一种多路通道激光器的制作方法

本申请涉及激光器技术领域，具体而言，涉及一种多路通道激光器。

背景技术：

半导体激光器又称激光二极管，是用半导体材料作为工作物质的激光器，具有体积小、功率大、性能稳定等优点。随着半导体激光器在成像、通信、机械加工等领域的广泛应用，对半导体激光器的性能要求也越来越高，半导体激光器的性能除了跟外延材料有关以外，还跟激光器的散热、封装有关。

激光器的散热方式主要有风冷和水冷两种，由于水冷的噪声比风冷小，且水冷的温度控制比风冷更精确，因此目前半导体激光器的封装大多采用水冷散热。传统的多路通道激光器只有一个进水口和一个出水口，从进水口到出水口存在温度差，会很大程度的影响激光器的性能，难以满足功率越来越高发热量越来越大的半导体激光器的散热需求。

技术实现要素：

本申请实施例的目的在于提供一种多路通道激光器，用以实现改善激光器的散热效果，提升激光器性能。

本申请实施例第一方面提供了一种多路通道激光器，包括：冷却模块，所述冷却模块内设置有多条冷却回路；导热片，所述导热片设置在冷却模块的第一侧面上；激光模块，所述激光模块设置在所述导热片上，所述激光模块包括至少一个激光单元。

于一实施例中，所述冷却模块内设置有第一冷却通道、第二冷却通道和第三冷却通道，所述第三冷却通道分别与所述第一冷却通道、所述第二冷却通道连通。

于一实施例中，所述冷却模块的第二侧面上依次设置有第一开口、第二开口和第三开口，所述第一开口与所述第一冷却通道连通，所述第三开口与所述第二冷却通道连通，所述第二开口与所述第三冷却通道连通。

于一实施例中，所述第一冷却通道包括:第一管道，所述第一管道沿所述第二侧面设置，与所述第一开口连通；第二管道，所述第二管道与所述第一管道平行设置，所述第二管道的一端通过散热齿通道与所述第一管道连通，所述第二管道的另一端与所述第三冷却通道连通。

于一实施例中，所述第二冷却通道包括:

第三管道，所述第三管道沿第三侧面设置，所述第三侧面与所述第一侧面相对，所述第三管道与所述第三开口连通；第四管道，所述第四管道沿第四侧面设置，所述第四侧面与所述第二侧面相对，所述第四管道与所述第三管道连通；第五管道，所述第五管道与所述第四管道平行设置，所述第五管道的一端通过散热齿通道与所述第四管道连通，所述第五管道的另一端与所述第三冷却通道连通。

于一实施例中，所述冷却模块内设置有第四冷却通道和多条第五冷却通道，所述第四冷却通道沿与所述第一侧面相对的第三侧面设置，所述多条第五冷却通道与所述第四冷却通道垂直连通，并且所述多条第五冷却通道之间相互平行。

于一实施例中，激光器芯片；第一热沉和第二热沉，所述第一热沉和所述第二热沉分别设置在所述激光器芯片的两侧。

于一实施例中，所述所述第一热沉和所述第二热沉为金刚石热沉。

于一实施例中，所述水冷模块的第三侧面上设置有激光器正极和激光器负极。

于一实施例中，所述导热片为单晶碳化硅材料。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请一实施例的多路通道激光器的结构示意图；

图2为本申请一实施例的多路通道激光器的局部放大图；

图3为本申请一实施例的多路通道激光器的冷却回路示意图；

图4为本申请另一实施例的多路通道激光器的冷却回路示意图。

附图标记：

10-多路通道激光器，100-冷却模块，101-第一冷却通道，1011-第一管道，1012-第二管道，102-第二冷却通道，1021-第三管道，1022-第四管道，1023-第五管道，103-第三冷却通道，104-第四冷却通道，105-第五冷却通道，106-第一开口，107-第二开口，108-第三开口，109-散热齿通道，1091-第一散热齿通道，1092-第二散热齿通道，110-第一侧面，111-第二侧面，112-第三侧面，113-第四侧面，114-第四开口，115-第五开口，200-导热片，300-激光模块，310-激光单元，311-激光器芯片，312-第一热沉，313-第二热沉,400-激光器正极，500-激光器负极。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，并不表示排列序号，也不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个组件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

