自动匀胶系统以及传输定位装置的制作方法

本申请涉及半导体制造领域，具体涉及一种自动匀胶系统以及传输定位装置。

背景技术：

匀胶机是一种利用旋转产生的离心力，将光刻胶均匀甩开，并将光刻胶平铺到基片表面的机械装置。目前适用于半导体基片、载玻片、晶圆的半导体工艺、制版及表面涂覆等工艺。理想情况下，基片的中心应该位于滴管的正下方，从而保证基片表面能够形成厚度均一的薄膜。

现有技术中，用于涂覆工艺的匀胶装置，多为人工送片，通过人工手段将基片送入至匀胶机的旋涂表面。采用人工送片无法保证每次送片的位置精确。基片的位置不精确容易导致旋涂过程中成膜品质不均，无法使得基片表面形成厚度均一的薄膜。若每次送片的位置不统一，每次获取的基片表面薄膜均匀性也将存在较大差异。

另外，现有技术中，在匀胶过程中一般采用人工手段进行滴胶。手工滴胶不能准确控制每次制备薄膜时的滴胶量，形成的每张薄膜的厚度不统一。如果每次滴胶达不到标准滴胶量，需要进行多次滴胶直至达到标准滴胶量，在分次滴胶的期间容易产生气泡，也会影响成膜的质量。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现要素：

为了解决上述至少一个技术问题，本申请提供了一种自动匀胶系统以及传输定位装置，能够实现基片的自动定位以及精确定位，提高成膜质量。

为了实现上述目的，本申请提供的技术方案如下所述：

一种自动匀胶系统，所述自动匀胶系统包括：

传输定位装置，包括：用于承载基片的传送单元；驱动机构，所述驱动机构包括：用于带动所述传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动所述传送带的电机组件，所述传送带在所述传送方向上具有相对的起始端和终止端，所述终止端设置有用于固定基片的转盘；用于检测所述基片的中心与所述转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定所述转盘与所述基片的固定机构；

滴胶装置，所述滴胶装置用于向所述转盘的中心滴胶；

匀胶装置，所述匀胶装置用于带动所述转盘旋转；

中央控制器，所述中央控制器在接收到所述第一检测单元发出的到位信号后，能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，所述基片固定在所述转盘上。

作为一种优选的实施方式，所述传输定位装置还包括：设置在所述起始端的第二检测单元，用于检测所述基片位于所述起始端并生成传输信号，所述中央控制器在接收到所述传输信号后，启动所述驱动机构。

作为一种优选的实施方式，所述驱动机构包括：相平行的第一传送带和第二传送带，所述第一传送带和所述第二传送带间隔设置，所述传送单元由所述第一传送带和所述第二传送带共同传送；用于驱动所述第一传送带的第一传输电机组件；用于驱动所述第二传送带的第二传输电机组件。

作为一种优选的实施方式，所述第一检测单元和所述第二检测单元具体为对射式传感器，所述对射式传感器的高度位于所述转盘与所述基片之间；所述对射式传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端的其中一个设置在所述传送带的一侧，所述发射端和所述接收端的其中另一个设置在所述传送带的另一侧。

作为一种优选的实施方式，所述固定机构包括：真空泵、真空管路，所述真空泵用于建立所述转盘与所述基片之间的预定真空度，所述转盘的底部通过抽气孔与所述真空管路相连。

作为一种优选的实施方式，所述转盘具有吸附表面，所述吸附表面设置有至少一道环形凹槽，所述环形凹槽与所述抽气孔相连。

作为一种优选的实施方式，所述滴胶装置包括：

用于盛装滴胶溶液的进料机构；

用于向所述进料机构提供惰性气体的输气机构，所述输气机构包括电磁阀和送气管路，所述送气管路上设置有气动阀，所述送气管路与所述进料机构相连；

用于监测滴胶溶液量参数的第三检测单元，中央控制器能建立所述第三检测单元与所述电磁阀之间的反馈回路，调节所述电磁阀的打开或关闭状态。

作为一种优选的实施方式，所述自动匀胶系统还包括：壳体，所述壳体内部有匀胶腔室，至少所述传输定位装置、所述匀胶装置和所述进料机构放置于所述匀胶腔室中；所述壳体设置有用于封闭所述匀胶腔室的盖体，所述盖体上设有锁单元，所述锁单元与所述中央控制器电性连接。

