切割标记结构的制作方法

本实用新型涉及一种标记结构，且特别是有关于一种适于裁切预切割线的切割标记结构。

背景技术：

在各式电子装置的制作或组装中，可能会需要进行裁切工艺以提供各式形状或尺寸的构件。在现有技术中，由于裁切工艺中的对准、偏移或聚焦精度等因素的影响，会使裁切线(scribeline，又可称为切割线)在裁切工艺中发生偏移等问题。因此，一般为判断裁切线的偏移情况，会在构件上设置对位标记以提供裁切目标位置的标示。

不过，由于图形工艺的极限，所提供的对位标记的易读性与精细度难以两者兼具。此外，若提升可监控的刻度间距，需近一步牺牲对位标记的可读取刻度的精细度。另外，若需要提升偏移量读取数值的精细度，还需透过额外工具以取得数值，而导致使用上的困难。因此，如何改善兼具标示以及监控偏移量的标记结构，为本领域亟欲解决的问题。

技术实现要素：

本实用新型提供一种切割标记结构，其可提升易读性及裁切精度的数值监控精细度。

本实用新型的适于预切割线的裁切的一种切割标记结构，包括多个第一标记、多个第二标记以及多个尖端图案。多个第一标记的任一者的轴线沿着第一方向延伸。多个第二标记的任一者的轴线沿着垂直于第一方向的第二方向延伸。多个尖端图案的任一者的轴线沿着第二方向延伸。多个尖端图案的尖端指向预切割线。

在本实用新型的实施例中，上述的多个第一标记在第二方向上排列成多列，且多个第二标记在第一方向上排列。

在本实用新型的实施例中，上述的多个尖端图案设置于最靠近预切割线的第一标记与预切割线之间，多个尖端图案在第一方向上排列，且相邻的两个尖端图案在第二方向上的长度不同。

在本实用新型的实施例中，于第二方向上，上述的最靠近预切割线的第一标记的轴线至预切割线之间的距离大于多个尖端图案的任一者的长度，且第一标记重迭中线，靠近中线的尖端图案的一者的长度大于远离中线的尖端图案的另一者的长度。

在本实用新型的实施例中，在第二方向上，上述的最靠近预切割线的第一标记的轴线至预切割线之间的距离大于多个第二标记的任一者的长度。

在本实用新型的实施例中，在第二方向上，上述的相邻的两个第一标记之间设置有至少一个第二标记。

在本实用新型的实施例中，上述的切割标记结构适于另一预切割线的裁切，切割标记结构更包括箭头图案，箭头图案部分连接第一标记，且箭头图案的箭头指向预切割线，其中箭头图案的轴线沿着第二方向延伸并重迭另一预切割线。

在本实用新型的实施例中，上述的预切割线的延伸方向垂直于另一预切割线的延伸方向。

在本实用新型的实施例中，上述的多个第一标记、多个第二标记以及多个尖端图案分别于预切割线的相对两侧镜像地设置。

在本实用新型的实施例中，在第一方向上，上述的多个尖端图案等距排列或不等距排列，且多个第二标记等距排列或不等距排列。

基于上述，由于在本新型创作提供的切割标记结构中，具有用于大刻度的标示的第一标记，以及用于小刻度的标示的第二标记及尖端图案，因此使用者可不须透过额外工具，而可以直接判读出目标切割线的位置是否对准，且切割标记结构还可提供裁切精度的数值监控。此外，尖端图案的尖端还可用于判断目标切割线的偏移方向，因此使用者可判断目标裁切线是往预裁切线上方或下方偏移。如此一来，切割标记结构除了具有精细的数值监控功能外，还具有偏移方向监控的功能。也就是说，切割标记结构可以提供向量性的监控。因此，切割标记结构具有提升的易读性及裁切精度的数值监控精细度还可以提供向量性的监控。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1a为本新型创作的一实施例的切割标记结构的上视示意图。

图1b为图1a的尖端图案的局部放大上视示意图。

图2为本新型创作的一实施例的第一尖端图案的局部放大上视示意图。

图3为本新型创作的另一实施例的切割标记结构的上视示意图。

图4为本新型创作的另一实施例的切割标记结构的上视示意图。

图5为本新型创作的另一实施例的裁切后的切割标记结构的上视示意图。

图6为本新型创作的另一实施例的切割标记结构的局部放大上视示意图。

图7为本新型创作的另一实施例的切割标记结构的局部放大上视示意图。

图8为本新型创作的再一实施例的切割标记结构的局部放大上视示意图。

图9为本新型创作的又一实施例的切割标记结构的上视示意图。

具体实施方式

现将详细地参考本新型创作的示范性实施例，示范性实施例的实例说明于附图中。只要有可能，相同元件符号在图式和描述中用来表示相同或相似部分。本新型创作亦可以各种不同的形式体现，而不应限于本文中所述的实施例。图式中用于表示元件或膜层的区域的厚度会为了清楚起见而放大。相同或相似的参考号码表示相同或相似的元件，以下段落将不再一一赘述。另外，实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本新型创作。

