一种基板预植Au凸点的倒装焊工艺方法与流程

文档序号:25876370发布日期:2021-07-16 17:49阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种基板预植au凸点的倒装焊工艺方法,其特征在于,包括以下步骤:s1:提供一具有镀金焊盘的基板和一具有焊料球凸点的倒装芯片;s2:在所述基板的镀金焊盘上制备au凸点;s3:将倒装芯片移动至基板上方,使焊料球凸点与基板上的au凸点相对完成倒装芯片与基板的识别定位;s4:下压倒装芯片,使au凸点与焊料球凸点在预设温度与预设压力下实现预贴合;s5:加热经过预贴合的倒装焊芯片结构,使焊料球凸点受热塌陷包围au凸点,完成倒装芯片与基板的倒装焊接。2.根据权利要求1所述的一种基板预植au凸点的倒装焊工艺方法,其特征在于,所述步骤s5包括以下步骤:s501:将经过预贴合的倒装焊芯片结构置于回流炉中;s502:将所述回流炉的温度升至预设的回流温度,使焊料球凸点受热塌陷包围au凸点。3.根据权利要求1所述的一种基板预植au凸点的倒装焊工艺方法,其特征在于,在步骤s1中,所述基板的镀金焊盘包括镍镀层和金镀层,所述金镀层为最外层,且所述金镀层的厚度至少为0.3微米。4.根据权利要求1所述的一种基板预植au凸点的倒装焊工艺方法,其特征在于,在步骤s2中,所述au凸点上具有平整的端面,且所述au凸点之间的共面性指标小于预设门限。5.根据权利要求4所述的一种基板预植au凸点的倒装焊工艺方法,其特征在于,所述预设门限为任意两个au凸点的高度差在3微米以内。6.根据权利要求1所述的一种基板预植au凸点的倒装焊工艺方法,其特征在于,在步骤s4中,将au凸点与焊料球凸点进行预贴合时,所述预设温度为高于焊料球凸点的固相线10℃,所述预设压力为5n。7.根据权利要求2所述的一种基板预植au凸点的倒装焊工艺方法,其特征在于,在步骤s502中,所述回流温度为高于焊料球凸点的液相线20℃~30℃。8.根据权利要求2所述的一种基板预植au凸点的倒装焊工艺方法,其特征在于,在步骤s502中,将所述回流炉的温度升至预设的回流温度过程中,还包括持续向回流炉中通入保护气体。
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1