置的绞合线的电力的方式。

控制器20从外部装置(例如，在运用搬运系统1的半导体制造工厂中，管理半导体制造工序的管理系统的管理服务器)，获取确定搬运台车30应该交接搬运物100的设备40的设备确定信息。

控制器20若获取设备确定信息，则将指示行驶至由设备确定信息确定出的确定的设备40的位置的行驶指示向搬运台车30发送。

控制器20例如通过具备处理器、存储器、通信接口的计算机装置来实现。在这种情况下，控制器20的各种功能通过由处理器执行存储于存储器的程序来实现。

搬运台车30包括把持部31、台车控制部32、台车通信部33而构成。

台车通信部33与通信器件10以及控制器20进行通信。台车通信部33与通信器件10之间进行无线通信，在与控制器20之间，以非接触方式进行通信。

台车通信部33具有向外部发送触发信号(例如，信标(beacon)、配对信号)的主站模式和不向外部发送触发信号的子站模式这两个动作模式。台车通信部33的动作模式由台车控制部32设定为主站模式和子站模式的任一个。台车通信部33的动作模式在除了满足规定条件的特别的期间以外的通常时，设定为子站模式。

台车控制部32控制搬运台车30。

台车控制部32获取表示搬运台车30的位置的台车位置信息。也可以是，台车控制部32例如具备条形码读取器，并通过读取在行驶路线2以规定间隔(例如3m)配置的条形码，从而获取行驶路线2的台车位置信息。在这种情况下，也可以是，台车控制部32在搬运台车30位于条形码之间时，使用从用于使搬运台车30行驶的驱动装置(例如马达)输出的编码信号来内插其为条形码之间的哪个位置，从而获取台车位置信息。

台车控制部32通过经由台车通信部33接收从控制器20发送的行驶指示，从而获取表示搬运台车30应该交接搬运物100的确定的设备40的位置的交接位置信息。

台车控制部32基于获取到的台车位置信息和获取到的交接位置信息，对搬运台车30与和确定的设备40连接的确定的通信器件10之间的距离、具体而言搬运台车30与确定的通信器件10之间的沿着行驶路线2的距离进行计算，并判定计算出的距离是否为规定距离以下。此外，搬运台车30与确定的通信器件10之间的距离也可以是连结两者的直线距离。此处，台车控制部32由于确定的通信器件10和确定的设备40处于几乎相同的位置，所以能够将确定的设备40与搬运台车30之间的距离视为确定的通信器件10与搬运台车30之间的距离。

台车控制部32在判定为计算出的距离为规定距离以下的情况下，将台车通信部33的动作模式设定为主站模式。然后，台车控制部32将用于在搬运台车30与上述确定的设备40之间开始作为无线通信的互锁通信的触发信号经由台车通信部33以无线方式向周围发送。触发信号包括对确定的通信器件10进行识别的识别码。此处，识别码是分别分配于多个通信器件10的用于分别唯一地识别多个通信器件10的识别码。例如只要无线通信是符合ieee802.11标准的通信，则识别码也可以是识别网络的ssid(servicesetidentifier)。另外，例如只要无线通信是符合ant通信标准的通信，则识别码也可以是(不重复地)预先分别分配于多个通信器件10的装置编号等。

当触发信号在台车控制部32与确定的通信器件10之间进行无线通信的情况下，台车控制部32经由台车通信部33在与确定的通信器件10之间执行用于在台车控制部32与确定的设备40之间交接搬运物100的作为无线通信的互锁通信。

也可以是，台车控制部32例如在发送了触发信号后，从上述确定的通信器件10，经由台车通信部33，接收表示接收了包括识别本通信器件10的识别码在内的触发信号的意思的响应信号，从而开始互锁通信的执行。

台车控制部32例如通过由搬运台车30具备的处理器执行存储于搬运台车30具备的存储器的程序来实现。

通信器件10包括通信部12和控制部13而构成。

通信部12与搬运台车30以及设备40进行通信。通信部12在与搬运台车30之间进行无线通信，并在与设备40之间，经由有线线缆进行有线通信。

控制部13控制通信器件10。

控制部13对用于唯一地识别包括自身的通信器件10的识别码进行存储。即，多个通信器件10将用于分别唯一地识别它们的识别码存储于各自的控制部13。

控制部13在从搬运台车30经由通信部12接收了触发信号的情况下，确认出该触发信号包括存储的识别码时，将搬运台车30确定为通信对象。而且，基于该确定，经由通信部12在与搬运台车30之间执行用于在搬运台车30和连接有通信器件10的设备40之间交接搬运物的作为无线通信的互锁通信。