图1a为本新型创作的一实施例的切割标记结构的上视示意图。图1b为图1a的尖端图案的局部放大上视示意图。图2为本新型创作的一实施例的第一尖端图案的局部放大上视示意图。为了图式清楚以及方便说明，图1a、图1b及图2省略绘示了若干元件。请先参照图1a及图1b，本新型创作的切割标记结构10例如是形成于衬底100上，以应用于衬底100的裁切。如图1a所示，切割标记结构10设置于衬底100上，且适于对衬底100上的预切割线sl进行裁切。切割标记结构10包括多个第一标记210、多个第二标记220以及多个尖端图案230。第一标记210具有沿着第一方向d1延伸的轴线210m。第二标记220具有沿着第二方向d2延伸的轴线220m。尖端图案230具有沿着第二方向d2延伸的轴线230m。在本新型创作的一实施例中，第一方向d1垂直于第二方向d2。举例来说，第一方向d1可为x轴，而第二方向d2可为y轴，但不以此为限。本新型创作的切割标记结构10的尖端图案230可设置于第一标记210与预切割线sl之间，故在第一方向d1(即x轴)上，第一标记210可应用为大刻度的标记，且尖端图案230可应用为具有高精细度的小刻度的标记。因此，本新型创作的切割标记结构10可兼具裁切目标位置的标示及偏移量监控的功能。另外，本新型创作的切割标记结构10可提升易读性及裁切精度的数值监控精细度。以下利用图1a、图1b及图2举例说明切割标记结构10的图案设置及如何提升易读性及监控精细度。

请参照图1a，首先，提供衬底100。衬底100可做为电子装置的构件。举例来说，电子装置可包括显示装置、通信装置、行动装置或电路装置，但不以此为限。衬底100例如是透明的材料所制成。举例来说，透明材料包括玻璃、石英、蓝宝石、透明树脂或其他合适的透明材料。上述的透明树脂可例如是聚对苯二甲酸乙二酯(polyethyleneterephthalate，pet)、聚萘二甲酸乙二酯(polyethylenenaphthalate，pen)、聚碳酸酯(polycarbonate，pc)、聚醚(polyether)或聚酰亚胺(polyimide，pi)。在一些实施例中，衬底100的材料可包括合适的不透明材料。换句话说，衬底100可为透光衬底、半透光衬底或不透光衬底，但不以此为限。

在本实施例中，切割标记结构10形成于衬底100上。举例来说，切割标记结构10可用于标示裁切目标的位置。也就是说，切割标记结构10可以邻近衬底100上的预切割线sl设置，以定义出预切割线sl的位置并监控预切割线sl偏移的程度。在本实施例中，预切割线sl可大致定义出衬底100在裁切工艺后的形状、轮廓或范围。举例来说，预切割线sl可以是多个线条以在俯视方向上构成形状，包括：三角形、矩形、梯形、菱形、多边形或不规则形。在另一些实施例中，预切割线sl也可以在俯视方向上环绕成圆形。在上述的设置下，于裁切工艺后的衬底100可为三角形、矩形、多边形、不规则形或圆形等形状，但不以此为限。

在本实施例中，切割标记结构10可以透过旋转涂布、版印(screenprinting)或喷墨印刷(inkjetprinting)等方式形成于衬底100上。在另一些实施例中，切割标记结构10也可以透过化学气相沉积(chemicalvapordeposition，cvd)或物理气相沉积(physicalvapordeposition，pvd)等方式将标记结构材料设置于衬底100上，再透过例如微影蚀刻(photolithography)的方式进行图案化工艺，以完成切割标记结构10的图案化，但本新型创作不以此为限。

请参照图1a、图1b及图2，切割标记结构10包括多个第一标记210。多个第一标记210的任一者的轴线210m沿着第一方向d1延伸。也就是说，第一标记210大致上平行第一方向d1设置。此外，预切割线sl也可以大致平行第一方向d1，因此第一标记210大致平行预切割线sl设置。在本实施例中，第一标记210例如是具有相对两个尖端的长条形图案。举例来说，第一标记210包括平行于轴线210m的一侧边2111及另一侧边2112。侧边2111靠近预切割线sl(例如：侧边2111位于预切割线sl与轴线210m之间)设置，而另一侧边2112远离预切割线sl设置。侧边2111与另一侧边2112的对应两端可逐渐靠近以连接成尖角，而构成具有左右两个尖端的长条形图案，但不以此为限。在其他实施例中，第一标记210也可以是在相对两端不具有尖角的图案，例如为具有左右两个弧角的长条形图案，或为长方形图案。

在本实施例中，多个第一标记210在第二方向d2上排列成多列。举例来说，第一标记210可以包括第一标记211及第一标记212。第一标记211例如是最靠近预切割线sl的第一标记，且第一标记212靠近第一标记211的远离预切割线sl的另一侧边2112设置。依此类推，多个横列的第一标记210可以依序地在第二方向d2上，往远离预切割线sl依序设置。在一些实施例中，多个横列的第一标记210可以在第二方向d2上呈交错地设置。如此一来，在俯视方向上，多个横列的第一标记210可排列呈阶梯状的三角形(例如：倒三角形)，但不以此为限。在此须注意的是，图1a所示横列数量与第一标记210的数量仅为说明使用。举例来说，图1a的第一标记210排列成五个横列，且在最靠近预切割线sl的横列包括一个第一标记211，并依序逐渐增加第一标记210的数量，以至在最远离预切割线sl的横列包括五个第一标记211。然而，本新型创作不以此为限。在其他实施例中，横列的数量可以依使用者的需求增加或减少，且在每一横列中第一标记210的数量也可以增加或减少，不以图1a所示为限。

