技术特征：
1.一种图案匹配装置，其实施图像间的图案匹配，其特征在于，所述图案匹配装置具备计算机系统，该计算机系统通过在第一图像与第二图像之间实施图案匹配，将所述第一图像与所述第二图像之间的偏移量作为图案匹配结果而输出，所述计算机系统具备学习器，该学习器接收所述第一图像和所述第二图像作为输入，推定并输出第一相关图像，该第一相关图像具有表示所述第一图像与所述第二图像之间的相关性的数值作为像素值，所述计算机系统计算第二相关图像，该第二相关图像具有表示所述第一图像与从所述第一图像生成的派生图像之间的相关性的数值作为像素值，所述学习器构成为能够实施减小所述第一相关图像与所述第二相关图像之间的差分的学习，所述计算机系统基于所述第一相关图像，计算所述第一图像与所述第二图像之间的偏移量。2.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统按照所述第一图像与所述派生图像之间的坐标偏移量来计算表示所述第一图像与所述派生图像之间的相关性的数值，所述计算机系统计算将按照所述坐标偏移量计算出的数值作为与该坐标偏移量对应的像素的像素值而具有的图像作为所述第二相关图像。3.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统通过计算所述第一相关图像所具有的所述像素值中所述第一图像与所述第二图像之间的相关性为基准值以上的像素值从所述第一图像或所述第二图像偏差的量，计算所述偏移量。4.根据权利要求2所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统还具备对指定所述坐标偏移量的输入进行接收的接口，所述计算机系统根据所述接口接收到的所述输入所指定的所述坐标偏移量，计算所述第二相关图像。5.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统对所述学习器输入分别在不同的条件下取得的多个所述第一图像，并且输出表示所述第二图像与各所述第一图像之间的相关性的所述第一相关图像，或者，所述计算机系统对所述学习器输入分别在不同的条件下取得的多个所述第二图像，并且输出表示所述第一图像与各所述第二图像之间的相关性的所述第一相关图像，或者，所述计算机系统对所述学习器输入分别在不同的条件下取得的多个所述第一图像，并且输入分别在不同的条件下取得的多个所述第二图像，输出表示各所述第一图像与各所述第二图像之间的相关性的所述第一相关图像。6.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统在对所述第一图像和所述第二图像中的至少任意一个进行了校正以使得所述第一相关图像中指定的部分区域的亮度值比所述第一相关图像的其他区域的亮度值高的基础上，对所述学习器输入该校正后的所述第一图像和所述第二图像。7.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述学习器构成为，推定第一方向相关图像来作为所述第一相关图像，该第一方向相
关图像具有表示所述第一图像和所述第二图像在第一方向上相关的程度的第一方向相关值作为像素值，所述学习器构成为，推定第二方向相关图像来作为所述第一相关图像，该第二方向相关图像具有表示所述第一图像和所述第二图像在与所述第一方向正交的第二方向上相关的程度的第二方向相关值作为像素值，所述计算机系统通过合成所述第一方向相关图像和所述第二方向相关图像，生成所述第一相关图像。8.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统还具备学习数据生成部，该学习数据生成部生成用于所述学习器实施所述学习的学习数据，所述学习数据生成部通过使所述第一图像坐标偏移来生成所述派生图像，并且将该生成的所述派生图像和所述第一图像作为所述学习数据提供给所述学习器，所述计算机系统使用所述学习数据生成部生成所述派生图像时使用的坐标偏移量、或者所述学习数据生成部生成的所述派生图像，计算所述第二相关图像。9.根据权利要求8所述的图案匹配装置，其特征在于，所述学习数据生成部将通过使所述派生图像的画质和所述派生图像中包含的形状图案中的至少任意一个变化而生成的变形图像作为所述学习数据提供给所述学习器。10.