一种传输定位装置，包括：

用于承载基片的传送单元；

驱动机构，所述驱动机构包括：用于带动所述传送单元沿传送方向移动的传送带和用于驱动所述传送带的电机组件，所述传送带在所述传送方向上具有相对的起始端和终止端，所述终止端设置有用于固定基片的转盘；

用于检测所述基片的中心与所述转盘的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；

用于固定所述转盘与所述基片的固定机构；

中央控制器，所述中央控制器在接收到所述第一检测单元发出的到位信号后，能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，所述基片固定在所述转盘上。

作为一种优选的实施方式，所述驱动机构包括：相平行的第一传送带和第二传送带，所述第一传送带和所述第二传送带间隔设置，所述传送单元由所述第一传送带和所述第二传送带共同传送；用于驱动所述第一传送带的第一传输电机组件；用于驱动所述第二传送带的第二传输电机组件。有益效果：

本申请实施方式提供的自动匀胶系统以及传输定位装置，能够通过第一检测单元及时检测基片传输至基片的中心与转盘的中心相重合并发出到位信号。当第一检测单元发出到位信号后，中央控制器能启动固定机构并停止所述驱动机构，使得基片能固定在转盘上，保证基片的定位准确和定位可靠性，提高成膜质量。

本申请提供的自动匀胶系统，包括中央控制器，中央控制器可以调节传输定位装置中的驱动机构、固定机构、滴胶装置和匀胶装置的工作状态或停止状态，实现自动匀胶。另外，本申请中的滴胶装置通过输入惰性气体加压滴胶，并通过中央控制器建立第三检测单元与电磁阀之间的反馈回路，使每次滴胶量均匀，降低用胶成本并减少气泡，提高光刻胶的匀胶品质。

参照后文的说明和附图，详细公开了本申请的特定实施方式，指明了本申请的原理可以被采用的方式。应该理解，本申请的实施方式在范围上并不因而受到限制。

针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。

应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动力的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的自动匀胶系统的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的转盘的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的自动匀胶过程的流程示意图；

图4为本申请实施例提供的滴胶装置的结构示意图。

附图标记说明：

1、转盘；11、环状凹槽；12、基片；13、抽气孔；14、真空轴套；15、旋涂腔室；16、传输腔室；2、传送单元；21、第一传送带；22、第二传送带；31、第一传输电机组件；32、第二传输电机组件；41、第三通孔；42、第四通孔；51、第一通孔；52、第二通孔；7、滴胶装置；71、电磁阀；72、送气管路；73、气动阀；74、第三检测单元；75、中央控制器；8、匀胶装置；9、壳体；10、盖体。

具体实施方式

下面将结合附图和具体实施方式，对本实用新型的技术方案作详细说明，应理解这些实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落入本申请所限定的范围内。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

下面将结合图1至图4对本实用新型实施例的自动匀胶系统以及传输定位装置进行解释和说明。需要说明的是，为了便于说明，在本实用新型的实施例中，相同的附图标记表示相同的部件。而为了简洁，在不同的实施例中，省略对相同部件的详细说明，且相同部件的说明可互相参照和引用。

具体的，将图1至图4中所示意的向上的方向定义为“上”，将图1至图4中所示意的向下的方向定义为“下”。值得注意的是，本说明书中的对各方向定义，只是为了说明本实用新型技术方案的方便，并不限定本实用新型实施例的自动匀胶系统以及传输定位装置在包括但不限定于使用、测试、运输和制造等等其他可能导致装置方位发生颠倒或者位置发生变换的场景中的方向。

