一种喷淋装置的制作方法

1.本实用新型涉及制备太阳能电池的技术领域，尤其涉及一种喷淋装置。


背景技术：

2.钝化发射极和背面接触电池(perc电池)在激光掺杂制备选择性发射极和碱抛背刻两道工序之间，需要将激光掺杂的区域先用氧化层保护起来，否则在碱抛背刻时激光掺杂区会因为激光去除了表面的磷硅玻璃(psg)而被碱腐蚀掉。
3.目前激光重掺区的保护主要是用热氧化的方法制备氧化层，为了保证氧化反应能够充分均匀，所需要的温度为600-850℃，需要消耗大量的电能，造成制备成本难以降低。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种喷淋装置，结构简单，降低了生产成本，提高了硅片氧化处理时的均匀性。
5.为实现上述目的，本实用新型提供的一种喷淋装置，包括：
6.底座，所述底座的上表面设有第一开口；
7.运输机构，设于所述第一开口，用于运输硅片；
8.盖板，设于所述底座的上方，且与所述底座的上表面具有间距，所述盖板的两侧边朝向所述运输机构延伸形成第二开口，所述盖板的上表面开设有若干连接孔；
9.喷淋单元，设于所述盖板内，所述喷淋单元内设有喷淋板，所述喷淋板设有若干第一排气孔，且所述喷淋板将所述喷淋单元分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与若干所述连接孔导通，所述第二腔室对应所述运输机构开设有第二排气孔。
10.本实用新型提供的喷淋装置有益效果在于：将运输机构设置在底座上，用于对硅片进行运输，通过在盖板上设置喷淋单元，且喷淋单元内通过喷淋板分隔形成第一腔室和第二腔室，第一腔室与连接孔连接导通，由于喷淋板上设有若干第一排气孔，第一腔室的底面对应运输机构设有第二排气孔，所以当反应气体从连接孔输入时，会依次经过第一腔室和第二腔室，最后通过第二开口排出到运输机构上，保证了反应气体均匀稳定的排出与运输机构上的硅片进行氧化反应，使硅片氧化较充分，提高了硅片氧化的均匀性，降低了生产成本。
11.可选地，所述喷淋单元还包括固定板和底板，所述固定板对应所述连接孔设有接气孔，所述喷淋板对应所述固定板开设有若干第一凹槽，所述第一排气孔设于所述第一凹槽内，所述喷淋板与所述固定板连接形成所述第一腔室；所述底板对应所述喷淋板开设有若干第二凹槽，所述第二排气孔设于所述第二凹槽内，所述底板与所述喷淋板连接形成所述第二腔室。其有益效果在于：通过在固定板上开设接气孔，且喷淋板对应固定板设置有若干第一凹槽，固定板与喷淋板连接后形成第一腔室，使喷淋单元的结构简单紧凑，减小了安装空间。另外，底板对应喷淋板开设有第二凹槽，且第二排气孔设置与第二凹槽内，底板与喷淋板连接后形成第二腔室，进一步使装置整体结构简单紧凑，减少安装使用的空间。当反
应气体通过第一腔室后，第一排气孔会将气体打散排入第二腔室，反应气体在第二腔室内再通过第二排气孔排出，进一步把气体打散，均匀的排出，保证了对物体的进行氧化反时的均匀性，且不需要大量的反应气体，降低了生产成本。
12.可选地，若干所述第一凹槽间隔设置，且相邻的所述第一凹槽之间对应所述接气孔设有分流槽，所述分流槽延伸至所述第一凹槽，将相邻的所述第一凹槽导通。其有益效果在于：通过在相邻的第一凹槽之间设置分流槽，并且分流槽延伸至第一凹槽，从而导通相邻的第一凹槽，当反应气体会先进入分流槽内，然后均匀的输入至若干第一凹槽内，进一步保证了反应气体排出时的均匀性。
13.可选地，还包括分气阀、若干导气管和若干接气阀，所述分气阀上具有接气端和若干分气口，所述分气口通过导气管与所述接气阀的一端连接，所述接气阀的另一端与所述接气孔连接，所述接气端用于接入反应气体。其有益效果在于：通过设置分气阀、接气阀和导气管，实现了对每个接气孔同时的输入反应气体，进一步保障反应气体排出时的均匀性。
14.可选地，还包括调节件、调节杆和连接板，所述盖板的上表面还开设有若干调节孔；所述连接板与所述喷淋单元连接；所述调节杆的一端通过所述调节孔与所述连接板连接，所述调节件与所述调节杆连接，用于调节所述喷淋单元的位置。其有益效果在于：通过设置调节件、调节杆和连接板，可对喷淋单元与运输机构的距离进行调节，增加了喷淋单元喷涂时的适用性，可适用于运输机构上不同大小的物体。
