半导体装置的制作方法

半导体装置
1.本技术基于日本专利申请第2020－45514号(申请日：2020年3月16日)主张优先权，这里通过引用而包含其全部内容。
技术领域
2.本发明涉及半导体装置。


背景技术：

3.已知在1个共同的半导体基板上形成具有电气地相互独立的源极电极的两个晶体管，将两个晶体管的漏极彼此用共用电极(背面电极)连接的半导体装置。


技术实现要素：

4.本发明的目的是提供一种能够实现翘曲的抑制的半导体装置。
5.根据技术方案，半导体装置具备：半导体部，具有第1面、第2面、设置在上述第1面与上述第2面之间的第1区域、和设置在上述第1面与上述第2面之间的第2区域；共用电极，设置在上述第2面；第1电极，设置在上述第1区域的上述第1面上；第2电极，设置在上述第2区域的上述第1面上，与上述第1电极分离；第1控制电极，设置在上述第1区域中，控制上述第1区域中的沿将上述第1电极与上述共用电极连结的方向流动的电流；以及第2控制电极，设置在上述第2区域中，控制上述第2区域中的沿将上述第2电极与上述共用电极连结的方向流动的电流。在上述共用电极设置有第1槽。
附图说明
6.图1是实施方式的半导体装置的示意俯视图。
7.图2是图1的a－a’线剖面图。
8.图3(a)及(b)是其他实施方式的半导体装置的示意剖面图。
9.图4是另一其他实施方式的半导体装置的示意斜视图。
10.图5是安装在配线基板上的实施方式的半导体装置的示意剖面图。
具体实施方式
11.以下，参照附图对实施方式进行说明。另外，在各图中，对于相同的要素赋予相同的标号。
12.图1是实施方式的半导体装置1的示意俯视图。
13.图2是图1的a－a’线剖面图。
14.半导体装置1具备半导体部50、共用电极30、第1电极10、第2电极20、第1控制电极71和第2控制电极72。
15.半导体部50具有半导体基板53、设置在半导体基板53上的第1半导体层54、设置在第1半导体层54内的第2半导体层13及第3半导体层14、设置在第2半导体层13内的第4半导
体层15和设置在第3半导体层14内的第5半导体层16。
16.半导体基板53例如是n型的硅基板。第1半导体层54例如是n型的硅层。第1半导体层54的n型杂质浓度比半导体基板53的n型杂质浓度低。第1半导体层54例如在半导体基板53上外延成长。
17.第2半导体层13及第3半导体层14例如是p型的硅层。第1半导体层54与第2半导体层13的底面、侧面、第3半导体层14的底面及侧面接触。
18.第4半导体层15及第5半导体层16例如是n型的硅层。第4半导体层15及第5半导体层16的n型杂质浓度比第1半导体层54的n型杂质浓度高。第2半导体层13与第4半导体层15的底面及侧面接触。第3半导体层14与第5半导体层16的底面及侧面接触。
19.第1半导体层54的表面、第2半导体层13的表面、第3半导体层14的表面、第4半导体层15的表面及第5半导体层16的表面构成半导体部50的第1面51。半导体基板53的背面构成半导体部50的第2面52。
20.半导体部50在第1面51与第2面52之间具有第1区域61和第2区域62。第1区域61和第2区域62在半导体部50的面方向(与第1面51或第2面52平行的方向)上相邻。
21.半导体基板53及第1半导体层54共同地设置在第1区域61及第2区域62。第2半导体层13及第4半导体层15设置在第1区域61。第3半导体层14及第5半导体层16设置在第2区域62。
22.在第1区域61设置有多个第1控制电极71。第1控制电极71例如是沟槽栅极，在第1区域61内在半导体部50的厚度方向上延伸。第1控制电极71的上表面、侧面及底面被绝缘膜73覆盖。第1控制电极71的侧面隔着绝缘膜73与第2半导体层13对置。