本申请实施方式公开了一种自动匀胶系统，如图1至图4所示，所述自动匀胶系统包括：传输定位装置，包括：用于承载基片12的传送单元2；驱动机构，所述驱动机构包括：用于带动所述传送单元2沿传送方向移动的传送带和用于驱动所述传送带的电机组件，所述传送带在所述传送方向上具有相对的起始端和终止端，所述终止端设置有用于固定基片12的转盘1；用于检测所述基片12的中心与所述转盘1的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定所述转盘1与所述基片12的固定机构(图中未示意)；滴胶装置7，所述滴胶装置7用于向所述转盘1的中心滴胶；匀胶装置8，所述匀胶装置8用于带动所述转盘1旋转；中央控制器75，所述中央控制器75在接收到所述第一检测单元发出的到位信号后，能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，所述基片12固定在所述转盘1上。

本申请实施例提供的自动匀胶系统，能够通过第一检测单元及时检测基片12传输至基片12的中心与转盘1的中心相重合并发出到位信号。当第一检测单元发出到位信号后，中央控制器75能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，使得基片12能固定在转盘1上，保证基片12的定位准确和定位可靠性，提高成膜质量。

在本说明书中，所述中央控制器75还用于在接收到第一检测单元发出的到位信号后，调节传输定位装置中的驱动机构、固定机构、滴胶装置7和匀胶装置8的工作状态或停止状态，实现自动匀胶。

在本说明书中，所述驱动机构包括：相平行的第一传送带21和第二传送带22，所述第一传送带21和所述第二传送带22间隔设置，所述传送单元2由所述第一传送带21和所述第二传送带22共同传送；用于驱动所述第一传送带21的第一传输电机组件31；用于驱动所述第二传送带22的第二传输电机组件32。

在本实施例中，如图1所示，所述传送单元2可以由第一传送带21和第二传送带22共同传送，基片12位于传送单元2上且位于第一传送带21与第二传送带22之间。所述第一传输电机组件31和所述第二传输电机组件32可以包括：电机轮、电机轴、传送带轮、传送带轮轴等。电机轴上套设有电机轮，传送带轮轴上套设有传送带轮，传送带的内表面分别与电机轮、传送带轮传动连接。

在一个实施方式中，所述传送单元2可以是具有弧形结构的托盘，托盘呈中空的环状结构，所述托盘的周向上可以设置有弧形卡槽，用于安放基片12。该传送单元2的两端可以分别套设于第一传送带21和第二传送带22上，从而第一传送带21和第二传送带22能够带动该传送单元2以及基片12自起始端运输至终止端。

所述驱动机构可以包括用于控制第一传输电机组件31和第二传输电机组件32的第一驱动器，所述第一驱动器与中央控制器75电性连接。当中央控制器75将启动信号发送给第一驱动器时，第一传输电机组件31和第二传输电机组件32中的电机运作，基片12将由第一传送带21和第二传送带22共同传送，将基片12由传送方向的起始端传输至传送带的终止端。用于固定基片12的转盘1设置在所述终止端，当基片12运输至所述终止端时，基片12能够被传送至转盘1，并能通过固定机构被转盘1固定。

在本说明书中，所述固定机构包括：真空泵、真空管路，所述真空泵用于建立所述转盘1与所述基片12之间的预定真空度，所述转盘1的底部通过抽气孔13与所述真空管路相连。

在本实施例中，所述固定机构可以进一步包括真空阀门和真空表等部件。关于真空泵、真空管路、真空阀门、真空表各个部件的功能以及连接关系为现有技术，本申请在此不作详细赘述。所述转盘1的底部设置有与真空管路相连通的抽气孔13。进一步的，转盘1的底部还设置有真空轴套14，该真空轴套14与抽气孔13相连通，该真空轴套14连接真空管路。

在本说明书中，如图2所示的转盘结构示意图，所述转盘1为圆形的圆盘，转盘1具有吸附表面，所述吸附表面设置有至少一道环形凹槽11，所述环形凹槽11与所述抽气孔13相连。具体的，该吸附表面设置有若干道环形凹槽11，该环形凹槽11与抽气孔13相连并形成抽气腔室。当开启真空泵，真空泵通过真空管路、真空轴套14、抽气孔13将抽气腔室内的气体或者不凝结气体抽出，建立转盘1与基片12之间预定的真空度将待加工的基片12吸附在转盘1上。