在本实施例中，对应的第一标记210可以在预切割线sl的相对两侧镜像地设置。举例来说，第一标记211与对应的第一标记211’可以在预切割线sl的相对两侧镜像设置。在上述的设置下，第一标记211的轴线210m至预切割线sl之间的距离y5可与第一标记211’的轴线至预切割线sl之间的距离相同。在一些实施例中，在第二方向d2上，第一标记211与第一标记212之间的距离y5’也可与距离y5相同。距离y5’的定义为第一标记211的轴线210m至第一标记212的轴线210m’之间的距离。以此类推，多个第一标记也可以在第一标记211’远离预切割线sl的一侧，往远离预切割线sl的方向依序地排列成多个横列。如此一来，在俯视方向上，与第一标记211’在预切割线sl同一侧的第一标记可排列呈阶梯状的三角形(例如：正三角形)，但不以此为限。

在上述的设置下，于第二方向d2上，预切割线sl可以位于至少第一标记211与第一标记211’之间，且预切割线sl可以平行于至少第一标记211与第一标记211’。如此一来，切割标记结构10的第一标记210可标示出预裁切目标(例如：预切割线sl)的位置。此外，使用者可简单地透过观察以确定预切割线sl是否位于第一标记211与第一标记211’之间，来判断裁切工艺后的切割线(图未示)的位置是否偏移。因此，切割标记结构10的易读性可被提升。

在本实施例中，切割标记结构10还包括多个第二标记220。多个第二标记220的任一者的轴线220m沿着垂直于第一方向d1的第二方向d2延伸。也就是说，第二标记220大致上平行第二方向d2设置。在本实施例中，预切割线sl例如是垂直第二方向d2，因此第二标记220大致垂直预切割线sl设置。在本实施例中，第二标记220为长条形图案。举例来说，第二标记220包括平行于轴线220m的一侧边2201及另一侧边2202的长条形，但不以此为限。在其他实施例中，第二标记220也可以是在相对上下两端具有尖角的图案，或为具有上下两个弧角的长条形图案。

在本实施例中，多个第二标记220在第一方向d1上排列。举例来说，第二标记220可以包括第二标记221、第二标记222、第二标记223、第二标记224。第二标记221、第二标记222、第二标记223、第二标记224可以在第一方向d1上排列成一组横列。举例来说，在第二方向d2上，第二标记221、第二标记222、第二标记223、第二标记224所构成的一组横列可以位于第一标记211与第一标记212之间。在一些实施例中，第二方向d2上相邻的第一标记211与第一标记212之间设置有至少一个第二标记224，且第二标记224可连接第一标记211及第一标记212。

在本实施例中，至少一个第一标记210(例如：最靠近预切割线sl的第一标记211)重迭中线m。中线m例如平行于第二方向d2。中线m可将第一标记210分为长度相等的两部分，但不限于此。上述的一组第二标记220的横列可以在中线m的相对左右两侧的至少一侧设置。举例来说，第二标记221、第二标记222、第二标记223、第二标记224所构成的一组横列可以设置于中线m的左侧。

在第二方向d2上，一组横列的第二标记221、第二标记222、第二标记223、第二标记224可以分别具有不同的长度。举例来说，第二标记221的长度小于第二标记222的长度，第二标记222的长度小于第二标记223的长度，且第二标记223的长度小于第二标记224的长度。换句话说，于往中线m靠近的方向上，第二标记220的长度会依序逐渐增加。如此一来，靠近中线m的第二标记220的长度会大于远离中线m的第二标记220的长度。第二标记220的长度关系相似于尖端图案230的长度关系，因此会于后续段落中进行说明。

如图1a所示，每一组第二标记220的横列可以在远离预切割线sl的方向上逐渐外扩而远离中线m。换句话说，多个第二标记220的横列在俯视上可呈阶梯状，但不以此为限。

在本实施例中，对应的第二标记220可以在中线m的相对两侧镜像地设置。在上述的设置下，最靠近中线m的左侧第二标记224的轴线220m至中线m之间的距离可与最靠近中线m的右侧第二标记的轴线至中线m之间的距离相同。以此类推，在中线m右侧的第二标记的长度会往远离中线m的方向逐渐减少。

另外，类似第一标记210的排列方式，对应的第二标记220可以在预切割线sl的相对两侧镜像地设置。举例来说，第二标记221与对应的第二标记221’可以在预切割线sl的相对两侧镜像设置。此外，第二标记222、第二标记223、第二标记224分别地与对应的第二标记222’、第二标记223’、第二标记224’可以在预切割线sl的相对两侧镜像设置。在上述的设置下，在俯视方向上，第二标记220在预切割线sl的相对两侧均可成阶梯状排列，但不以此为限。在此须注意的是，图1a所示的第二标记220的横列数量以及每一组横列中第二标记220的数量仅为说明使用。举例来说，图1a中，于预切割线sl的一侧中包括八个第二标记220的横列排列成阶梯状，且每一组横列中包括四个第二标记221、222、223、224。然而，本新型创作不以此为限。在其他实施例中，横列的数量可以依使用者的需求增加或减少，且在每一组横列中第二标记220的数量也可以增加或减少，不以图1a所示为限。

在本实施例中，第二标记221、222、223、224例如是以等距排列或不等距排列。举例来说，第二标记221与第二标记222之间的距离可以等于第二标记222与第二标记223之间的距离。在一些实施例中，第二标记223与第二标记224之间的距离可以等于或不等于第二标记222与第二标记223之间的距离，但不以此为限。在本实施例中，相邻两个第二标记220(例如：第二标记221与第二标记222)之间的距离可定义为相邻两个第二标记220的轴线220m之间的距离。