23.在第2区域62设置有多个第2控制电极72。第2控制电极72例如是沟槽栅极，在第2区域62内在半导体部50的厚度方向上延伸。第2控制电极72的上表面、侧面及底面被绝缘膜74覆盖。第2控制电极72的侧面隔着绝缘膜74与第3半导体层14对置。
24.这里，将在平行于半导体部50的第1面51或第2面52的面内相互正交的两个方向在图1中设为x方向及y方向。图2所示的第1控制电极71及第2控制电极72在x方向上延伸。
25.在半导体部50的第1区域61中的第1面51上设置有第1电极10。第1电极10具有在半导体部50的第1面51中与第4半导体层15接触的第1金属部11和设置在第1金属部11上的第2金属部s1。
26.第1金属部11的面积比第2金属部s1的面积大。第1金属部11的面积表示第1金属部11与半导体部50的第1面51接触的面积或第1金属部11的表面(图2中的上表面)的面积。第2金属部s1的面积表示第2金属部s1的表面(图2中的上表面)的面积。换言之，x－y平面中的第1金属部11的至少一部分的面积比x－y平面中的第2金属部s1的至少一部分的面积大。
27.第1金属部11例如主要含有铝，作为降低与半导体部50的接触电阻的接触层发挥功能。在第2金属部s1的最外表面上，包括例如焊料浸润性良好的金膜。在该金膜与第1金属部11之间，形成提高这两者的密接性的例如镍膜。
28.在半导体部50的第1区域61中的第1面51上，设置有第1配线层77。第1配线层77与第1控制电极71电连接。在第1配线层77与第1电极10之间以及第1配线层77与半导体部50之间，设置有绝缘膜75。
29.在半导体部50的第2区域62中的第1面51上，设置有第2电极20。第2电极20具有在
半导体部50的第1面51中与第5半导体层16接触的第3金属部21和设置在第3金属部21上的第4金属部s2。
30.第3金属部21的面积比第4金属部s2的面积大。第3金属部21的面积表示第3金属部21与半导体部50的第1面51接触的面积或第3金属部21的表面(图2中的上表面)的面积。第4金属部s2的面积表示第4金属部s2的表面(图2中的上表面)的面积。换言之，x－y平面中的第3金属部21的至少一部分的面积比x－y平面中的第4金属部s2的至少一部分的面积大。
31.第3金属部21例如主要含有铝，作为降低与半导体部50的接触电阻的接触层发挥功能。在第4金属部s2的最外表面包括例如焊料浸润性良好的金膜。在该金膜与第3金属部21之间，形成提高这两者的密接性的例如镍膜。
32.在半导体部50的第2区域62中的第1面51上，设置有第2配线层78。第2配线层78与第2控制电极72电连接。在第2配线层78与第2电极20之间以及第2配线层78与半导体部50之间设置有绝缘膜76。
33.在半导体部50的第1面51上设置有绝缘膜80。绝缘膜80将第1电极10的第1金属部11及第2电极20的第3金属部21覆盖。此外，绝缘膜80将第1电极10的第2金属部s1的侧面及第2电极20的第4金属部s2的侧面覆盖。第1电极10的第2金属部s1的表面及第2电极20的第4金属部s2的表面从绝缘膜80露出。
34.在半导体部50的第2面52(半导体基板53的背面)设置有共用电极30。共用电极30在半导体部50的第1区域61及第2区域62中共同设置。
35.共用电极30含有电阻率比半导体基板53低的金属。共用电极30例如包含银膜。此外，共用电极30包含设置在银膜与第2面52之间而与第2面52接触的钛膜。钛膜作为降低与半导体部50的接触电阻的接触层发挥功能。在钛膜与银膜之间，可以设置提高这两者的密接性的例如镍膜。共用电极30还包含将银膜的表面覆盖的例如镍膜。将银膜的表面覆盖的镍膜防止因银的露出带来的硫化。
36.共用电极30的厚度比第1电极10的厚度及第2电极20的厚度厚。例如，共用电极30的厚度是约12μm，第1电极10的厚度是约8μm，第2电极20的厚度是约8μm。