在本说明书中，所述传输定位装置还包括：设置在所述起始端的第二检测单元，用于检测所述基片12位于所述起始端并生成传输信号，所述中央控制器75在接收到所述传输信号后，启动所述驱动机构。具体的，当基片12放置于传送方向的起始端时，第二检测单元检测到基片12并生成传输信号，中央控制器75在接收到传输信号后生成启动信号，并发送给驱动机构。驱动机构接收到启动信号后，开启工作状态，第一传送带21和第二传送带22带动基片12传输直至到达传送方向的终止端。

在一个实施方式中，所述第一检测单元和所述第二检测单元具体为对射式传感器，所述对射式传感器的高度位于所述转盘1与所述基片12之间；所述对射式传感器包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端的其中一个设置在所述传送带的一侧，所述发射端和所述接收端的其中另一个设置在所述传送带的另一侧。

在本实施例中，对射式传感器用于发出检测信号和接收检测信号，具有发送端和接收端。当基片12传输处于起始端时，对于传送方向起始端的对射式传感器的发送端发出检测信号，接收端受基片12阻挡无法接收到该检测信号，输出高电平信号到中央控制器75，该高电平信号为传输信号，中央控制器75接收到传输信号后生成启动信号。当基片12传输到位时，对于传送方向终止端的对射式传感器的发送端发出检测信号，接收端受到基片12阻挡无法接收到该检测信号，输出高电平信号到中央控制器75，该高电平信号为到位信号，中央控制器75接收到到位信号后生成真空指令，发送给真空泵，同时发送停止信号给驱动机构3。

进一步的，本申请实施例中的第一检测单元的具体位置需要根据基片12以及转盘1的尺寸而确定具体的位置。原则上，当转盘1的中心与基片12的中心相重合时，第一检测单元的接受端收到基片12的阻挡无法接受发送端发出的检测信号。当然，在其他一些可能的实施方式中，第一检测单元和第二检测单元可以是其他形式的传感器，例如光电传感器，本申请对此不作特别限定。

在本说明书中，如图3和图4所示，所述滴胶装置7包括：用于盛装滴胶溶液的进料机构；用于向所述进料机构提供惰性气体的输气机构，所述输气机构包括电磁阀71和送气管路72，所述送气管路72上设置有气动阀73，所述送气管路72与所述进料机构相连；用于监测滴胶溶液量参数的第三检测单元74，中央控制器75能建立所述第三检测单元74与所述电磁阀71之间的反馈回路，调节所述电磁阀71的打开或关闭状态。

在本实施例中，所述进料机构包括用于滴胶的滴管。所述输气机构用于向滴管提供惰性气体，该惰性气体可以是氮气。该输气机构通过电磁阀71启动工作状态和停止状态。电磁阀71与气动阀73通过送气管路72相连接，当电磁阀71为打开状态时，送气管路72通入气体控制气动阀73打开，通入氮气对胶体产生压力以挤压胶体，被挤出胶体通过第三检测单元74进行监测。所述滴胶溶液量参数可以为下述中的任意一种或其组合：流量、压力、压强、流速，也可以为其他反应溶液量大小的参数，本申请不作具体限定，在本实施方式中，以监测流量值为例，该第三检测单元74可以是流量计。

在本实施例中，第三检测单元74与电磁阀71之间有反馈回路，当流量计显示数低于预设值或者达到预设值，通过中央控制器75来启动电磁阀71的启停，直至流量计显示数为预设值时，并反馈给中央控制器75。中央控制器75接收到反馈后，再生成匀胶信号并发送给匀胶装置8。本申请实施例中的滴胶装置7通过输入惰性气体加压滴胶，并通过中央控制器75建立第三检测单元74与电磁阀71之间的反馈回路，使每次滴胶量均匀，降低用胶成本并减少气泡，提高光刻胶的匀胶品质。

在本说明书中，所述匀胶装置8可以包括旋转电机及其转轴、第二驱动器等组成。所述转轴与固定基片12的转盘1相连接，在旋转电机的带动下，能够带动转盘1旋转。所述第二驱动器与中央控制器75电性连接。当中央控制器75将匀胶信号发送给第二驱动器时，旋转电机运作，进行匀胶。

