一种硅片清洗烘干装置的制作方法

1.本技术涉及硅片清洗装置领域，具体而言，涉及一种硅片清洗烘干装置。


背景技术：

2.元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
3.硅晶片在进行清洗时每次进出清洗池清洗出的污渍都会被激起，混杂在清洗液中，清洗效果差。


技术实现要素：

4.为了弥补以上不足，本技术提供了一种硅片清洗烘干装置，解决了污渍在清洗时混在在清洗液中导致清洗效果差的问题。
5.本技术是这样实现的：
6.本技术提供一种硅片清洗烘干装置，包括清洗机构和烘干机构。
7.所述清洗机构包括清洗箱、螺纹杆、固定板、电机和第一水泵，所述清洗箱一端开通，所述螺纹杆两端转动连接在所述清洗箱内壁，所述固定板两侧螺纹套接在所述螺纹杆上，所述固定板表面开设有若干通孔，所述电机固定在所述清洗箱外侧，所述电机与所述螺纹杆传动连接，所述第一水泵固定在所述清洗箱内部的所述固定板下方，所述第一水泵一端连接有第一水管，所述第一水管穿出所述清洗箱一侧并与所述清洗箱连通。
8.所述烘干机构包括支架、电动推杆、盖板和热风机，所述支架固定在所述清洗箱顶面，所述电动推杆固定在所述支架一侧，所述盖板固定在所述电动推杆输出端，所述热风机固定在所述盖板一侧，所述热风机一端连接有风管，所述风管穿透所述盖板表面朝向所述清洗箱内部。
9.在上述实现过程中，将待清洗的硅片放从清洗箱一端放入固定板表面，电机带动螺纹杆转动将固定板向下浸入清洗液中，此时第一水泵将清洗箱内的清洗液从清洗箱底部抽出然后经过第一水管后返回清洗箱中，在此循环中，污渍被吸附力吸附在固定板表面，当清洗完毕后固定板升起，直到清洗框离开水面，此时电动推将盖板压在清洗箱表面，热风机向清洗箱内进行鼓风烘干，该一种硅片清洗烘干装置利用底部循环泵对杂质进行吸附，使得清洗液始终保持较澄清清洗效果好。
10.在一种具体的实施方案中，所述清洗箱内壁安装有轴承座，所述螺纹杆一端固定在所述轴承座内。
11.在上述实现过程中，轴承座提供转动支点。
12.在一种具体的实施方案中，所述电机一端固定有连接套，所述连接套设置在所述电机与所述螺纹杆之间。
13.在上述实现过程中，连接套用来固定电机。
14.在一种具体的实施方案中，所述第一水泵包括进水接头和出水接头，所述第一水管与所述出水接头连接，所述进水接头连接有雨淋管，所述雨淋管环绕在所述固定板下方。
15.在上述实现过程中，雨淋管表面有很多孔，作用是增大吸水范围。
16.在一种具体的实施方案中，所述固定板表面铺设有过滤棉，所述过滤棉将若干所述通孔覆盖。
17.在上述实现过程中，过滤棉用于吸附杂质，且便于更换清理杂志。
18.在一种具体的实施方案中，所述固定板表面放置有清洗框，所述清洗框放置在所述过滤棉表面。
19.在上述实现过程中，清洗框便于硅片的取放。
20.在一种具体的实施方案中，所述清洗箱一侧安装有水箱，所述水箱内安装有第二水泵，所述第二水泵连接有第二水管，所述第二水管与所述清洗箱连通。
21.在上述实现过程中，水箱和第二水泵用于为清洗箱内供应清洗液。
22.在一种具体的实施方案中，所述清洗箱内壁安装有液位开关，所述液位开关与所述第二水泵电性连接。
23.在上述实现过程中，当清洗箱内的清洗液减少到一定程度时，液位开关自动控制第二水泵供应清洗液。
24.在一种具体的实施方案中，所述第一水管远离所述第一水泵的一端安装有流量开关。
25.在上述实现过程中，流量开关可以感知过滤棉表面的污渍积累，当积累过多时第一水管流量减小，此时关闭水泵，可进行更换。
26.在一种具体的实施方案中，所述清洗箱外侧安装有指示灯，所述指示灯与所述流量开关电性连接。
27.在上述实现过程中，指示灯用于提示可以更换过滤棉了。
附图说明
28.为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
29.图1是本技术实施方式提供的一种硅片清洗烘干装置结构示意图；
30.图2是本技术实施方式提供的清洗箱第一视角结构示意图；
31.图3为本技术实施方式提供的清洗箱第二视角结构示意图；
32.图4为本技术实施方式提供的固定板结构示意图。
33.图中：100
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清洗机构；110
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清洗箱；111
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轴承座；112
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指示灯；120
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螺纹杆；130
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固定板；131
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通孔；140
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电机；141
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连接套；150
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第一水泵；151
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进水接头；1511
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雨淋管；152
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出水接头；160
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第一水管；161
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流量开关；170