37.半导体装置1通过以上说明的构造，具有共有共用电极30及半导体基板53的第1晶体管q1和第2晶体管q2。第1晶体管q1和第2晶体管q2在y方向上相邻。第1晶体管q1及第2晶体管q2例如是mosfet(metal－oxide－semiconductor field effect transistor，金属氧化物半导体场效应晶体管)。
38.第1电极10作为第1晶体管q1的源极电极发挥功能，第4半导体层15作为与第1电极10电连接的源极层发挥功能。如果向第1控制电极71施加规定电压，则在第2半导体层13的与第1控制电极71对置的部分诱发沟道。
39.第2电极20作为第2晶体管q2的源极电极发挥功能，第5半导体层16作为与第2电极20电连接的源极层发挥功能。如果向第2控制电极72施加规定电压，则在第3半导体层14的与第2控制电极72对置的部分诱发沟道。
40.第1电极10和第2电极20相互离开而配置，相互绝缘分离。如在图1中用虚线表示的那样，第1电极10的第1金属部11遍及形成有第1晶体管q1的区域的大致整面扩展，第2电极20的第1金属部21遍及形成有第2晶体管q2的区域的大致整面扩展。
41.在第1电极10的第1金属部11上，例如设置有两个第2金属部s1。在第2电极20的第3
金属部21上，例如设置有两个第4金属部s2。第1电极10的第2金属部s1及第2电极20的第4金属部s2作为负责与外部电路的电连接的源极焊盘发挥功能。
42.此外，在半导体部50的第1面51上，设置有经由第1配线层77与第1控制电极71电连接的第1控制焊盘g1和经由第2配线层78与第2控制电极72电连接的第2控制焊盘g2。第1控制焊盘g1的周围及第2控制焊盘g2的周围被绝缘膜80覆盖，第1控制焊盘g1的表面及第2控制焊盘g2的表面从绝缘膜80露出。
43.实施方式的半导体装置1例如安装于充放电电路，作为对充放电双向的电流的导通进行控制的开关使用。第1晶体管q1和第2晶体管q2共有漏极部(半导体基板53及共用电极30)，第1晶体管q1的第1电极(源极电极)10和第2晶体管q2的第2电极(源极电极)20分别与电气独立的(被赋予不同的电位的)端子连接。经由共用电极30，在第1晶体管q1与第2晶体管q2之间流过电流。电流容易流过阻抗更低的路径，容易在共用电极30集中流动到与半导体部50的分界面附近。
44.图5是半导体装置1安装在配线基板100上的状态的示意剖面图。
45.半导体装置1以共用电极30朝上的状态安装到配线基板100上。半导体装置1的第2金属部s1、第4金属部s2、第1控制焊盘g1及第2控制焊盘g2经由接合部件(例如焊料)90与配线基板100的导体部101接合。
46.在共用电极30、第1电极10及第2电极20使用的金属的线膨胀系数比半导体部50的线膨胀系数高，金属比半导体部50更容易热膨胀。由于该金属的热膨胀，在半导体装置1中可能产生形变或翘曲。晶片状态的翘曲使得单片化变得困难，单片化后的状态的翘曲成为向配线基板100的安装不合格的原因。共用电极30的薄膜化对于翘曲的抑制是有效的，但另一方面，还要求通过使共用电极30变厚来增加两个晶体管q1、q2间的电流路径的截面积，使接通电阻降低，所以共用电极30的薄膜化有限制。
47.根据本实施方式，如图2所示，在共用电极30形成有多个槽31。槽31例如沿着第1控制电极71和第2控制电极72延伸的方向(x方向)延伸。或者，槽31也可以沿着与第1控制电极71和第2控制电极72延伸的方向相交的方向(y方向)延伸。槽31是在共用电极30的表面上具有开口，不将共用电极30贯通的有底槽。因而，经由共用电极30来确保两个晶体管q1、q2间的电流的导通。
48.通过在共用电极30上形成槽31，共用电极30的体积的一部分减小，此外形成凹凸，能够局部缓和因共用电极30的热膨胀带来的翘曲。由此，能够在实现由共用电极30的厚膜化带来的导通电阻的降低的同时，抑制因共用电极30的热膨胀带来的翘曲。