在本说明书中，所述自动匀胶系统还可以包括：壳体9，所述壳体9内部有匀胶腔室，至少所述传输定位装置、所述匀胶装置8和所述进料机构放置于所述匀胶腔室中；所述壳体9设置有用于封闭所述匀胶腔室的盖体10，所述盖体10上设有锁单元，所述锁单元与所述中央控制器75电性连接。

具体的，所述匀胶腔室包括传输腔室16和旋涂腔室15。其中，传输定位装置位于传输腔室16内，匀胶装置8和所述进料机构位于旋涂腔室15中。进一步的，该旋涂腔室15内设置有第一通孔51和第二通孔52，用于安装第一检测单元的发送端和接受端；该传输腔室16内设置有第三通孔41和第四通孔42，用于安装第二检测单元对应的发送端和接受端。

在本实施例中，当盖体10未关好时，中央控制器75识别锁单元为处于封锁状态，该自动匀胶系统中的各个装置不允许启动。该自动匀胶系统中的各个装置在运转时，盖体10处于关闭状态，一旦盖体10打开，立即触发保护开关，装置停止运行以起到保护作用。本实施例和以往的开放式匀胶系统相比，该匀胶系统采用了封闭匀胶腔体，改变了高速旋转的基片周围的空气气流对胶膜的挤压方向，大大改善了基片12背面溅胶问题，提高了基片12表面上的胶膜均匀性。所述滴胶装置7中的进料机构位于旋涂腔室15内，壳体9上可以设置通气口将进料机构与送气管路72相连通。

在本说明书中，所述自动匀胶系统还可以包括电源模块：外部供电为220v交流电，一方面给真空泵供电，另一方面通过开关电源输出24v给驱动器、传输电机、旋转电机、电磁阀供电，电源模块还包括24v转+5v和+5v转+3.3v的电源电路，从而满足不同的电压需求。

在本说明书中，中央控制器75与驱动机构的第一驱动器、固定机构的真空泵、滴胶装置7的电磁阀和匀胶装置8的第二驱动器均电性连接，所述电性连接方式可以为有线连接，当然所述电性连接方式也可以为无线连接，例如利用现有技术中的wifi、红外、蓝牙等技术，或者也可以利用其他无线通信技术，本申请在此并不作具体的限定。在一个具体的实施方式中，中央控制器75包括识别位置信号的检测模块。中央控制器75通过位置信号的检测模块与第一检测单元连接，中央控制器75根据输入的位置信号得到传输的位置。中央控制器75用于接收到用户的启动指令时生成启动信号，并将所述启动信号发送给驱动机构。所述中央控制器75还用于在接收到第一检测单元发出的到位信号后，发出停止信号给驱动机构，同时发出真空指令给真空泵。

在本说明书中，所述中央控制器75还包括显示模块，该显示模块可以是触摸屏，提供人机交互，同时显示工作状态。优选的，触摸屏采用7英寸高亮度tft液晶显示屏，用于接收用户指令。用户指令可以包括以下几种：启动指令、真空执行指令、滴胶指令和匀胶指令。其中，启动指令包括传输电机的旋转速度和方向，匀胶指令包括匀胶时间和旋转电机旋转速度。采用触摸屏控制的方式，在切换转速时更加平稳，实现启停可控，转速实时观察、转速可来回切换等功能。

该中央控制器75可以采取例如微处理器或处理器以及存储可由该微处理器或处理器执行的计算机可读程序代码(例如软件或固件)的计算机可读介质、逻辑门、开关、专用集成电路(applicationspecificintegratedcircuit，asic)、可编程逻辑控制器(programmablelogiccontroller，plc)和嵌入微控制单元(microcontrollerunit，mcu)的形式。

为了更好的理解本申请，下面本说明书将结合图1和图3对本申请实施例中的自动匀胶过程作进一步阐述。

本申请提供了一种自动匀胶系统，包括固定机构、滴胶装置7、匀胶装置8、传输定位装置以及中央控制器75。中央控制器75用于生成启动信号、真空执行信号、滴胶指令和匀胶信号。首先，位于起始端的第二检测单元在检测到基片12时，向中央控制器75发送传输信号。中央控制器75接收到反馈后，向第一驱动器发送启动信号，第一传输电机组件31和第二传输电机组件32在接收到启动信号时，然后通过第一传送带21和第二传送带22将位于传送单元2上的基片12传送至转盘1上。

