电功率模块的制作方法

文档序号:31857581发布日期:2022-10-19 03:28阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种集成半导体功率晶体管封装(10),包括一半桥电路(100),包括与低侧开关(130)的正功率端子串联连接的高侧开关(110)的负功率端子;每个开关(110、130)包括多个电并联连接的半导体功率晶体管管芯(400a、400b);一第一基板(41),具有覆层(415c),覆层(415c)烧结接合至至少一个半导体功率晶体管管芯(400b),至少一个半导体功率晶体管管芯(400b)限定所述低侧功率开关(130);一第二基板(41),与所述第一基板(41)平行;所述第二基板(44)具有覆层(445d),覆层(445d)烧结接合至至少一个半导体功率晶体管管芯(400a),至少一个半导体功率晶体管管芯(400a)限定所述高侧功率开关(110);多个竖直间隔件(425b),将至少一个半导体功率晶体管管芯(400b)烧结接合到所述第二基板(44)的覆层(445c),其中至少一个半导体功率晶体管管芯(400b)限定所述第一基板(41)上的低侧功率开关(130);多个竖直间隔件(425a),将至少一个半导体功率晶体管管芯(400a)烧结接合到第一基板(41)的覆层(415c),其中至少一个半导体功率晶体管管芯(400a)限定所述第二基板上的高侧功率开关(110);和密封剂(460),其至少密封所述第一和第二基板(41、44)之间的空腔。2.根据权利要求1所述的集成半导体功率晶体管封装(10),其特征在于,还包括:一电互连结构,形成每个半导体功率晶体管管芯(400a、400b)的负电源端子焊盘(220)和引线框架引脚(505b)之间的开尔文栅极返回信号路径。3.根据前述权利要求中任一项所述的集成半导体功率晶体管封装(10),其特征在于,还包括:至少一个引线框架引脚(505a),接合到所述第一基板(41)的覆层;和至少一个引线框架引脚(605a),接合到所述第二基板(44)的覆层。4.根据前述权利要求中任一项所述的集成半导体功率晶体管封装(10),其特征在于,还包括:至少一个散热器(405a),接合到所述第一基板(41)的所述外覆层(415a);和至少一个散热器(405b),接合到所述第二基板(44)的所述外覆层(445a)。5.根据前述权利要求中任一项所述的集成半导体功率晶体管封装(10),其特征在于,还包括:多个电阻器(810a-810d);和一互连结构,形成电气路径,其中电阻器(810a-810d)中的至少一个串联连接在引线框架引脚(505a)和每个半导体功率晶体管管芯(400a、400b)的栅极端子焊盘(415e)之间。6.根据前述权利要求中任一项所述的集成半导体功率晶体管封装(10),其特征在于,还包括:至少一个能量吸收缓冲管芯(820a、820b);和一互连结构,在这种缓冲管芯端子与所述半桥电路(100)的正电压外部端子和负电压外部端子之间形成电气连接。

技术总结
本发明涉及一种集成半导体功率晶体管封装(10),包括一半桥电路(100),包括与低侧开关(130)的正功率端子串联连接的高侧开关(110)的负功率端子;每个开关(110、130)包括多个电并联连接的半导体功率晶体管管芯(400a、400b);一第一基板(41),具有覆层(415c),覆层(415c)烧结接合至至少一个半导体功率晶体管管芯(400b),至少一个半导体功率晶体管管芯(400b)限定所述低侧功率开关(130);一第二基板(41),与所述第一基板(41)平行;所述第二基板(44)具有覆层(445d),覆层(445d)烧结接合至至少一个半导体功率晶体管管芯(400a),至少一个半导体功率晶体管管芯(400a)限定所述高侧功率开关(110);多个竖直间隔件(425b),将至少一个半导体功率晶体管管芯(400b)烧结接合到所述第二基板(44)的覆层(445c),其中至少一个半导体功率晶体管管芯(400b)限定所述第一基板(41)上的低侧功率开关(130);多个竖直间隔件(425a),将至少一个半导体功率晶体管管芯(400a)烧结接合到第一基板(41)的覆层(415c),其中至少一个半导体功率晶体管管芯(400a)限定所述第二基板上的高侧功率开关(110);和密封剂(460),其至少密封所述第一和第二基板(41、44)之间的空腔。44)之间的空腔。44)之间的空腔。


技术研发人员:米卡
受保护的技术使用者:皮尔伯格有限责任公司
技术研发日:2020.02.19
技术公布日:2022/10/18
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