在本实施例中，切割标记结构10还包括多个尖端图案230。多个尖端图案230的任一者的轴线230m沿着第二方向d2延伸。也就是说，尖端图案230大致上平行第二方向d2设置。在本实施例中，尖端图案230大致垂直预切割线sl设置，且可平行第二标记220。在一些实施例中，尖端图案230的任一者的轴线230m还可对应第二标记220的任一者的轴线220m设置，但不以此为限。

请同时参照图1a、图1b及图2，尖端图案230为在第二方向d2上具有尖端的长条形图案。以尖端图案230中的一者(例如图2所示的第一尖端图案231)为例，第一尖端图案231包括平行于轴线230m的一侧边2301及另一侧边2302。侧边2301靠近中线m设置，而另一侧边2302远离中线m设置。第一尖端图案231还具有斜边2303连接侧边2301，以及斜边2304连接另一侧边2302。斜边2303与斜边2304于靠近预切割线sl的方向上逐渐靠近以连接成尖角，而构成具有尖端231p的长条形图案，但不以此为限。在远离预切割线sl的一侧，第一尖端图案231以一线段连接侧边2301及另一侧边2302，以构成两个直角，但不以此为限。在上述的设置下，尖端图案230例如是具有指向性功能的图案，且其尖端231p指向预切割线sl。在其他实施例中，尖端图案230也可以是在相对两端均具有尖角的图案，例如为具有上下两个尖角的长条形图案。在另一些实施例中，尖端图案230也可为具有上下两个弧角的长条形图案。

请参照图2，第一尖端图案231在第一方向d1上具有宽度刻度x1，且在第二方向d2上具有长度刻度y1。第一尖端图案231的宽度刻度x1可定义为：在第一方向d1上，侧边2301至轴线230m的距离。宽度刻度x1可例如为一最小宽度x，最小宽度x的范围例如是5微米至25微米，但不以此为限。举例来说，最小宽度x可以是5微米、10微米、15微米、20微米或25微米，但不以此为限。在本实施例中，第一尖端图案231例如包括两个宽度刻度x1，也就是说，第一尖端图案231的宽度例如为二个最小宽度x(例如：2x)。

第一尖端图案231在第二方向d2上的长度刻度y1可定义为：在第二方向d2上，轴线230m最远离预切割线sl的一端至轴线230m接触预切割线sl的相对一端(例如尖端231p接触预切割线sl之处)之间的距离。长度刻度y1可例如为一最小长度y，最小长度y的范围例如是1微米至10微米，但不以此为限。举例来说，最小长度y可以是1微米、5微米、10微米，但不以此为限，实际上可依使用者的需求或视图案工艺能力做调整。

在本实施例中，第一尖端图案231的长度刻度y1为最小长度y。此外，第一尖端图案231的尖端231p部分的尖端长度yh例如是长度刻度y1的一半，但不以此为限。举例来说，尖端长度yh可定义为：在第二方向d2上，斜边2304接触侧边2302(或者是，斜边2303接触侧边2301)的点至预切割线sl之间的最短距离。在本实施例中，以最小长度y为10微米举例说明，尖端长度yh为也就是5微米。从另一方向来说，侧边2301、2302的长度也是故可为5微米。在此须说明的是，上述举例仅为例示性的说明，尖端长度yh也可以是等，依使用者的需求而定，并不以此为限。

另外，类似第一标记210或第二标记220的排列方式，对应的尖端图案230可以在预切割线sl的相对两侧镜像地设置。举例来说，第一尖端图案231与对应的第一尖端图案231’可以在预切割线sl的相对两侧镜像设置。在上述的设置下，在俯视方向上，第一尖端图案231的尖端231p可以指向第一尖端图案231’的尖端231p’。也就是说，第一尖端图案231与第一尖端图案231’可以在尖端处相接，但不以此为限。换句话说，第一尖端图案231与镜像的第一尖端图案231’可具有相同的宽度刻度及长度刻度，两者的差别在于：第一尖端图案231的尖端231p于图2中往下指，而第一尖端图案231’的尖端231p’于图2中往上指。

请参照图1a及图1b，多个尖端图案230在第一方向d1上排列。举例来说，尖端图案230可以包括第一尖端图案231、第二尖端图案232、第三尖端图案233、第四尖端图案234。第一尖端图案231、第二尖端图案232、第三尖端图案233、第四尖端图案234可以在第一方向d1上排列成一组横列。举例来说，在第二方向d2上，第一尖端图案231、第二尖端图案232、第三尖端图案233、第四尖端图案234所构成的一组横列可以位于第一标记211与预切割线sl之间。在一些实施例中，于第二方向d2上。第一标记211与预切割线sl之间至少设置有第四尖端图案234，且第四尖端图案234可连接第一标记211。

在一些实施例中，尖端图案230还可以包括第五尖端图案235、第六尖端图案236、第七尖端图案237、第八尖端图案238在第一方向d1上排列成另一组横列。举例来说，在第一方向d1上，第五尖端图案235、第六尖端图案236、第七尖端图案237、第八尖端图案238所构成的另一组横列与第一尖端图案231、第二尖端图案232、第三尖端图案233、第四尖端图案234所构成的一组横列分别在中线m的相对两侧镜像地设置。故，在第二方向上，第五尖端图案235、第六尖端图案236、第七尖端图案237、第八尖端图案238所构成的另一组横列可以位于第一标记211与预切割线sl之间。在一些实施例中，于第二方向d2上。第一标记211与预切割线sl之间至少设置有第五尖端图案235，且第五尖端图案235可连接第一标记211。

