技术特征：
1.一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，包括清洗机构(100)，所述清洗机构(100)包括清洗箱(110)、螺纹杆(120)、固定板(130)、电机(140)和第一水泵(150)，所述清洗箱(110)一端开通，所述螺纹杆(120)两端转动连接在所述清洗箱(110)内壁，所述固定板(130)两侧螺纹套接在所述螺纹杆(120)上，所述固定板(130)表面开设有若干通孔(131)，所述电机(140)固定在所述清洗箱(110)外侧，所述电机(140)与所述螺纹杆(120)传动连接，所述第一水泵(150)固定在所述清洗箱(110)内部的所述固定板(130)下方，所述第一水泵(150)一端连接有第一水管(160)，所述第一水管(160)穿出所述清洗箱(110)一侧并与所述清洗箱(110)连通；烘干机构(200)，所述烘干机构(200)包括支架(210)、电动推杆(220)、盖板(230)和热风机(240)，所述支架(210)固定在所述清洗箱(110)顶面，所述电动推杆(220)固定在所述支架(210)一侧，所述盖板(230)固定在所述电动推杆(220)输出端，所述热风机(240)固定在所述盖板(230)一侧，所述热风机(240)一端连接有风管(241)，所述风管(241)穿透所述盖板(230)表面朝向所述清洗箱(110)内部。2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述清洗箱(110)内壁安装有轴承座(111)，所述螺纹杆(120)一端固定在所述轴承座(111)内。3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述电机(140)一端固定有连接套(141)，所述连接套(141)设置在所述电机(140)与所述螺纹杆(120)之间。4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述第一水泵(150)包括进水接头(151)和出水接头(152)，所述第一水管(160)与所述出水接头(152)连接，所述进水接头(151)连接有雨淋管(1511)，所述雨淋管(1511)环绕在所述固定板(130)下方。5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述固定板(130)表面铺设有过滤棉(170)，所述过滤棉(170)将若干所述通孔(131)覆盖。6.根据权利要求5所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述固定板(130)表面放置有清洗框(180)，所述清洗框(180)放置在所述过滤棉(170)表面。7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述清洗箱(110)一侧安装有水箱(190)，所述水箱(190)内安装有第二水泵(191)，所述第二水泵(191)连接有第二水管(1911)，所述第二水管(1911)与所述清洗箱(110)连通。8.根据权利要求7所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述清洗箱(110)内壁安装有液位开关(1912)，所述液位开关(1912)与所述第二水泵(191)电性连接。9.根据权利要求1所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述第一水管(160)远离所述第一水泵(150)的一端安装有流量开关(161)。10.根据权利要求9所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于，所述清洗箱(110)外侧安装有指示灯(112)，所述指示灯(112)与所述流量开关(161)电性连接。
技术总结
本申请提供了一种硅片清洗烘干装置，属于硅片清洗装置领域，该一种硅片清洗烘干装置，包括清洗机构和烘干机构，所述清洗机构包括清洗箱、螺纹杆、固定板、电机和第一水泵，所述清洗箱一端开通，所述螺纹杆两端转动连接在所述清洗箱内壁，所述烘干机构包括支架、电动推杆、盖板和热风机，所述支架固定在所述清洗箱顶面，所述电动推杆固定在所述支架一侧，所述盖板固定在所述电动推杆输出端，所述热风机固定在所述盖板一侧，所述热风机一端连接有风管，所述风管穿透所述盖板表面朝向所述清洗箱内部，该一种硅片清洗烘干装置利用底部循环泵对杂质进行吸附，使得清洗液始终保持较澄清清洗效果好。效果好。效果好。
技术研发人员：张晋美
受保护的技术使用者：四川晶美硅业科技有限公司
技术研发日：2021.06.03
技术公布日：2021/12/24