扫描电镜EBSD样品台的制作方法

本实用新型涉及一种扫描电镜EBSD样品台,属于多功能扫描电镜测量领域。

背景技术：

近年来，装配在扫描电子显微镜（SEM）上的电子背散射衍射花样（Electron Back-scattering Patterns，简称EBSP）晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大发展，该技术也被称为电子背散射衍射（Electron Backscatter Diffraction，简称EBSD）或取向成像显微技术（Orientation Imaging Microscopy，简称OIM）等等，成为研究材料形变、回复和再结晶过程的有效手段。

EBSD技术是目前材料微观组织研究领域常用的表征手段，测试表征时需要样表征面与水平面的夹角为70°。目前商用的EBSD样品台功能单一，一般一次只能装载一个样品进行测试，样品的高度无法调节，对样品的厚度有限制，且测试效率低，极大的限制了材料微观表征的效果。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对以上不足之处，提供了一种扫描电镜EBSD样品台。

本实用新型解决技术问题所采用的方案是，一种扫描电镜EBSD样品台，包括样品台主体，所述样品台主体前侧面设置有若干个相互独立的放置空腔，所述放置空腔内设置有载物台，所述样品台主体后侧设置有螺丝，每个放置空腔底面中部设置有贯穿样品台主体的螺孔，螺丝前端贯穿螺孔后伸入放置空腔内并抵靠载物台后侧面，螺丝与螺孔螺纹配合，所述样品台主体下方设置有折杆，所述折杆包括竖直杆，竖直杆下部设置有插接柱，竖直杆上部设置有斜杆，斜杆与竖直面的夹角为70度，样品台主体安装在斜杆与上，样品台主体下侧面与斜杆平行，样品台主体前侧面、载物台前侧面与斜杆垂直。

进一步的，所述样品台主体为长方体。

进一步的，所述载物台呈台阶状，载物台后部周侧向外突出由凸部。

进一步的，所述放置空腔前部设置有用以挡住凸部的限位部。

进一步的，所述载物台与放置空腔侧壁之间的间隙不超过1mm。

进一步的，所述螺丝前端与载物台转动连接。

进一步的，所述载物台后侧面中部设置有圆孔，螺钉前端伸入圆孔内。

进一步的，所述载物台前侧面涂覆有导电胶。

进一步的，所述样品台主体、载物台、折杆均与铝合金材质。

进一步的，所述放置空腔不少于3个。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：结构简单，设计合理，操作方便，适用性广、针对性强、不易损坏，可实现多个厚度不均样品同时装载并能灵活调整每个样品高度的功能，适用于不同厚度的样品调整高度对齐。

附图说明

下面结合附图对本实用新型专利进一步说明。

图1为该实用新型的结构示意图一；

图2为该实用新型的结构示意图二；

图3为载物台与放置空腔的配合结构示意图。

图中：

1-样品台主体；2-放置空腔；201-限位部；3-载物台；301-凸部；4-螺丝；5-折杆；501-斜杆；502-竖直杆；503-插接柱。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

如图1-3所示，一种扫描电镜EBSD样品台，包括样品台主体1，所述样品台主体1前侧面设置有若干个相互独立的放置空腔2，所述放置空腔2内设置有载物台3，所述样品台主体1后侧设置有螺丝4，每个放置空腔底面中部设置有贯穿样品台主体1的螺孔，螺丝4前端贯穿螺孔后伸入放置空腔2内并抵靠载物台3后侧面，螺丝4与螺孔螺纹配合，所述样品台主体1下方设置有折杆5，所述折杆5包括竖直杆502，竖直杆502下部设置有插接柱503，竖直杆502上部设置有斜杆501，斜杆501与竖直面的夹角为70度，样品台主体1安装在斜杆501与上，样品台主体1下侧面与斜杆501平行，样品台主体1前侧面、载物台3前侧面与斜杆501垂直。

在本实施例中，所述样品台主体1为长方体。

在本实施例中，所述载物台3呈台阶状，载物台3后部周侧向外突出由凸部301。

在本实施例中，所述放置空腔2前部设置有用以挡住凸部301的限位部201。

在本实施例中，所述载物台3与放置空腔2侧壁之间的间隙不超过1mm。

在本实施例中，所述螺丝4前端与载物台3转动连接。

在本实施例中，所述载物台3后侧面中部设置有圆孔，螺钉前端伸入圆孔内。

在本实施例中，所述载物台3前侧面涂覆有导电胶。

在本实施例中，所述样品台主体1、载物台3、折杆5均与铝合金材质，极大地减轻了本身的质量，轻巧便利，且铝合金耐磨，延长了使用寿命。

在本实施例中，所述放置空腔2不少于3个。

本实用新型可适用于多数不同厚度样品，以常见的AZ31镁合金为例：

进行扫描电镜观察时，需将各样品面进行机械打磨得到一个与观察面平行的打磨面，接着将几个打磨后的AZ31样品用导电胶分别胶黏在不同载物台3上，根据各样品的厚度，再旋转下方的螺丝4进行升降载物台3的操作，使各样品的观察面齐平，因为载物台3与放置空腔2间隙很小，几乎相重合，所以上下底面总能保持平行，同时，由于载物台3上设有凸部301，放置空腔2前部设置有用以挡住凸部301的限位部201，限定了螺丝4对台面的提升极限高度，使得内载物台3不会由于翻转、倾斜而掉落造成损坏、丢失，样品安置完成后，将该样品台下方用于定向70°的折杆5底部的插接柱503插入多功能电镜内的底座孔位，关上舱门，调整参数，即可进行测量。

上列较佳实施例，对本实用新型的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。