一种清洗晶圆的滚轮结构的制作方法

[0001]
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种清洗晶圆的滚轮结构。


背景技术：

[0002]
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以 8英寸和 12 英寸为主。
[0003]
在现有技术中，晶圆加工需要将晶圆进行清洗，而现有的晶圆清洗滚轮，结构复杂，不易拆卸和移动，不能循环多次使用。


技术实现要素：

[0004]
本实用新型解决的技术问题在于克服现有的晶圆清洗滚轮，结构复杂，不易拆卸和移动，不能循环多次使用的缺陷。
[0005]
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种清洗晶圆的滚轮结构，包括第一安装壳、伸缩结构和第一塞头，所述第一安装壳内部设置有锁紧环，且锁紧环内部安装有防磨套，防磨套内部设置有转动轴承，且转动轴承连接第一塞头，第一塞头右侧设置有钢管，且钢管外侧设置有塑料管，塑料管两端设置有限位块，塑料管外侧设置有纤维层，且纤维层右端设置有第二安装壳，第二安装壳下端安装有支撑臂，且支撑臂中部通过螺丝固定有连接条，连接条上端设置有辅助把手，且辅助把手下端通过固定螺栓连接有固定块，固定块下端设置有连接杆，且连接杆下端设置有把手。
[0006]
优选的，所述钢管左端设置有凸块，钢管右侧设置有凹槽，并且凸块右端设置有第一塞头，凹槽左侧设置有第二塞头。
[0007]
优选的，所述第一安装壳上端设置有伸缩结构，且伸缩结构上端安装有刮水板，伸缩结构下端为过连接板连接子在第一安装壳上。
[0008]
优选的，所述连接杆连接把手，把手内部为不锈钢材质的圆柱体结构，外部为防滑橡胶材质，并且把手外部设置有把手凸点。
[0009]
优选的，所述钢管内部设置有环氧树脂发泡材料，并且钢管外侧与塑料管内侧之间设置有环氧树脂发泡材料，塑料管为聚酯材料的圆柱管状结构。
[0010]
优选的，所述第二安装壳内部设置有锁紧环，且锁紧环内部安装有防磨套，防磨套内部设置有转动轴承，且转动轴承连接第二塞头。
[0011]
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该清洗晶圆的滚轮结构，结构设置合理，在钢管内部和塑料管内部填充有环氧树脂发泡材料，在第一安装壳上设置伸缩结构，并且在伸缩结构的上端设置有刮水板，可以利用挂水板去除纤维层上的脏水，辅助把手可以帮助增加清洁力度，使用方便。
附图说明
[0012]
图1为本实用新型结构俯视示意图；
[0013]
图2为本实用新型结构侧视展开示意图；
[0014]
图3为本实用新型结构钢管示意图。
[0015]
图中：1、第一安装壳；2、第二安装壳；3、锁紧环；4、转动轴承；5、防磨套；6、第一塞头；7、第二塞头；8、塑料管；9、纤维层；10、钢管；11、限位块；12、凸块；13、凹槽；14、支撑臂；15、连接条；16、螺丝；17、辅助把手；18、固定块；19、连接杆；20、把手；21、把手凸点；22、固定螺栓；23、伸缩结构；24、刮水板。
具体实施方式
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下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0017]
请参阅图1—3，本实用新型提供一种技术方案：一种清洗晶圆的滚轮结构，包括第一安装壳1、伸缩结构23和第一塞头6，第一安装壳1内部设置有锁紧环3，且锁紧环3内部安装有防磨套5，防磨套5内部设置有转动轴承4，且转动轴承4连接第一塞头6，第一塞头6右侧设置有钢管10，且钢管10外侧设置有塑料管8，塑料管8两端设置有限位块11，塑料管8外侧设置有纤维层9，且纤维层9右端设置有第二安装壳2，第二安装壳2下端安装有支撑臂14，且支撑臂14中部通过螺丝16固定有连接条15，连接条15上端设置有辅助把手17，且辅助把手17下端通过固定螺栓22连接有固定块18，固定块18下端设置有连接杆19，且连接杆19下端设置有把手20，钢管10左端设置有凸块12，钢管10右侧设置有凹槽13，并且凸块12右端设置有第一塞头6，凹槽13左侧设置有第二塞头7，第一安装壳1上端设置有伸缩结构23，且伸缩结构23上端安装有刮水板24，伸缩结构23下端为过连接板连接子在第一安装壳1上，连接杆19连接把手20，把手20内部为不锈钢材质的圆柱体结构，外部为防滑橡胶材质，并且把手20外部设置有把手凸点21，钢管10内部设置有环氧树脂发泡材料，并且钢管10外侧与塑料管8内侧之间设置有环氧树脂发泡材料，起到很好的保护效果，塑料管8为聚酯材料的圆柱管状结构，第二安装壳2内部设置有锁紧环3，且锁紧环3内部安装有防磨套5，防磨套5内部设置有转动轴承4，且转动轴承4连接第二塞头7。
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工作原理：在使用该清洗晶圆的滚轮结构时，利用把手20将该滚轮结构放置晶圆上，纤维层9紧贴晶圆表面，利用把手20推动钢管10，钢管10两端的转动轴承4转动，轴承4转动带动塑料管8和纤维层9转动，钢管10两端的第一塞头6和第二塞头7起到防水固定的作用，锁紧环3锁紧第一塞头6和第二塞头7，第一塞头6和第二塞头7外侧的第一安装壳1和第二安装壳2起到耐磨防护的作用，需要刮除脏水可以降低伸缩结构23的高度，伸缩结构23上面的刮水板24可以刮掉纤维层9上的脏水，这就是该清洗晶圆的滚轮结构工作的整个过程。
[0019]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。