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过滤棉；180
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清洗框；190
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水箱；191
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第二水
泵；1911
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第二水管；1912
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液位开关；200
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烘干机构；210
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支架；220
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电动推杆；230
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盖板；240
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热风机；241
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风管。
具体实施方式
34.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行描述。
35.为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
36.因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
37.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
38.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
39.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
40.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
41.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
42.实施例
43.请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种硅片清洗烘干装置包括清洗机构100和烘干机构200，其中烘干机构200固定在清洗机构100顶面。
44.请参阅图1、2、3和4，清洗机构100包括清洗箱110、螺纹杆120、固定板130、电机140和第一水泵150，清洗箱110一端开通，清洗箱110内壁安装有轴承座111，螺纹杆120一端固定在轴承座111内，清洗箱110一侧安装有水箱190，水箱190内安装有第二水泵191，第二水泵191连接有第二水管1911，第二水管1911与清洗箱110连通，清洗箱110内壁安装有液位开关1912，液位开关1912与第二水泵191电性连接，螺纹杆120两端转动连接在清洗箱110内壁，固定板130两侧螺纹套接在螺纹杆120上，固定板130表面开设有若干通孔131，固定板130表面需铺设过滤装置，固定板130表面铺设有过滤棉170，过滤棉170将若干通孔131覆盖，固定板130表面放置有清洗框180，清洗框180放置在过滤棉170表面，电机140固定在清洗箱110外侧，电机140一端固定有连接套141，连接套141设置在电机140与螺纹杆120之间，电机140与螺纹杆120传动连接，第一水泵150固定在清洗箱110内部的固定板130下方，第一水泵150包括进水接头151和出水接头152，第一水管160与出水接头152连接，进水接头151连接有雨淋管1511，雨淋管1511环绕在固定板130下方，第一水泵150一端连接有第一水管160，第一水管160穿出清洗箱110一侧并与清洗箱110连通，第一水管160远离第一水泵150的一端安装有流量开关161，清洗箱110外侧安装有指示灯112，指示灯112与流量开关161电性连接。
45.请参阅图1，烘干机构200包括支架210、电动推杆220、盖板230和热风机240，支架210固定在清洗箱110顶面，电动推杆220固定在支架210一侧，盖板230固定在电动推杆220输出端，热风机240固定在盖板230一侧，热风机240一端连接有风管241，风管241穿透盖板230表面朝向清洗箱110内部。
46.具体的，该一种硅片清洗烘干装置的工作原理：工作时，将待清洗的硅片放从清洗箱110一端放入固定板130表面的清洗框180内，电机140带动螺纹杆120转动将固定板130向下浸入清洗液中，此时第一水泵150将清洗箱110内的清洗液从清洗箱110底部抽出然后经过第一水管160后返回清洗箱110中，在此循环中，污渍被吸附力吸附在固定板130表面的过滤棉170上，当过滤棉170表面的污渍积累过多时，第一水管160内的流量变小，此时流量开关161打开指示灯112提示更换过滤棉170，当清洗箱110内的清洗液减少时，液位开关1912控制第二水泵191向清洗箱110内补液，当清洗完毕后固定板130升起，直到清洗框180离开水面，此时电动推杆220将盖板230压在清洗框180表面，热风机240向清洗框180内进行鼓风烘干。
47.以上仅为本技术的实施例而已，并不用于限制本技术的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
48.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。