在本实施例中，每一个尖端图案230的宽度刻度为相同。举例来说，第一尖端图案231的宽度为2x，且第二尖端图案232的宽度为2x，但不以此为限。

在第二方向d2上，一组横列的第一尖端图案231、第二尖端图案232、第三尖端图案233、第四尖端图案234可以分别具有不同的长度刻度。举例来说，第一尖端图案231的长度刻度y1小于第二尖端图案232的长度刻度y2，第二尖端图案232的长度刻度y2小于第三尖端图案233的长度刻度y3，且第三尖端图案233的长度刻度y3小于第四尖端图案234的长度刻度y4。换句话说，于往中线m靠近的方向上，尖端图案230的长度刻度会依序逐渐增加。如此一来，靠近中线m的尖端图案230的长度会大于远离中线m的尖端图案230的长度。

举例来说，本实施例的第一尖端图案231的长度刻度y1为最小长度y、第二尖端图案232的长度刻度y2为二倍最小长度y(例如2y)、第三尖端图案233的长度刻度y3为三倍最小长度y(例如3y)，且第四尖端图案234的长度刻度y4为四倍最小长度y(例如4y)，但本实施例不以此为限。

在一些实施例中，第四尖端图案234对应于第五尖端图案235，且二者在中线m的相对两侧以镜像设置。故第四尖端图案234的长度刻度y4与第五尖端图案235的长度刻度可以相同。以此类推，第三尖端图案233的长度刻度y3与第六尖端图案236的长度刻度可以相同。第二尖端图案232的长度刻度y2与第七尖端图案237的长度刻度可以相同。第一尖端图案231的长度刻度y1与第八尖端图案238的长度刻度可以相同。故，于往远离中线m的方向上，第五尖端图案235、第六尖端图案236、第七尖端图案237、第八尖端图案238的长度依序逐渐减少

在本实施例中，第二尖端图案232(或第三尖端图案233、第四尖端图案234、第五尖端图案235、第六尖端图案236、第七尖端图案237、第八尖端图案238)的尖端长度与第一尖端图案231的尖端长度yh可以相同。举例来说，第二尖端图案232的尖端长度可以是最小长度y的一半(即)。此外，第三尖端图案233、第四尖端图案234、第五尖端图案235、第六尖端图案236、第七尖端图案237、第八尖端图案238的尖端长度也可以是但不以此为限。

在此须注意的是，图1a及图1b所示的尖端图案230的横列数量以及每一组横列中尖端图案230的数量仅为说明使用。举例来说，图1a中，于预切割线sl的一侧中包括八个尖端图案230(尖端图案231、232、233、234、235、236、237、238)，且每一组横列中包括四个尖端图案230(例如尖端图案221、222、223、224为一组)。然而，本新型创作不以此为限。在其他实施例中，每一组横列中尖端图案230的数量可以增加或减少，不以图1a所示为限。

另外，如前述第一尖端图案231与镜像对应设置的第一尖端图案231’，尖端图案232、233、234、235、236、237、238与对应的尖端图案232’、233’、234’、235’、236’、237’、238’可以在预切割线sl的相对两侧镜像地设置。举例来说，第二尖端图案232与对应的第二尖端图案232’可以在预切割线sl的相对两侧镜像设置。以此类推，第三尖端图案233、第四尖端图案234、第五尖端图案235、第六尖端图案236、第七尖端图案237、第八尖端图案238分别地与对应的第三尖端图案233’、第四尖端图案234’、第五尖端图案235’、第六尖端图案236’、第七尖端图案237’、第八尖端图案238’在预切割线sl的相对两侧镜像设置。在上述的设置下，尖端图案231、232、233、234、235、236、237、238的长度刻度可与尖端图案231’、232’、233’、234’、235’、236’、237’、238’的长度刻度相同。

'在本实施例中，第一尖端图案231、第二尖端图案232、第三尖端图案233、第四尖端图案234例如是以等距排列或不等距排列。举例来说，第一尖端图案231与第二尖端图案232之间的距离可以等于第二尖端图案232与第三尖端图案233之间的距离。在一些实施例中，第二尖端图案232与第三尖端图案233之间的距离可以等于或不等于第三尖端图案233与第四尖端图案234之间的距离，但不以此为限。在本实施例中，相邻两个尖端图案230(例如：第一尖端图案231与第二尖端图案232)之间的距离可定义为相邻两个尖端图案230的轴线230m之间的距离。在一些实施例中，第四尖端图案234的轴线230m至中线m之间的距离也可以等于或不等于第三尖端图案233与第四尖端图案234之间的距离，但不以此为限。

在此须注意的是，在第二方向d2上，部分的第二标记220可以对齐尖端图案230。举例来说，第二标记224的轴线220m可以对齐第四尖端图案234的轴线230m。依此类推，第二标记221、222、223可以分别对齐第一尖端图案231、第二尖端图案232、第三尖端图案233，但不以此为限。此外，第二标记220在第二方向d2上的长度还可以对应尖端图案230的长度。举例来说，第二标记221与对应的第一尖端图案231可具有相同的长度，也就是说，第二标记221的高度可以是最小长度y。第二标记222与对应的第二尖端图案232的长度可以是二倍最小长度y(例如2y)。第二标记223与对应的第三尖端图案233的长度可以是三倍最小长度y(例如3y)。第四标记224与对应的第四尖端图案234的长度可以是四倍最小长度y(例如4y)。