也可以是，控制部13例如若确认接收到的触发信号包括存储的识别码，则经由通信部12，将表示接收到包括识别本通信器件10的识别码在内的触发信号的意思的响应信号向搬运台车30发送。

控制部13例如通过由通信器件10具备的处理器执行存储于通信器件10具备的存储器的程序来实现。

以下，对上述结构的搬运系统1执行的动作进行说明。

搬运系统1进行开始用于在设备40与搬运台车30之间交接搬运物100的互锁通信的互锁通信开始处理。

图4是互锁通信开始处理的流程图。

互锁通信开始处理例如通过搬运系统1起动而开始。

若开始互锁通信开始处理，则控制器20从外部装置获取确定搬运台车30应该交接搬运物100的设备40的设备确定信息(步骤s10)。

若获取设备确定信息，则控制器20将指示行驶至由获取到的设备确定信息确定出的确定的设备40的位置的行驶指示向搬运台车30发送(步骤s20)。

若发送行驶指示，则搬运台车30通过接收行驶指示，从而获取表示搬运台车30应该交接搬运物100的确定的设备40的位置的交接位置信息(步骤s30)。

若获取交接位置信息，则搬运台车30获取表示自身(搬运台车30)的当前位置的台车位置信息(步骤s40)。

若获取台车位置信息，则搬运台车30基于获取到的交接位置信息和获取到的台车位置信息，计算搬运台车30与和确定的设备40连接的确定的通信器件10之间的距离(步骤s50)。

若计算搬运台车30与确定的通信器件10之间的距离，则搬运台车30判定计算出的距离是否为规定距离以下(步骤s60)。

在步骤s60的处理中，在计算出的距离不是规定距离以下的情况下(步骤s60：否)，搬运系统1再次进入步骤s40的处理。

在步骤s60的处理中，在计算出的距离为规定距离以下的情况下(步骤s60：是)，搬运台车30将台车通信部33的动作模式设定为主站模式，并将触发信号以无线方式向周围发送，上述触发信号是包括确定出与确定的设备40关联的通信器件10的确定的识别码在内的触发信号，且用于开始用于在搬运台车30与确定的设备40之间交接搬运物100的作为无线通信的互锁通信(步骤s70)。

若发送触发信号，则确定的通信器件10接收触发信号，并确认接收到的触发信号包括确定的识别码(例如，ssid等)，将搬运台车30确定为通信对象(步骤s80)。

若确定的通信器件10将搬运台车30确定为通信对象，则搬运台车30以及确定的通信器件10执行用于在搬运台车30与确定的设备40之间交接搬运物100的作为无线通信的互锁通信(步骤s90)。

若步骤s90的处理结束，则搬运系统1结束该互锁通信开始处理。

如上述那样，上述构成的搬运系统1在互锁通信开始处理中，若搬运台车30与确定的通信器件10之间的距离为规定距离以下，则为了在搬运台车30与多个通信器件10中的确定的通信器件10之间开始无线通信，搬运台车30发送触发信号。因此，多个通信器件10不需要为了开始无线通信而发送触发信号。因此，不会产生因多个通信器件10分别发送触发信号而产生的触发信号的相互干涉。这样，根据上述结构的搬运系统1，能够抑制通信障碍的产生。

(实施方式2)

以下，对从实施方式1所涉及的搬运系统1变更了其结构的一部分的实施方式2所涉及的搬运系统进行说明。

实施方式1所涉及的搬运系统1是搬运台车30发送触发信号的结构的例子。相对于此，实施方式2所涉及的搬运系统成为确定的通信器件发送触发信号的结构的例子。

图5是实施方式2所涉及的搬运系统1a的结构图。

如图5所示那样，搬运系统1a相对于实施方式1所涉及的搬运系统1，将实施方式1所涉及的搬运台车30变更为搬运台车80，将实施方式1所涉及的通信器件10a～10k、10m分别变更为通信器件60a～60k、60m，追加中继装置90而构成。