然后，第一检测单元在监测到基片12的中心与转盘1的中心相重合后，向中央控制器75发送到位信号。中央控制器75在接收到到位信号后开始执行真空指令，具体操作为真空泵机组启动，真空阀门打开，通过读取真空表的读数建立基片12与转盘1之间的预定的真空度。在真空流程完毕后，生成滴胶指令发送至滴胶装置7中的电磁阀71，通入氮气对滴管内的光刻胶进行加压，通过第三检测单元74检测光刻胶的流量并对其进行控制。具体控制方式如下：电磁阀71与气动阀73通过送气管路72相连接，电磁阀71控制气动阀73的打开与关闭来决定是否通入氮气以挤压胶体，被挤出胶体的流量通过流量计进行监测。滴胶完成，将触发信号发送至匀胶装置中的第二驱动器，第二驱动器启动旋转电机进行旋转涂胶。

由于设计成本以及安装尺寸的限制，同时考虑到转速信息采样算法的复杂性以及采样的准确性，传输电机和旋转电机的测速方案采用基于开关霍尔传感器的转子位置检测，该方案有着明显的优势：开关霍尔传感器成本低廉，体积小巧，安装和维修过程简单方便，在工业、家用电器、船舶、航天等领域有着广泛的应用。霍尔传感器位置及转速测量主要是对于开关霍尔状态切换信息的处理以及计算。为了保证电机位置估算的精确度，本申请采用对称布置的三相霍尔来对电机位置进行检测。三相霍尔可以在提供六个电机转子的位置信号，且这六个信号是准确的，相比于单相和两相霍尔，在精度上也有很大的提高。电机稳速方面采用了光电隔离的精密负反馈电路，使整机在高达8000rpm以上转速时仍十分稳定，有力的保证了匀胶质量。

本申请还提供了一种传输定位装置，包括：用于承载基片12的传送单元2；驱动机构，所述驱动机构包括：用于带动所述传送单元2沿传送方向移动的传送带和用于驱动所述传送带的电机组件，所述传送带在所述传送方向具有相对的起始端和终止端，所述终止端设置有用于固定基片12的转盘1；用于检测所述基片12的中心与所述转盘1的中心相重合并发出到位信号的第一检测单元；用于固定所述转盘1与所述基片12的固定机构；中央控制器75，所述中央控制器75在接收到所述第一检测单元发出的到位信号后，能启动所述固定机构并停止所述驱动机构，所述基片12能吸附在所述转盘1上。

在以上所述中，可以以多种不同的组合形式来实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例而已，且用于描述各种组成单元功能不受表达术语名称所限制，并非用于限定本实用新型的保护范围。

上述实施例只为说明本申请的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本申请的内容并据以实施，并不能以此限制本申请的保护范围。凡根据本申请精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本申请的保护范围之内。

披露的所有文章和参考资料，包括专利申请和出版物，出于各种目的通过援引结合于此。描述组合的术语“基本由…构成”应该包括所确定的元件、成分、部件或步骤以及实质上没有影响该组合的基本新颖特征的其他元件、成分、部件或步骤。使用术语“包含”或“包括”来描述这里的元件、成分、部件或步骤的组合也想到了基本由这些元件、成分、部件或步骤构成的实施方式。这里通过使用术语“可以”，旨在说明“可以”包括的所描述的任何属性都是可选的。

多个元件、成分、部件或步骤能够由单个集成元件、成分、部件或步骤来提供。另选地，单个集成元件、成分、部件或步骤可以被分成分离的多个元件、成分、部件或步骤。用来描述元件、成分、部件或步骤的公开“一”或“一个”并不说为了排除其他的元件、成分、部件或步骤。

应该理解，以上描述是为了进行图示说明而不是为了进行限制。通过阅读上述描述，在所提供的示例之外的许多实施方式和许多应用对本领域技术人员来说都将是显而易见的。出于全面之目的，所有文章和参考包括专利申请和公告的公开都通过参考结合在本文中。