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统构成为对具有上层和下层的试样的图像实施图案匹配，所述第一图像包含所述试样的第一上层图像和所述试样的第一下层图像，所述第二图像包含所述试样的第二上层图像和所述试样的第二下层图像，所述学习器接收所述第一上层图像或所述第一图像和所述第二上层图像或所述第二图像作为输入，推定并输出具有表示所述第一上层图像或所述第一图像与所述第二上层图像或所述第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第一上层相关图像，所述学习器接收所述第一下层图像或所述第一图像和所述第二下层图像或所述第二图像作为输入，推定并输出具有表示所述第一下层图像或所述第一图像与所述第二下层图像或所述第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第一下层相关图像，所述计算机系统基于所述第一上层相关图像，计算所述第一上层图像或所述第一图像与所述第二上层图像或所述第二图像之间的上层偏移量，所述计算机系统基于所述第一下层相关图像，计算所述第一下层图像或所述第一图像与所述第二下层图像或所述第二图像之间的下层偏移量。11.根据权利要求10所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统基于所述上层偏移量和所述下层偏移量，计算并输出所述试样的上层与所述试样的下层之间的偏差量。12.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统计算具有表示所述第一图像和在对应于所述第二图像的位置处与所述第一图像相同种类的第三图像之间的相关性的数值作为像素值的第三相关图像，所述学习器构成为还能够实施减小所述第一相关图像与所述第三相关图像之间的差分的学习。
13.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统计算具有表示在对应于所述第一图像的位置处与所述第二图像相同种类的第四图像和所述第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第四相关图像，所述学习器构成为还能够实施减小所述第一相关图像与所述第四相关图像之间的差分的学习。14.根据权利要求1所述的图案匹配装置，其特征在于，所述计算机系统计算具有表示对应于所述第一图像的位置的第五图像和在对应于所述第二图像的位置处与所述第五图像相同种类的第六图像之间的相关性的数值作为像素值的第五相关图像，所述学习器构成为还能够实施减小所述第一相关图像与所述第五相关图像之间的差分的学习。15.一种图案测定系统，其特征在于，具备：权利要求1所述的图案匹配装置；以及扫描电子显微镜，其通过拍摄试样来取得所述第一图像和所述第二图像，并提供给所述图案匹配装置。16.一种图案匹配程序，其使计算机系统实施图像间的图案匹配，其特征在于，所述图案匹配程序使所述计算机系统实施通过在第一图像与第二图像之间实施图案匹配，将所述第一图像与所述第二图像之间的偏移量作为图案匹配结果输出的步骤，在实施所述图案匹配的步骤中，使所述计算机系统实施接收所述第一图像和所述第二图像作为输入，对推定并输出具有表示所述第一图像与所述第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第一相关图像的学习器提供所述第一图像和所述第二图像，并接收所述第一相关图像的步骤，在实施所述图案匹配的步骤中，使所述计算机系统实施计算具有表示所述第一图像与从所述第一图像生成的派生图像之间的相关性的数值作为像素值的第二相关图像的步骤，所述学习器构成为能够实施减小所述第一相关图像与所述第二相关图像之间的差分的学习，在实施所述图案匹配的步骤中，使所述计算机系统实施基于所述第一相关图像来计算所述第一图像与所述第二图像之间的偏移量的步骤。
技术总结
本公开提出一种图案匹配装置，特别是即使在包含重复图案的半导体图案中，也能够实现将具有学习功能作为特征的匹配处理。本公开的图案匹配装置具备学习器，该学习器推定具有表示第一图像与第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第一相关图像，所述图案匹配装置计算具有表示从所述第一图像生成的派生图像与所述第一图像之间的相关性的数值作为像素值的第二相关图像，所述学习器以减小所述第一相关图像与所述第二相关图像之间的差分的方式进行学习(参照图1)。行学习(参照图1)。行学习(参照图1)。
技术研发人员：李良 长友涉 安部雄一
受保护的技术使用者：株式会社日立高新技术
技术研发日：2020.07.09
技术公布日：2023/2/3