以下，与实施方式1相同，对于通信器件60a～60k、60m而言，除了需要明确地区别各个体而说明的情况之外，其他情况下称为通信器件60。

中继装置90对搬运台车80与通信器件60之间的无线通信进行中继。中继装置90例如也可以是接入点。

以下，针对构成搬运系统1a的各构成要素，以与实施方式1所涉及的搬运系统1的不同点为中心，更详细地进行说明。

图6是表示搬运系统1a的结构的框图。

如图6所示那样，搬运台车80从实施方式1所涉及的搬运台车30，将台车控制部32变更为台车控制部82，将台车通信部33变更为台车通信部83而构成。

台车通信部83与通信器件60、中继装置90以及控制器20进行通信。台车通信部83在与通信器件60以及中继装置90之间进行无线通信，在与控制器20之间，利用泄漏馈线以非接触方式进行通信。

台车通信部83与实施方式1所涉及的台车通信部33不同，作为动作模式，不需要具有对外部发送触发信号的主站模式。

台车控制部82与实施方式1所涉及的台车控制部32相同，获取自身的台车位置信息，获取交接位置信息，对搬运台车80与和确定的设备40连接的确定的通信器件60之间的距离进行计算，并判定计算出的距离是否为规定距离以下。

台车控制部82在判定为计算出的距离为规定距离以下的情况下，将指示应该发送触发信号的发送指示经由台车通信部83，通过中继装置90，以无线方式向确定的通信器件60发送。

台车控制部82经由台车通信部83接收从多个通信器件60的任一个发送的触发信号。

台车控制部82对表示多个通信器件60与用于分别唯一地识别多个通信器件60的多个识别码(例如，ssid等)之间的对应关系的对应信息进行存储。

台车控制部82若从确定的通信器件60，经由台车通信部83接收包括识别确定的通信器件60的确定的识别码在内的触发信号，则基于该确定的识别码和对应信息，将该确定的通信器件60确定为通信对象。然后，根据该确定结果，台车控制部82经由台车通信部83在与确定的通信器件60之间执行用于在台车控制部82与确定的设备40之间交接搬运物100的作为无线通信的互锁通信。

也可以是，台车控制部82例如若确认接收到的触发信号包括识别确定的通信器件60的确定的识别码，则将表示接收到包括确定的识别码在内的触发信号的意思的响应信号向确定的通信器件60发送。

台车控制部82例如与实施方式1所涉及的台车控制部32相同，通过由搬运台车80具备的处理器执行存储于搬运台车80具备的存储器的程序来实现。

通信器件60从实施方式1所涉及的通信器件10，将通信部12变更为通信部62，将控制部13变更为控制部63而构成。

通信部62与搬运台车80、中继装置90以及设备40进行通信。通信部62在与搬运台车80以及中继装置90之间进行无线通信，在与设备40之间，经由有线线缆进行有线通信。

通信部62具有对外部发送触发信号(例如，信标(beacon)、配对信号)的主站模式和不对外部发送触发信号的子站模式这两个动作模式。通信部62的动作模式通过控制部63设定为主站模式和子站模式的任一个。通信部62的动作模式在除了满足规定条件的特别期间以外的通常时，设定为子站模式。

控制部63控制通信器件60。

控制部63对用于唯一地识别包括自身的通信器件60的识别码进行存储。即，多个通信器件60将用于分别唯一地识别它们的识别码存储于各自的控制部63。

控制部63若从搬运台车80通过中继装置90经由通信部62接收发送指示，则将通信部62的动作模式设定为主站模式。然后，控制部63将触发信号经由通信部62以无线方式向周围发送，上述触发信号用于在搬运台车30与和包括自身的通信器件60连接的设备40之间开始作为无线通信的互锁通信。此时，控制部63将所存储的识别码包含于触发信号而发送。

当触发信号在控制部63与搬运台车80之间进行无线通信的情况下，控制部63经由通信部62在与搬运台车80之间执行用于在搬运台车80与和包括控制部63自身的通信器件60连接的设备40之间交接搬运物100的作为无线通信的互锁通信。

也可以是，控制部63例如通过在发送了触发信号后，从搬运台车80经由通信部62接收表示接收到包括确定的识别码在内的触发信号的意思的响应信号，从而开始互锁通信的执行。

控制部63例如通过由通信器件60具备的处理器执行存储于通信器件60具备的存储器的程序来实现。

以下，对上述结构的搬运系统1a执行的动作进行说明。

搬运系统1a进行开始用于在设备40与搬运台车80之间交接搬运物100的互锁通信的互锁通信开始处理。该实施方式2所涉及的互锁通信开始处理成为其一部分的处理从实施方式1所涉及的互锁通信开始处理进行了变更的处理。