请参看图1，其为本申请一实施例的多路通道激光器10的结构示意图。多路通道激光器10包括冷却模块100、导热片200和激光模块300，其中冷却模块100内设置有多条冷却回路，冷却模块100的第一侧面110与第三侧面112相对，第二侧面111与第四侧面113相对。导热片200设置在冷却模块100的第一侧面110上，于一实施例中，导热片200为单晶碳化硅材料。冷却模块100的第三侧面112上设置有激光器正极400和激光器负极500，激光器正极400设置在靠近第二侧面111的一端，激光器负极500设置在靠近第四侧面113的一端。激光模块300设置在导热片200上。

如图2所示，其为本申请一实施例的多路通道激光器10的局部放大图。激光模块300包括至少一个激光单元310，激光单元310包括：激光器芯片311、第一热沉312和第二热沉313。第一热沉312和第二热沉313分别设置在激光器芯片311的两侧，并且，第一热沉312和第二热沉313均固定在导热片200上。第一热沉312和第二热沉313可以是相同材料，也可以是不同材料，于一实施例中，第一热沉312和第二热沉313均为金刚石热沉。

如图3所示，其为本申请一实施例的多路通道激光器10的冷却回路示意图。冷却模块100内设置有第一冷却通道101、第二冷却通道102和第三冷却通道103，第三冷却通道103分别与第一冷却通道101、第二冷却通道102连通。冷却模块100的第二侧面111上依次设置有第一开口106、第二开口107和第三开口108，第一开口106与第一冷却通道101连通，第三开口108与第二冷却通道102连通，第二开口107与第三冷却通道103连通。

冷却模块100内还设置有多个散热齿，散热齿沿第一侧面110均匀排布，散热齿之间的间隙构成了散热齿通道109。于一实施例中，散热齿通道109包括第一散热齿通道1091和第二散热齿通道1092，第一散热齿通道1091和第二散热齿通道1092相互之间不连通，并且，第一散热齿通道1091与第一冷却通道101连通，第二散热齿通道1092与第二冷却通道102连通。

第一冷却通道101包括：第一管道1011和第二管道1012。第一管道1011沿第二侧面111设置，并且第一管道1011的一端与第一开口106连通，另一端与第一散热齿通道1091连通。第二管道1012与第一管道1011平行设置，第二管道1012的一端通过第一散热齿通道1091与第一管道1011连通，第二管道1012的另一端与第三冷却通道103连通。冷却介质从第一开口106流入，依次流经第一管道1011、第一散热齿通道1091、第二管道1012和第三冷却通道103，从第二开口107流出，可以构成一条冷却回路。于一实施例中，冷却介质可以是液态也可以是气态。

第二冷却通道102包括:第三管道1021、第四管道1022和第五管道1023，第三管道1021沿第三侧面112设置，并且与第三开口108连通。第四管道1022沿第四侧面113设置，并且第四管道1022的一端与第三管道1021连通，另一端与第二散热齿通道1092连通。第五管道1023与第四管道1022平行设置，第五管道1023的一端通过第二散热齿通道1092与第四管道1022连通，第五管道1023的另一端与第三冷却通道103连通。冷却介质从第三开口108流入，依次流经第三管道1021、第四管道1022、第二散热齿通道1092、第五管道1023和第三冷却通道103，从第二开口107流出，可以构成一条冷却回路。

如图4所示，其为本申请另一实施例的多路通道激光器10的冷却回路示意图。冷却模块100的第一侧面110与第三侧面112相对，第二侧面111与第四侧面113相对。冷却模块100的第二侧面111上依次设置有第五开口115和第四开口114，第五开口115设置在靠近第一侧面110的一端，第四开口114设置在靠近第三侧面112的一端。冷却模块100内设置有第四冷却通道104和多条第五冷却通道105，第四冷却通道104沿第三侧面112设置，并且与第四开口114连通，多条第五冷却通道105分别与第四冷却通道104垂直连通，并且多条第五冷却通道105之间相互平行。冷却模块100内设置有由散热齿间隙构成的散热齿通道109，多条第五冷却通道105分别与散热齿通道109垂直连通。冷却介质从第四开口114流入第四冷却通道104，然后分流至每条第五冷却通道105，冷却介质在第五冷却通道105中，沿从第三侧面112至第一侧面110的方向流动，汇流至散热齿通道109，并最终从第五开口115流出，可以构成多条冷却回路。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。