49.图3(a)是其他实施方式的半导体装置的示意剖面图。
50.通过在第1电极10和第2电极20形成槽12、13、22、23，能够抑制因第1面51侧的金属的热膨胀带来的翘曲。
51.在第1电极10的第1金属部11形成有贯通槽12。贯通槽12将第1金属部11贯通，将第1金属部11分断为多个部分。在贯通槽12内形成有第2金属部s1的一部分。在第2金属部s1的表面形成有有底的槽13。
52.在第2电极20的第3金属部21形成有贯通槽22。贯通槽22将第3金属部21贯通，将第3金属部21分断为多个部分。在贯通槽22内形成有第4金属部s2的一部分。在第4金属部s2的表面形成有有底的槽23。
53.参照图1如上所述，在x-y平面中，第1金属部11的面积比第2金属部s1的面积大，第3金属部21的面积比第4金属部s2的面积大。因而，在第1面51侧的金属(第1电极10及第2电极20)处，第1金属部11及第3金属部21的膨胀比第2金属部s1及第4金属部s2的膨胀对于翘曲的影响更大，通过将这样的第1金属部11和第3金属部21用贯通槽12、22分断，对于翘曲的抑制是有效的。
54.在第2金属部s1的表面及第4金属部s2的表面设置有图5所示的接合部件90。通过在这样的第2金属部s1的表面及第4金属部s2的表面上形成槽13、23，与接合部件90接合的表面积增加，与接合部件90的接合强度变高。
55.在图3(a)中，表示了在第1电极10和第2电极20的两者形成槽12、13、22、23的例子，但也可以仅在第1电极10和第2电极20的某一个形成槽。
56.此外，也可以不在共用电极30形成槽31，而在第1电极10和第2电极20形成槽。但是，如上述那样，为了降低导通电阻，共用电极30优选的是形成为比第1电极10及第2电极20厚，在比第1电极10及第2电极20厚的共用电极30形成槽31时翘曲抑制的效果更高。
57.图3(b)是另一其他实施方式的半导体装置的示意剖面图。
58.在半导体装置的端部的共用电极30形成的槽31的密度比在半导体装置的中央部(包括半导体装置的面方向的中心的区域)的共用电极30形成的槽31的密度高。这样的结构提高了对由共用电极30的膨胀带来的半导体装置的翘曲的抑制效果。
59.图4是另一其他实施方式的半导体装置的示意斜视图。
60.在图4中，x方向及y方向与图1的x方向及y方向对置。此外，设与x方向及y方向正交而沿着半导体部50的厚度方向的方向为z方向。
61.在设置在半导体部50的第2面52的共用电极30形成有贯通槽32。贯通槽32将共用电极30贯通，将共用电极30分断为多个部分。贯通槽32沿着第1晶体管q1和第2晶体管q2相邻的y方向延伸。共用电极30在x方向上分断。因而，确保了经由共用电极30的第1晶体管q1与第2晶体管q2之间的电流的导通。
62.对于以上说明的半导体要素的导电型，n型和p型也可以相反。此外，半导体部50的材料除了硅以外，也可以是碳化硅、氮化镓。此外，第1控制电极71及第2控制电极72并不限于沟槽栅构造，也可以是平面栅构造。
63.说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式是作为例子提示的，不是要限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种各样的形态实施，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种各样的省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含在发明的范围或主旨中，并且包含在权利要求书所记载的发明和其等价的范围中。