图7是实施方式2所涉及的互锁通信开始处理的流程图。

在互锁通信开始处理中，步骤s110的处理～步骤s160的处理分别成为与相对于实施方式1所涉及的互锁通信开始处理中的步骤s10的处理～步骤s60的处理将通信器件10替换为通信器件60、将搬运台车30替换为搬运台车80、将搬运系统1替换为搬运系统1a的处理相同的处理。因此，针对步骤s110的处理～步骤s160的处理，已经说明完毕，此处，省略它们的说明，以步骤s170的处理～步骤s200的处理为中心进行说明。

在步骤s160的处理中，在计算出的距离为规定距离以下的情况下(步骤s160：是)，搬运台车80将指示应该发送触发信号的发送指示通过中继装置90以无线方式向确定的通信器件10发送(步骤s170)。

若从搬运台车80发送发送指示，则确定的通信器件60通过中继装置90，接收发送信号，将通信部62的动作模式设定为主站模式。然后，确定的通信器件60将触发信号以无线方式向周围发送，上述触发信号是用于在搬运台车30与和确定的通信器件60连接的设备40之间开始作为无线通信的互锁通信的触发信号，且包括识别确定的通信器件60的确定的识别码(步骤s180)。

若发送触发信号，则搬运台车80接收触发信号，并基于触发信号所含的确定的识别码和所存储的对应信息，将该确定的通信器件10确定为通信对象(步骤s190)。

若搬运台车80将确定的通信器件60确定为通信对象，则搬运台车80以及确定的通信器件60执行用于在搬运台车80与确定的设备40之间交接搬运物100的作为无线通信的互锁通信(步骤s200)。

若步骤s200的处理结束，则搬运系统1a结束该互锁通信开始处理。

如上述那样，上述结构的搬运系统1a在互锁通信开始处理中，若搬运台车80与确定的通信器件60之间的距离为规定距离以下，则多个通信器件60中的一个确定的通信器件60发送触发信号。因此，其他通信器件60不需要发送触发信号。因此，不会产生因多个通信器件60发送触发信号而产生的触发信号的相互干涉。这样，根据上述结构的搬运系统1a，能够抑制通信障碍的产生。

(其他实施方式)

以上，基于实施方式1以及实施方式2对本发明所涉及的控制方法、搬运系统以及通信器件进行了说明，但本发明不限定于这些实施方式。只要不脱离本发明的主旨，则将本领域技术人员想到的各种变形施加于本实施方式而成的方式以及组合不同实施方式的构成要素而构建的形式也包含于本发明的范围内。

(1)在实施方式1以及实施方式2中，对搬运系统为搬运台车基于交接位置信息和自身的台车位置信息，计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离，搬运台车判定计算出的距离是否为规定距离以下的结构进行了说明。然而，本发明所涉及的搬运系统为搬运台车、确定的通信器件以及控制器中的任一个基于交接位置信息和台车位置信息，计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离，且搬运台车、确定的通信器件以及控制器中的任一个判定计算出的距离是否为规定距离以下的结构即可。

例如，对于由控制器进行的基于交接位置信息和台车位置信息的搬运台车与确定的通信器件之间的距离的计算而言，可通过控制器例如利用对泄漏馈线的非接触通信或者使信号叠加于供电绞合线的叠加通信从搬运台车接收台车位置信息来实现。

例如，对于由确定的通信器件进行的基于交接位置信息和台车位置信息的搬运台车与确定的通信器件之间的距离的计算而言，可通过确定的通信器件例如利用经由中继装置的无线通信从控制器接收交接位置信息，且确定的通信器件例如利用经由中继装置的无线通信，从搬运台车接收台车位置信息来实现。

例如，对于搬运台车计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离的情况下的由确定的通信器件进行的计算出的距离是否为规定距离以下的判定而言，可通过确定的通信器件例如利用中继装置中继的无线通信接收表示由搬运台车计算出的距离的信息来实现。

例如，对于确定的通信器件计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离的情况下的由确定的通信器件进行的计算出的距离是否为规定距离以下的判定而言，可通过确定的通信器件直接利用计算出的距离来实现。

例如，对于控制器计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离的情况下的由控制器进行的计算出的距离是否为规定距离以下的判定而言，可通过控制器直接利用计算出的距离来实现。

根据这样的情况，作为本发明所涉及的搬运系统的一个例子，除了实施方式1中说明的搬运系统1和实施方式2中说明的搬运系统1a之外，例如还考虑以下的搬运系统1b～搬运系统1e。

对于本发明所涉及的搬运系统1b(未图示)而言，例如，搬运台车基于交接位置信息和台车位置信息，计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离，确定的通信器件判定计算出的距离是否为规定距离以下，确定的通信器件发送触发信号。

