一种单晶硅生产用单晶硅分选烘干装置的制作方法

技术领域：

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种单晶硅生产用单晶硅分选烘干装置。

背景技术：
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单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。公开号为cn208494867u，公开了一种单晶硅分选烘干装置，该烘干装置包括固定板、转动杆和分选孔，在实际的生产过程中，单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸和12英寸，上述公开的申请，有对不同直径的单晶硅圆片进行分离。

但是现有的分离过程，容易使得单晶硅圆片发生损坏，具体地，通过转动杆的转动，完成对单晶硅圆片的分选，但是通过上述方式分选时，竖立在分选孔内为下落的单晶硅圆片，容易被旋转的转动杆打断，从而造成单晶硅圆片的损失，进而增加生产成本的投入，同时，现有的分选烘干设备存在效率低下的问题。

技术实现要素：
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本实用新型的目的在于提供一种单晶硅生产用单晶硅分选烘干装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型由如下技术方案实施：一种单晶硅生产用单晶硅分选烘干装置，包括外箱体和内箱体，所述外箱体的顶板边缘上固定插接有气阀，所述内箱体的上端活动插接有进料管，且进料管固定插接在外箱体的顶板上所述内箱体设置在外箱体内，且内箱体的外底壁上连接有震动机，震动机的下端连接在外箱体的内底壁上；

所述外箱体的外底壁连接有若干个支撑座，且支撑座上连接有一号支撑板，所述一号支撑板上固定设置有驱动电机，且驱动电机的驱动端通过转轴连接有一号转动杆，所述一号转动杆的自由端连接有一号锥齿轮，且一号锥齿轮与二号锥齿轮相啮合，所述二号锥齿轮的上端中部连接有二号转动杆，且二号转动杆的上端依次活动贯穿外箱体的底板和内箱体的底板，并延伸到内箱体内，所述二号转动杆位于内箱体内的一端活动插接在支撑筒内，支撑筒连接在内箱体的内顶壁上，所述内箱体内设置有三个承托板，且三个承托板等距离垂直设置在内箱体内，三个所述承托板的边缘均开设有开口，且开口内固定插接有卸料管件，卸料管件倾斜设置，所述卸料管件的下端延伸到外箱体外，上方的两个所述承托板上均开设有若干个分选口；

所述二号转动杆的侧壁上连接有若干个二号支撑板，且二号支撑板的下端均通过支撑组件连接有抵触板，所述抵触板的下端与分选口的上端抵触设置；

所述一号支撑板的上板连接有气泵，且气泵的出口连接有输气管，所述输气管的上端延伸到外箱体内，且输气管位于外箱体内的一端外罩有电热管，所述电热管固定连接在外箱体的内底壁上，所述内箱体的一侧壁上开设有若干个进气口。

进一步的，所述抵触板分两层，且两层抵触板分别设置在上方的两个承托板上方。

进一步的，所述内箱体通过三个承托板分为四个腔，上方的三个腔侧壁均设置有进气口。

进一步的，同层所述二号支撑板的数量设置有三个，且三个二号支撑板等距离环形设置。

进一步的，所述抵触板设置为倒陀螺型。

进一步的，所述支撑组件包括支撑杆、支撑筒和支撑弹簧，所述支撑杆在垂直方向上活动插接在支撑筒内，所述支撑弹簧缠绕在支撑杆上，支撑弹簧的两端分别连接在支撑杆和支撑筒的侧壁上。

本实用新型的优点：本实用新型外箱体、内箱体和震动机组合结构的增加，通过震动作用，可加快分选过程，同时，二号转动杆和抵触板组合结构的设置，通过旋转实现分选的作用，同时，支撑组件的设置，可使得抵触板实现上下运动，这样在抵触板抵触到单晶硅圆片时，会使得抵触板向上运动，从而避免造成单晶硅圆片的断裂，进而降低生产成本。

附图说明：

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中支撑组件立体结构示意图；

图3为本实用新型中a-a截面示意图；

图4为本实用新型中b-b截面示意图。

外箱体1、内箱体2、震动机3、支撑座4、驱动电机5、一号支撑板6、一号转动杆7、一号锥齿轮8、二号锥齿轮9、气泵10、输气管11、电热管12、二号转动杆13、支撑筒14、进料管15、气阀16、二号支撑板17、支撑组件18、抵触板19、承托板20、卸料管件21、进气口22、分选口23。

具体实施方式：

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，一种单晶硅生产用单晶硅分选烘干装置，包括外箱体1和内箱体2，内箱体2设置在外箱体1内，且内箱体2的外底壁上连接有震动机3，震动机3的下端连接在外箱体1的内底壁上，在对单晶硅圆片进行分选时，起到震动机3，震动机3的震动会使得单晶硅圆片实现分选的效果。