值得注意的是，本新型创作一实施例的切割标记结构10，其具有在第二方向d2上，最靠近预切割线sl的第一标记211的轴线210m至预切割线sl之间的距离y5大于多个尖端图案230的任一者的长度。此外，最靠近预切割线sl的第一标记211的轴线210m至预切割线sl之间的距离y5大于多个第二标记220的任一者的长度。举例来说，第一标记211在第二方向d2上具有长度。第一标记211的侧边2111至轴线210m之间的距离y1’相同于侧边2112至轴线210m之间的距离。距离y1’例如为最小长度y(例如与第一尖端图案231的长度刻度y1相同)。故第一标记211在第二方向d2上的长度可为2y。在本实施例中，第四尖端图案234接触第一标记211的侧边2111及预切割线sl，且位于侧边2111与预切割线sl之间。因此，侧边2111至预切割线sl之间的距离与长度刻度y4实质上相同。此外，第二标记224对应于第四尖端图案234，而具有相同的长度(例如为4y)。在上述的设置下，距离y5的长度可为长度刻度y4与距离y1’的总和，因此距离y5可为5y。基于上述，第一标记210可在裁切工艺中用于大刻度的标示，而第二标记220与尖端图案230可在裁切工艺中用于小刻度的精度监控。因此切割标记结构10具有提升易读性及裁切精度的数值监控精细度。以下列举一裁切工艺作为实施例进行简单说明。

在裁切工艺中，首先在衬底100上定义出预裁切的形状，并依据形状设置预切割线sl及切割标记结构10。

接着，以刀具或雷射切割装置对衬底100上的预切割线sl进行裁切步骤。

在上述裁切步骤后，目标切割线(图未示)可以沿着预切割线sl形成。然后，使用者可以直接观察目标切割线与切割标记结构10的相对位置来判断目标切割线是否偏离预切割线sl。在本实施例中，目标切割线可以裁切到尖端图案230的部分，以判读出偏移量。举例来说，若目标切割线平行于第一标记210且仅接触尖端图案230的尖端，则使用者可判断目标切割线实质重迭预切割线，且在第二方向d2上的偏移量可以小于最小长度y。举例来说，在第二方向d2上的偏移量可以是但不以此为限。以y为10微米，且在第二方向d2上的偏移量为为例，目标切割线的偏移量为小于或等于5微米(例如0微米<目标切割线的偏移量≦5微米)。

在另一实施例中，若于裁切工艺后，目标切割线裁切至第二尖端图案232，且未观察到第一尖端图案231时，则使用者可判断目标切割线在第二方向d2上的偏移可以大于最小长度y，但小于2y。以y为10微米，且在第二方向d2上的偏移量为2y为例，目标切割线的偏移量为大于或等于10微米但小于或等于20微米(例如10微米≦目标切割线的偏移量≦20微米)。

此外，使用者还可透过尖端图案230(尖端图案231～238)及镜像设置的尖端图案(尖端图案231’～238’)的尖端来判断目标切割线的偏移方向。举例来说，于上述裁切工艺后，目标切割线裁切至第二尖端图案232(位于预裁切线sl上方的一侧)，而使用者在预裁切线sl上方的衬底观察不到任何尖端，且在预裁切线sl下方的衬底观察到尖端。基于上述，使用者可判断目标裁切线是往预裁切线sl上方偏移。如此一来，切割标记结构10除了具有精细的数值监控功能外，还具有偏移方向监控的功能。也就是说，切割标记结构10可以提供向量性的监控。

在另一实施例中，若于裁切工艺后，目标切割线裁切至第二标记224，使得裁切后的衬底上使用者可以观察到第一标记212及部分的第二标记224，但无法观察到第一标记211、任何的尖端图案230以及第二标记221～223。由于每一第一标记210代表与预切割线sl之间的距离为5y，因此使用者可简单地以目标切割线未裁切到第一标记212，而判断出在大刻度上，目标切割线的偏移量大于5y，但小于或等于5y的二倍。此外，由于目标切割线裁切到第二标记224而无法观察到第二标记223，因此在小刻度上可以判断出目标切割线的偏移量大于3y但小于或等于4y。基于上述，目标切割线的偏移量为10y-y至5y+3y之间。以最小长度y为10微米为例，目标切割线的偏移量为小于或等于90微米但大于或等于80微米(例如80微米≦目标切割线的偏移量≦90微米)。因此，本新型创作所提供的切割标记结构10，可让使用者不须透过额外工具，而可以直接判读出目标切割线的位置是否对准，且切割标记结构10还可提供裁切精度的数值监控。因此，切割标记结构10具有提升的易读性及裁切精度的数值监控精细度。

简言之，由于本新型创作的切割标记结构10具有用于大刻度的标示的第一标记210，以及用于小刻度的标示的第二标记220及尖端图案230，因此使用者可不须透过额外工具，而可以直接判读出目标切割线的位置是否对准，且切割标记结构10还可提供裁切精度的数值监控。此外，尖端图案230的尖端还可用于判断目标切割线的偏移方向，因此使用者可判断目标裁切线是往预裁切线sl上方或下方偏移。如此一来，切割标记结构10除了具有精细的数值监控功能外，还具有偏移方向监控的功能。因此，切割标记结构10具有提升的易读性及裁切精度的数值监控精细度还可以提供向量性的监控。

在此必须说明的是，下述实施例沿用前述实施例的元件标号与部分内容，其中采用相同的标号来表示相同或近似的元件，关于省略了相同技术内容的部分说明可参考前述实施例，下述实施例中不再重复赘述。