对于本发明所涉及的搬运系统1c(未图示)而言，例如，确定的通信器件基于交接位置信息和台车位置信息，计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离，确定的通信器件判定计算出的距离是否为规定距离以下，确定的通信器件发送触发信号。

对于本发明所涉及的搬运系统1d(未图示)而言，例如，控制器基于交接位置信息和台车位置信息，计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离，控制器判定计算出的距离是否为规定距离以下，搬运台车发送触发信号。

对于本发明所涉及的搬运系统1e(未图示)而言，例如，控制器基于交接位置信息和台车位置信息，计算搬运台车与确定的通信器件之间的距离，控制器判定计算出的距离是否为规定距离以下，确定的通信器件发送触发信号。

(2)在实施方式1中，成为与通信器件10一对一连接的设备是供搬运物100载置的载置口的结构例，但不局限于此。例如，设备也可以是半导体制造装置50。换句话说，也可以是，多个通信器件10分别与多个半导体制造装置50分别一对一连接，一台通信器件10负责多个载置口。

另外，例如，设备也可以是使多个半导体制造装置50的集合成为一个单位的半导体制造装置50组。换句话说，也可以是，多个通信器件10分别与多个半导体制造装置50组分别一对一连接，一台的通信器件10负责多个半导体制造装置50。

另外，例如，设备也可以是使多个载置口的集合成为一个单位的载置口组。换句话说，也可以是，多个通信器件10分别与多个载置口组分别一对一连接。换言之，也可以是，一个通信器件10与多个载置口的集合一对一连接。

并且，例如，设备也可以不是与半导体制造相关的载置口或者半导体制造装置50等。例如，设备也可以与半导体制造无关，也可以是放置台等。

(3)实施方式1的互锁通信开始处理以及实施方式2的互锁通信开始处理的步骤也可以通过计算机(计算机系统)来执行。而且，本发明可作为用于使计算机执行实施方式1的互锁通信开始处理以及实施方式2的互锁通信开始处理所含的步骤的程序来实现。并且，本发明能够作为记录有该程序的cd-rom等亦即非暂时性的计算机可读取的记录介质来实现。

例如，在本发明通过程序(软件)实现的情况下，通过利用计算机的cpu、存储器以及输入输出电路等硬件资源执行程序，来执行各步骤。换句话说，通过cpu从存储器或者入输出电路等获取数据并进行运算，或者将运算结果输出至存储器或者起动入输出电路等，来执行各步骤。

(4)在实施方式1中，搬运系统1所含的多个构成要素也可以分别作为专用或者通用的电路来实现。上述的结构要素也可以作为一个电路来实现，也可以作为多个电路来实现。

另外，搬运系统1所含的多个构成要素也可以作为集成电路(ic：integratedcircuit)亦即lsi(largescaleintegration)来实现。上述的结构要素也可以单独地被单晶片化，也可以以包含一部分或者全部的方式单晶片化。lsi根据集成度的不同，有时被称为系统lsi、超级lsi或者大规模lsi。

另外，集成电路不局限于lsi，也可以通过专用电路或者通用处理器来实现。如上述那样，也可以利用可编程的fpga或者可重建lsi内部的电路单元的连接以及设定的配置/处理器。

并且，若因半导体技术的进步或者衍生的其他技术而取代lsi的集成电路化的技术出现，则当然也可以使用该技术，进行搬运系统1所含的各构成要素的集成电路化。

(5)此外，对实施方式1以及实施方式2施加本领域技术人员所想到的各种变形而得到的形式、通过在不脱离本发明的主旨的范围内任意组合各实施方式的构成要素以及功能而实现的形式也包含于本发明。

工业上的可利用性

本发明能够在通过无线通信进行互锁处理的搬运系统等中利用。

附图标记说明

1、1a...搬运系统；2...行驶路线；10、10a、10b、10c、10d、10e、10f、10g、10h、10i、10j、10k、10m、60、60a、60b、60c、60d、60e、60f、60g、60h、60i、60j、60k、60m...通信器件；12、62...通信部；13、63...控制部；20...控制器；30、80...搬运台车；31...把持部；32、82...台车控制部；33、83...台车通信部；40、40a、40b、40c、40d、40e、40f、40g、40h、40i、40j、40k、40m...设备；50、50a、50b、50c...半导体制造装置；51...foup搬入搬出口；90...中继装置；100...搬运物。