外箱体1的顶板边缘上固定插接有气阀16，气阀16的设置，是用于气体泄露的作用，避免外箱体1内的气压过高，内箱体2的上端活动插接有进料管15，且进料管15固定插接在外箱体1的顶板上，进料管15的下端延伸到内箱体2内，这样可以保证单晶硅圆片能够顺利的进入到内箱体2内。

为了起到更好的支撑作用，外箱体1的底板上焊接了四个支撑座4，四个支撑座4上连接有同一个一号支撑板6，一号支撑板6上固定设置有驱动电机5，且驱动电机5的驱动端通过转轴连接有一号转动杆7，一号转动杆7的自由端连接有一号锥齿轮8，且一号锥齿轮8与二号锥齿轮9相啮合，二号锥齿轮9的上端中部连接有二号转动杆13，且二号转动杆13的上端依次活动贯穿外箱体1的底板和内箱体2的底板，并延伸到内箱体2内，二号转动杆13位于内箱体2内的一端活动插接在支撑筒14内，支撑筒14连接在内箱体2的内顶壁上；内箱体2内设置有三个承托板20，且三个承托板20等距离垂直设置在内箱体2内，三个承托板20的边缘均开设有开口，且开口内固定插接有卸料管件21，卸料管件21的材质采用橡胶软管，卸料管件21倾斜设置，卸料管件21的下端延伸到外箱体1外，上方的两个承托板20上均开设有若干个分选口23；二号转动杆13的侧壁上连接有若干个二号支撑板17，且二号支撑板17的下端均通过支撑组件18连接有抵触板19，抵触板19的下端与分选口23的上端抵触设置；具体在设计时，承托板20设置有三块，且三块承托板20垂直等距离设置在内箱体2内，这样通过三个承托板20将内箱体2分隔为四个腔，同时，上方的两个承托板20上均开设有分选口23；

如图3所示，分选口23的孔径从上往下依次减小，这样可以实现不同直径单晶硅圆片的分选，同时，分选后的单晶硅圆片通过卸料管件21排出，具体地分选过程如下：

同时启动震动机3和驱动电机5，震动机3的工作会使得内箱体2发生震动，从而实现单晶硅圆片的翻动，进而加快分选过程，驱动电机5的工作，会通过一号转动杆7、一号锥齿轮8、二号锥齿轮9、二号转动杆13、二号支撑板17和支撑组件18带着抵触板19转动，抵触板19的转动会推着单晶硅圆片运动，从而使得小直径的单晶硅圆片从分选口23泄露到下一个腔，从而实现分选过程，由于单晶硅圆片进入到内箱体2内时，无法确定放置位置，因此单晶硅圆片存在竖立在分选口23内的情况，在遇到这样情况时，竖立单晶硅圆片的抵触会使得抵触板19向上运动，从而避免单晶硅圆片的断裂，达到对单晶硅圆片的保护，同时，在震动机3的震动作用下，会使得竖立的单晶硅圆片平躺，从而保证单晶硅圆片的继续分选。

一号支撑板6的上板连接有气泵10，且气泵10的出口连接有输气管11，输气管11的上端延伸到外箱体1内，且输气管11位于外箱体1内的一端外罩有电热管12，电热管12固定连接在外箱体1的内底壁上，内箱体2的一侧壁上开设有若干个进气口22，具体地，进气口22设置在内箱体2的左侧壁上，气泵10和电热管12的工作与震动机3的工作同步进行，具体地工作过程如下：气泵10的工作会产生气体，电热管12的工作会用于加热空气，随着热气的吹动会通过进气口22进入到内箱体2，从而对单晶硅圆片进行加热，并且加热过程和分选过程同步进行，从而达到高效工作的效果。

抵触板19分两层，且两层抵触板19分别设置在上方的两个承托板20上方，这样可实现不同直径单晶硅圆片的分选。

内箱体2通过三个承托板20分为四个腔，上方的三个腔侧壁均设置有进气口22，这样设置，可以保证对不同直径的单晶硅圆片的烘干同步进行。

同层二号支撑板17的数量设置有三个，且三个二号支撑板17等距离环形设置，这样可以加快分选过程。

抵触板19设置为倒陀螺型，如图4所示，这样设置，可以起到更好的分选过程。

支撑组件18包括支撑杆、支撑筒和支撑弹簧，如图2所示，支撑杆在垂直方向上活动插接在支撑筒内，支撑弹簧缠绕在支撑杆上，支撑弹簧的两端分别连接在支撑杆和支撑筒的侧壁上。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。