图3为本新型创作的另一实施例的切割标记结构的上视示意图。为了图式清楚以及方便说明，图3省略绘示了若干元件。请参考图3及图1a，本实施例的切割标记结构10a与图1a的切割标记结构10相似，主要的差异在于：在本实施例中，第一标记210的横排数量为三排。举例来说，第一标记210包括：第一标记211、第一标记212及第一标记213，分别在第二方向d2上属于不同横排。也就是说，相较于图1a的切割标记结构10，图3所示的切割标记结构10a向内缩排而具有较少的第一标记210以及第二标记220。因此，切割标记结构10a可应用于衬底100面积较受限制的条件。此外，切割标记结构10a还可获致与上述实施例相似的优良技术效果。

图4为本新型创作的另一实施例的切割标记结构的上视示意图。为了图式清楚以及方便说明，图4省略绘示了若干元件。请参考图4及图1a，本实施例的切割标记结构10b与图1a的切割标记结构10相似，主要的差异在于：在本实施例中，第一标记210的横排数量为六排。举例来说，第一标记210包括：第一标记211、第一标记212、第一标记213、第一标记214、第一标记215、及第一标记216，分别在第二方向d2上属于不同横排。也就是说，相较于图1a的切割标记结构10，图4所示的切割标记结构10b向外增加而具有较多的第一标记210以及第二标记220。因此，切割标记结构10b可应用于衬底100面积较大的条件。此外，切割标记结构10b还可获致与上述实施例相似的优良技术效果。

图5为本新型创作的另一实施例的裁切后的切割标记结构的上视示意图。为了图式清楚以及方便说明，图5省略绘示了若干元件。请参考图5及图3，本实施例的切割标记结构10c与图3的切割标记结构10a相似，主要的差异在于：在本实施例中，切割线cl除了偏移外，切割线cl还产生了角度的偏移。在本实施例中，切割线cl不平行于第一方向d1或第一标记211’，而重迭了第三尖端图案233、第四尖端图案234、第六尖端图案236。在切割线cl上，与第三尖端图案233的轴线交接的点233t及与第六尖端图案236的轴线交接的点236t可连成直线。上述至少两点连成的直线(或可视为切割线cl)与预切割线sl之间可形成夹角θ。在上述的设置下，使用者可透过量测夹角θ以确认切割线cl的偏移角度。因此，切割标记结构10c还具有量测在旋转方向上的偏移量。此外，切割标记结构10c还可获致与上述实施例相似的优良技术效果。

图6为本新型创作的另一实施例的切割标记结构的局部放大上视示意图。为了图式清楚以及方便说明，图6省略绘示了若干元件。请参考图6及图1a，本实施例的切割标记结构10d与图1a的切割标记结构10相似，主要的差异在于：在本实施例中，切割标记结构10d还适于另一预切割线sl’的裁切。如图6所示，预切割线sl的延伸方向例如平行第一方向d1，垂直于预切割线sl’的延伸方向例如平行第二方向d2。在一些实施例中，预切割线sl’例如重迭图1a所述的中线m，但不以此为限。在本实施例中，第一标记211(第一标记210)部分重迭预切割线sl’，且预切割线sl’可将第一标记211分隔为二等分。切割标记结构10d还包括箭头图案240。箭头图案240部分连接第一标记211。箭头图案240例如为包括两个斜边241的等腰三角形，其中箭头图案240的一边重迭第一标记211的轴线210m，但不以此为限。斜边241往预切割线sl的方向上逐渐靠近，而形成箭头240p。在一些实施例中，箭头图案240的轴线(未标示)沿着第二方向d2延伸并重迭预切割线sl’。换句话说，箭头240p可以位于预切割线sl’上，且指向预切割线sl。

在本实施例中，箭头图案240与箭头图案240’可以在预切割线sl的相对两侧镜像地设置。箭头图案240’可以连接第一标记211’，且箭头图案240’可以重迭预切割线sl’，但不以此为限。

值得注意的是，在第一方向d1上，箭头图案240的斜边241与第一标记211的侧边2111的交接处至预切割线sl’之间的宽度刻度x1’例如与第一尖端图案231(或第八尖端图案238)的宽度刻度x1可以相同，例如为最小宽度x。此外，在第一方向d1上，第一尖端图案231与第二尖端图案232之间的宽度距离x2与第二尖端图案232与第三尖端图案233之间的宽度距离x3可以相同。第三尖端图案233与第四尖端图案234之间的宽度距离x4与第四尖端图案234与预切割线sl’之间的宽度距离x5可以相同。在本实施例中，宽度距离x3与宽度距离x4为不同，但不以此为限。在本实施例中，宽度距离的定义为，相邻两个尖端图案230的轴线230m之间的距离。举例来说，宽度距离x2为第一尖端图案231的轴线至第二尖端图案232的轴线之间的距离。此外，宽度距离x5的定义为第四尖端图案234的轴线至预切割线sl’之间的距离。在上述的设置下，宽度距离x2与宽度距离x3例如为6x，且宽度距离x4与宽度距离x5例如为10x。以x为5微米举例说明，宽度距离x2与宽度距离x3可以是30微米，而宽度距离x4与宽度距离x5例如是50微米。如此一来，当沿着预切割线sl’进行裁切工艺时，当目标切割线重迭箭头图案240时，使用者可判断目标切割线在第二方向d2上的偏移量可以小于或等于x，也就是小于或等于5微米。藉此，本新型创作的切割标记结构10d除了可应用于第一方向d1上的裁切工艺，还可应用于第二方向d2上的裁切工艺，并可监控裁切精度的数值。