15.可选地，还包括伸缩机构，所述伸缩机构与所述盖板连接，用于调节所述底座与所述盖板的间距。其有益效果在于：通过设置伸缩机构，用于调节底座与盖板的间距，便于在非工作状态下，升起盖板对整个装置的维修保养，增加了装置的使用寿命。
16.可选地，所述伸缩机构包括限位杆、过渡块和伸缩气缸；所述伸缩气缸的伸缩端与所述过渡块连接；所述过渡块与所述盖板连接；所述限位杆与所述盖板连接，且与所述伸缩端的伸缩方向平行。其有益效果在于：采用伸缩气缸实现对盖体的高度调节。另外，通过设置限位杆，保证了伸缩移动时的稳定性。
17.可选地，还包括抽气筒，所述底座的下表面开设有若干抽气孔，所述抽气筒对应所述抽气孔与所述底座连接，所述抽气筒用于与抽气风机连接。其有益效果在于：采用抽气风机将反应气体抽走，避免了反应气体的散出，保证了良好的工作环境。
18.可选地，所述底座内还设有隔板和导流板，所述导流板对应所述第一开口的两侧边设置；所述隔板上间隔设有若干通孔，所述隔板与所述导流板连接。其有益效果在于：通过设置导流板，降低了反应气体向装置外扩散的可能性，并且设置隔板，隔板与导流板形成一个内腔，且在隔板上设置若干通孔，实现了对反应气体的导流。
19.可选地，所述第一排气孔的直径为1至5毫米，所述第二排气孔的直径为0.3至1.5毫米。其有益效果在于：保证排气时的均匀性。
附图说明
20.图1为本实用新型提供的喷淋装置的爆炸图；
21.图2为本实用新型提供的喷淋装置的立体图；
22.图3为本实用新型提供的喷淋单元的爆炸图。
23.附图标记：
24.底座1、第一开口2、运输机构3、盖板4、喷淋单元5、喷淋板6、第一排气孔7、第二排气孔8、固定板9、底板10、第一凹槽11、第二凹槽12、分流槽13、连接板14、分气阀15、导气管16、接气阀17、接气孔18、调节件19、调节杆20、调节孔21、伸缩机构22、限位杆23、过渡块24、伸缩气缸25、抽气筒26、抽气孔27、导流板28、隔板29、连接孔30、通孔31。
具体实施方式
25.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
26.针对现有技术存在的问题，本实用新型的实施例提供了一种喷淋装置，参考图1至3所示，该装置包括：底座1、运输机构3、盖板4和喷淋单元5。
27.其中，底座1的上表面设有第一开口2，运输机构3设于所述第一开口2，用于运输需要进行氧化反应的硅片。盖板4设于所述底座1的上方，且与所述底座1的上表面具有间距，所述盖板4的两侧边朝向所述运输机构3的方向延伸形成第二开口(图中未示出)，所述盖板4的上表面开设有若干连接孔30。喷淋单元5设于所述盖板4内，所述喷淋单元5内设有喷淋板6，所述喷淋板6设有若干第一排气孔7，且所述喷淋板6将所述喷淋单元5分隔成第一腔室和第二腔室，所述第一腔室与若干所述连接孔30导通，所述第二腔室对应所述运输机构3开设有第二排气孔8。
28.在本实施例中，将运输机构3设置在底座1上，用于对硅片进行运输，通过在盖板4上设置喷淋单元5，且喷淋单元5内通过喷淋板6分隔形成第一腔室和第二腔室，第一腔室与连接孔30连接导通，由于喷淋板6上设有若干第一排气孔7，第一腔室的底面对应运输机构3设有第二排气孔8，所以当反应气体通过连接孔30输入时，会依次经过第一腔室和第二腔室，最后通过第二开口排出到运输机构3上，保证了反应气体均匀稳定的排出与运输机构3上的硅片进行氧化反应，使硅片氧化较充分，提高了硅片氧化的均匀性，降低了生产成本。
29.需要说明的是，喷淋装置设置在反应室内，底座1设置在反应室的底端，盖板4与反应室的顶端固定设置，使盖板4与底座1具有一定的间距。另外，盖板4的两侧边朝向运输机构3的方向延伸形成第二开口，可设置成一体成型的结构，或设置将盖板4的两侧边设置为可拆卸的结构。
30.可选的，喷淋单元5还包括固定板9和底板10，若干接气孔18对应连接孔30设置在固定板9上，且喷淋板6对应固定板9开设有若干间隔设置的第一凹槽11，若干第一排气孔7分别设置在第一凹槽11内，喷淋板6与固定板9连接形成第一腔室。底板10对应喷淋板6开设有若干间隔设置的第二凹槽12，若干第二排气孔8分别设置在第二凹槽12内，底板10与喷淋板6连接时，会形成第二腔室。所以通过接气孔18、第一排气孔7和第二排气孔8，使反应气体可依次通过第一腔室和第二腔室，把气体打散，均匀的排出，保证了对物体的进行氧化反时
