样品台及扫描电镜的制作方法

[0001]
本实用新型属于扫描电镜技术领域，尤其涉及一种样品台及扫描电镜。


背景技术：

[0002]
在硬质电路板行业中，通过扫描电子显微镜(扫描电镜)观察微钻产品时，一般是将微钻产品的样品插入到样品台上进行观察，该样品台是一个带孔(孔的直径略大于样品的直径)的圆盘。由于微钻产品是由硬质合金焊接钢柄(两者都带有铁磁性)制成，在观察样品时，由于扫描电镜的物镜位置会有较强的电磁场，样品在磁场的影响下会轻微晃动，导致无法拍摄图像，甚至轻质样品会吸附到物镜上，损坏物镜；而如果采用导电胶固定样品，由于导电胶在样品观察时会释放气体，拍摄的图片易受气体影响，导致不清晰。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型的目的在于提供一种样品台及扫描电镜，旨在解决现有技术中的用扫描电镜观察微钻产品的样品时，样品易受磁场影响的技术问题。
[0004]
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种样品台，包括固定块和夹持机构，所述夹持机构包括活动块和推动组件，所述推动组件的推动端与所述活动块连接，所述推动组件推动所述活动块靠近或远离所述固定块移动，所述固定块与所述活动块之间共同围设形成用于夹持样品的夹持区。
[0005]
可选地，所述固定块具有安装腔及与所述安装腔连通的开口，所述安装腔的内壁包括位于开口相对两侧的第一侧壁和第二侧壁，所述推动组件安装于所述第一侧壁上，所述活动块朝向所述第二侧壁设置并在所述推动组件的推动下靠近或远离所述第二侧壁移动，所述活动块和所述第二侧壁共同围设形成所述夹持区。
[0006]
可选地，所述推动组件包括弹性件，所述弹性件连接于所述第一侧壁连接与所述活动块之间。
[0007]
可选地，所述推动组件还包括用于引导所述活动块朝向所述第二侧壁移动的导向件。
[0008]
可选地，所述弹性件为弹簧，所述导向件为条形杆，所述活动块具有导向腔，所述导向件的一端与所述第一侧壁连接，所述导向件的另一端伸入于所述导向腔内并能够在所述导向腔内移动。
[0009]
可选地，所述条形杆穿设于所述弹簧内。
[0010]
可选地，所述夹持机构设有多个，所述夹持机构在所述安装腔内呈线性排布。
[0011]
可选地，所述活动块上设有推柄。
[0012]
可选地，所述活动块上朝向所述第二侧壁的一端具有第一弧形槽，所述第二侧壁上具有与所述第一弧形槽相对的第二弧形槽，所述第一弧形槽的槽壁与所述第二弧形槽的槽壁共同围设形成所述夹持区。
[0013]
本实用新型实施例提供的样品台的有益效果：与现有技术相比，本实用新型的样
品台，在使用时，将样品放置在夹持区内，以使得样品夹持在活动块和固定块之间，从而可以有效地固定样品，防止样品在磁场环境下晃动，不仅利于观察样品，而且可以有效地保护物镜；并且，由于活动块的活动的，使得活动块和固定块之间可以放置多种不同大小的样品进行观察，那么在观察不同大小的样品时，便不需要更换样品台，大大提高了样品观察的效率，适用范围广；以及，通过将样品夹持在活动块和固定块之间，避免使用导电胶固定样品，没有气体产生，从而可以保证拍摄照片时不受气体影响，得到高质量的照片，使用效果好。
[0014]
本实用新型实施例提供的另一技术方案：一种扫描电镜，包括上述的样品台。
[0015]
本实用新型实施例的扫描电镜，由于使用有上述的样品台，可以稳定地夹持固定住样品，利于观察，可以得到高质量的照片；并且可以适应多种不同大小的样品进行观察，大大提高了样品观察的效率，使用效果好。
附图说明
[0016]
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]
图1为本实用新型实施例提供的样品台的俯视结构示意图；
[0018]
图2为图1中a处的局部放大结构示意图；
[0019]
图3为图1的样品台的部分结构的正视示意图。
[0020]
其中，图中各附图标记：
[0021]
10—固定块；
[0022]
11—安装腔；111—第一侧壁；112—第二侧壁；1121—第二弧形槽；
[0023]
20—夹持机构；
[0024]
21—活动块；22—推动组件；211—导向腔；212—推柄；213—第一弧形槽；221—弹性件；222—导向件；2121—推动槽；
[0025]
30—夹持区；
[0026]
40—样品。
具体实施方式
[0027]
下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图1～3描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
[0028]
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0029]
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0030]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0031]
如图1、图2、图3所示，现对本实用新型实施例提供的样品台进行说明。样品台包括固定块10和夹持机构20，夹持机构20包括活动块21和推动组件22，推动组件22的推动端与活动块21连接，推动组件22推动活动块21靠近或远离固定块10移动，固定块10与活动块21之间共同围设形成用于夹持样品40的夹持区30。
[0032]