在另一些实施例中，切割标记结构10d也可以在第二方向d2上进行大刻度或小刻度的精度监控。举例来说，若于裁切工艺后，目标切割线位于第四尖端图案234与箭头图案240之间，且使用者无法观察到箭头图案240。由于预切割线sl’与第四尖端图案234的宽度距离x5为10x，且箭头图案240于预切隔线sl’一侧的宽度刻度x1’为x。因此使用者可简单地判断目标切割线的偏移量为10x-x。基于上述，目标切割线的偏移量为x至10x-x之间。以最小长度x为5微米为例，目标切割线的偏移量为大于或等于5微米但小于或等于45微米(例如5微米≦目标切割线的偏移量≦45微米)。因此，本新型创作所提供的切割标记结构10d，可让使用者不须透过额外工具，而可以直接判读出目标切割线的位置是否对准，且切割标记结构10d还可提供裁切精度的数值监控。因此，切割标记结构10d具有提升的易读性及裁切精度的数值监控精细度。

在一些实施例中，切割标记结构10d可监控的数值区间举例包括：0微米、5微米、45微米、50微米、55微米、95微米、100微米、105微米、125微米、130微米、135微米、155微米、160微米、165微米，但不以此为限。

图7为本新型创作的另一实施例的切割标记结构的局部放大上视示意图。为了图式清楚以及方便说明，图7省略绘示了若干元件。请参考图7及图6，本实施例的切割标记结构10e与图6的切割标记结构10d相似，主要的差异在于：在本实施例中，箭头图案240e的一边重迭第一标记211的侧边2111。此外，镜像设置的箭头图案240e’的一边重迭第一标记211’的侧边。箭头图案240e的斜边241与第一标记211的侧边2111的交接处至预切割线sl’之间的宽度刻度x1’例如为5x。以x为5微米举例说明，宽度刻度x1’可为25微米，但本新型创作不以此为限。在一些实施例中，宽度刻度x1’也可以是1.5x、2x、2.5x或3x。因此，本新型创作所提供的切割标记结构10e可提供裁切精度的数值监控。因此，切割标记结构10e具有提升的易读性及裁切精度的数值监控精细度。

在一些实施例中，切割标记结构10e可监控的数值区间举例包括：0微米、25微米、45微米、50微米、55微米、95微米、100微米、105微米、125微米、130微米、135微米、155微米、160微米、165微米，但不以此为限。

图8为本新型创作的再一实施例的切割标记结构的局部放大上视示意图。为了图式清楚以及方便说明，图8省略绘示了若干元件。请参考图8及图7，本实施例的切割标记结构10f与图7的切割标记结构10e相似，主要的差异在于：在本实施例中，尖端图案230之间的宽度距离可以相同，且宽度刻度x1’可以缩小。举例来说，宽度距离x2、宽度距离x3、宽度距离x4与宽度距离x5的距离可以相同。宽度距离x2可以是5x，宽度刻度x1’可以是3x。以x为5微米举例说明，宽度距离x2、宽度距离x3、宽度距离x4与宽度距离x5可为25微米且宽度刻度x1’可为15微米，但本新型创作不以此为限。因此，本新型创作所提供的切割标记结构10f可提升裁切精度的数值监控。因此，切割标记结构10f具有提升的易读性及裁切精度的数值监控精细度。

在一些实施例中，切割标记结构10f可监控的数值区间举例包括：0微米、15微米、20微米、25微米、30微米、45微米、50微米、55微米、70微米、75微米、80微米、95微米、100微米、105微米，但不以此为限。

图9为本新型创作的又一实施例的切割标记结构的上视示意图。为了图式清楚以及方便说明，图9省略绘示了若干元件。请参考图9及图1a，本实施例的切割标记结构10g与图1a的切割标记结构10相似，主要的差异在于：在本实施例中，第一标记211与第一标记212a可以在第二方向d2上排列成直行而不以交替方式排列，且中线m重迭第一标记211与第一标记212a并分别将第一标记211与第一标记212a分隔成两等分。第一标记212b在第一方向上d1相邻第一标记212a设置，且往远离中线m的方向设置。第一标记211、212b、213、214、215在第二方向d2上呈阶梯状往右边延续排列。在本实施例中，第一标记212b、213、214、215设置于中线m的其中一侧，且会镜像地设置于预切割线sl的相对两侧。

尖端图案230与第一标记211及第一标记212a之间的第二标记220可于中线m的相对两侧镜像地设置，并镜像地设置于预切割线sl的相对两侧，但不以此为限。简言之，切割标记结构10g的多个第一标记不镜像设置于中线m的两侧，而在图9上往右边延续设置，但不以此为限。在上述的设置下，切割标记结构10g可获致与上述实施例相似的优良技术效果。

综上所述，本新型创作的切割标记结构具有用于大刻度的标示的第一标记，以及用于小刻度的标示的第二标记及尖端图案，因此使用者可不须透过额外工具，而可以直接判读出目标切割线的位置是否对准，且切割标记结构还可提供裁切精度的数值监控。此外，尖端图案的尖端还可用于判断目标切割线的偏移方向，因此使用者可判断目标裁切线是往预裁切线上方或下方偏移。如此一来，切割标记结构除了具有精细的数值监控功能外，还具有偏移方向监控的功能。也就是说，切割标记结构可以提供向量性的监控。此外，切割标记结构还可以提供监测切割线与预切割线之间的夹角以确认切割线的偏移角度。因此，切割标记结构还具有量测在旋转方向上的偏移量。基于上述，切割标记结构具有提升的易读性及裁切精度的数值监控精细度还可以提供向量性的监控。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。