的均匀性，且不需要大量的反应气体，降低了生产成本。另外，喷淋板6对应固定板9设置有若干第一凹槽11，固定板9与喷淋板6连接后形成第一腔室，使喷淋单元5的结构简单紧凑，减小了安装空间，且底板10对应喷淋板6开设有第二凹槽12，且第二排气孔8设置与第二凹槽12内，底板10与喷淋板6连接后形成第二腔室，进一步使装置整体结构简单紧凑，减少安装使用的空间。
31.需要说明的是，底板10、固定板9和喷淋板6均为可拆卸连接，在本实施例中，在底板10、固定板9和喷淋板6上设置螺纹结构，通过螺栓实现配合连接，通过设置可拆卸的连接方式，便于对喷淋单元5的清洗维修。
32.可选的，若干第一凹槽11间隔设置，喷淋板6上对应接气孔18还设有分流槽13，且分流槽13位于相邻的第一凹槽11之间，并将相邻的第一凹槽11导通。通过在相邻的第一凹槽11之间设置分流槽13，并且分流槽13延伸至第一凹槽11，从而导通相邻的第一凹槽11，反应气体会先进入分流槽13内，然后均匀的输入至若干第一凹槽11内，进一步保证了反应气体排出时的均匀性。
33.在本实用新型公开的又一个实施例中，在上述实施例的基础上，参考图3所示，喷淋装置还包括分气阀15、若干导气管16和若干接气阀17，分气阀15设于盖体上，该分气阀15具有接气端和若干分气口，所述分气口通过导气管16与接气阀17的一端连接，接气阀17的另一端与接气孔18连接，接气端用于接入反应气体。从而实现对若干接气孔18同时输入反应气体，进一步保障反应气体排出时的均匀性。
34.可选的，喷淋装置还包括调节件19、调节杆20和连接板14。其中，盖板4的上表面还开设有若干调节孔21，连接板14与喷淋单元5连接，调节杆20的一端通过调节孔21与连接板14连接，调节件19与调节杆20连接，用于调节喷淋单元5的位置。
35.在本实施例中，调节杆20为螺纹杆，调节件19为与螺纹杆配合的旋钮，调节件19和连接板14分别位于盖板4的两侧，通过旋转调节件19实现对喷淋单元5的位置调节，增加了喷淋单元5喷涂时的适用性，可适用于运输机构3上不同大小的物体。
36.进一步的，喷淋装置还包括伸缩机构22，伸缩机构22与盖板4连接，用于调节底座1与盖板4的间距。可以理解的是，在本实施例中，盖体通过伸缩机构22与反应室的顶端固定连接，通过设置伸缩机构22，用于调节底座1与盖板4的间距，便于在非工作状态下，升起盖板4对整个装置的维修保养，增加了装置的使用寿命。
37.具体的，伸缩机构22包括限位杆23、过渡块24和伸缩气缸25，伸缩气缸25的伸缩端与过渡块24连接，过渡块24与盖板4连接，限位杆23与盖板4连接，且与伸缩端的伸缩方向平行。
38.在本实施例中，采用伸缩气缸25实现对盖体的高度调节，另外，通过设置限位杆23，保证了伸缩移动时的稳定性。可以了理解的是，限位杆23的一端与盖板4连接，为了起到限位的效果，限位杆23的另一端可活动的与反应室内连接结构固定连接，在此不详细阐述。
39.可选的，还包括抽气筒26，底座1的下表面开设有若干抽气孔27，抽气筒26对应所述抽气孔27与底座1连接，抽气筒26用于与抽气风机连接。采用抽气风机将反应气体抽走，避免了反应气体的散出，保证了良好的工作环境。
40.进一步的，底座1内还设有隔板29和导流板28，导流板28对应第一开口2的两侧边设置，隔板29上间隔设有若干通孔31，隔板29与导流板28连接。通过设置导流板28，降低了
反应气体向装置外扩散的可能性，并且设置隔板29，隔板29与导流板28形成一个内腔，且在隔板29上设置若干通孔31，实现了对反应气体的导流。
41.需要说明的是，第一排气孔7的直径可设为为1至5毫米，第二排气孔8的直径可设为0.3至1.5毫米。在一些实施例中，第一排气孔7的直径设置为1毫米，第二排气孔8的直径设置为0.3毫米。在又一些实施例中，第一排气孔7的直径设置为3毫米，第二排气孔8的直径设置为1毫米。在再一个实施例中，第一排气孔7的直径设置为5毫米，第二排气孔8的直径设置为1.5毫米。通过设置第一排气孔7和第二排气孔8的直径，保证排气时气流输出的均匀性。
42.虽然在上文中详细说明了本实用新型的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本实用新型的范围和精神之内。而且，在此说明的本实用新型可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。