本实用新型实施例提供的样品台，与现有技术相比，在使用时，将样品40放置在夹持区30内，以使得样品40夹持在活动块21和固定块10之间，从而可以有效地固定样品40，防止样品40在磁场环境下晃动，不仅利于观察样品40，而且可以有效地保护物镜；并且，由于活动块21的活动的，使得活动块21和固定块10之间可以放置多种不同大小的样品40进行观察，那么在观察不同大小的样品40时，便不需要更换样品台，大大提高了样品40观察的效率，适用范围广；以及，通过将样品40夹持在活动块21和固定块10之间，避免使用导电胶固定样品40，没有气体产生，从而可以保证拍摄照片时不受气体影响，得到高质量的照片，使用效果好。
[0033]
在本实用新型的另一个实施例中，如图1、图2所示，固定块10具有安装腔11及与安装腔11连通的开口，安装腔11的内壁包括位于开口相对两侧的第一侧壁111和第二侧壁112，推动组件22安装于第一侧壁111上，活动块21朝向第二侧壁112设置并在推动组件22的推动下靠近或远离第二侧壁112移动，活动块21和第二侧壁112共同围设形成夹持区30。具体地，通过在固定块10上设置安装腔11，将夹持机构20安装在安装腔11的第一侧壁111(其中一个侧壁)上，由于第一侧壁111和第二侧壁112(另一个侧壁)相对设置，从而使得活动块21在推动组件22的推动下，可以靠近或远离第二侧壁112移动；那么，在放置样品40时，将样品40由安装腔11的开口放入活动块21和第二侧壁112之间的夹持区30内，然后推动组件22推动活动块21朝向第二侧壁112移动，以将样品40夹持在活动块21和第二侧壁112之间，实现样品40的固定，其结构简单，使用方便，固定效果好。其中，第一侧壁111和第二侧壁112并非特指，推动组件22也可以安装在第二侧壁112上，只是为便于描述和理解，进行区分化命名。
[0034]
在本实用新型的另一个实施例中，如图3所示，推动组件22包括弹性件221，弹性件221连接于第一侧壁111连接与活动块21之间。具体地，在将样品40放置在夹持区30内进行固定时，先拨动弹性件221，使得弹性件221带动活动块21朝向远离第二侧壁112的方向移动，将样品40放入第二侧壁112和活动块21之间后，松开弹性件221，使得活动块21在弹性件221的弹力下朝向第二侧壁112移动，直至将样品40夹持在第二侧壁112和活动块21之间，实现对样品40的固定。弹性件221在自然状态时，活动块21与第二侧壁112之间的间距小于需要观察样品40的大小，从而保证样品40可以在弹性件221的弹力作用下稳固地夹持在活动
块21与第二侧壁112之间，保证夹持效果。
[0035]
在本实用新型的另一个实施例中，如图3所示，推动组件22还包括用于引导活动块21朝向第二侧壁112移动的导向件222。具体地，通过设置导向件222，使得活动块21在弹性件221的作用下，可以朝向固定的方向移动以夹持固定样品40，保证弹性件221的弹力可以很好地作用在样品40上，这样夹持样品40的效率更高，夹持效果好。
[0036]
在本实用新型的另一个实施例中，如图3所示，弹性件221为弹簧，导向件222为条形杆，活动块21具有导向腔211，导向件222的一端与第一侧壁111连接，导向件222的另一端伸入于导向腔211内并能够在导向腔211内移动。具体地，弹性件221选用弹簧，其具有良好的弹力和伸缩性；条形杆和弹簧同方向延伸，在弹簧伸缩时，活动块21在弹簧的作用下相对导向腔211来回移动，从而带动活动块21始终在弹簧伸缩的方向来回移动，保证活动块21可以很好地夹持样品40。
[0037]
在本实用新型的另一个实施例中，如图3所示，条形杆穿设于弹簧内。具体地，通过将条形杆穿设在弹簧内，从而使得弹簧在伸缩的过程中也受导向杆的限制，不会发生弯折，保证弹簧的弹力始终在条形杆延伸的方向，而且也结构紧凑。
[0038]
在本实用新型的另一个实施例中，如图1所示，夹持机构20设有多个，夹持机构20在安装腔11内呈线性排布。具体地，通过设置多个夹持机构20，从而使得样品台上可以根据需要同时放置不同的样品40，大大提高了观察的效率，使用方向；而且通过使得各个夹持机构20呈线性排布(即直线分布)，这样可以在观察样品40时，更方便地寻找样品40，使用效果好。
[0039]
在本实用新型的另一个实施例中，如图1所示，可以通过在固定块10设置多个安装腔11，在每个安装腔11内设置多个夹持机构20，这样大大提高了样品台上可以同时放置不同样品40的数量，不需要更换样品台，极大地提高了进行观察的效率。
[0040]
在本实用新型的另一个实施例中，如图3所示，活动块21上设有推柄212。具体地，通过设置推柄212，使得用户可以通过推动推柄212轻松地推动活动块21，从而可以轻松地夹持或取出样品40，使用方便。其中，可以通过在推柄212上设置推动槽2121，这样更加利于用户将手指作用在推动槽2121内进行推动，易于受力。并且，将推动槽2121设置为下凹的弧形状，这样推动起来更加舒适。
[0041]
在本实用新型的另一个实施例中，如图2所示，活动块21上朝向第二侧壁112的一端具有第一弧形槽213，第二侧壁112上具有与第一弧形槽213相对的第二弧形槽1121，第一弧形槽213的槽壁与第二弧形槽1121的槽壁共同围设形成夹持区30。具体地，通过设置第一弧形槽213和第二弧形槽1121，这样将样品40夹持在第一弧形槽213和第二弧形槽1121围设形成的呈类似椭圆形的夹持区30内，可以很好地固定样品40，防止样品40有夹持区30的侧方滑出，夹持效果好。
[0042]
本实用新型实施例还提供了一种扫描电镜，包括上述的样品台。
[0043]
本实用新型实施例的扫描电镜，由于使用有上述的样品台，可以稳定地夹持固定住样品40，利于观察，可以得到高质量的照片；并且可以适应多种不同大小的样品40进行观察，大大提高了样品40观察的效率，使用效果好。
[0044]
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型
的保护范围之内。