带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法与流程

本申请是如下申请：以2020年12月30日向美国提出的us63/132，054(申请号)为基础申请，主张该基础申请的优先权。us63/132，054所记载的所有内容通过参照而并入到本申请中。本发明涉及带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法。例如，涉及使用了使描绘试样的电子束偏转的放大器的描绘装置。

背景技术：

1、近年来，随着lsi的高集成化，半导体设备的电路线宽被进一步微细化。作为形成用于向这些半导体设备形成电路图案的曝光用掩膜(也称作中间掩模。)的方法，使用具有优异的分辨率的电子束(eb：electron beam)描绘技术。

2、图6是用于说明可变成形型电子线描绘装置的动作的概念图。可变成形型电子线描绘装置如以下那样动作。在第1成形孔径基板410形成有用于成形电子线330的矩形的开口411。此外，在第2成形孔径基板420形成有用于将通过第1成形孔径基板410的开口411后的电子线330成形为所希望的矩形形状的可变成形开口421。从带电粒子源430发射并通过第1成形孔径基板410的开口411后的电子线330被偏转器偏转，通过第2成形孔径基板420的可变成形开口421的一部分，向搭载于在规定的一个方向(例如，设为x方向)上连续或者断续移动的工作台上的试样340照射。即，能够通过第1成形孔径基板410的开口411与第2成形孔径基板420的可变成形开口421的双方的矩形形状被描绘在搭载于在x方向上连续或者断续地移动的工作台上的试样340的描绘区域。将通过第1成形孔径基板410的开口411与第2成形孔径基板420的可变成形开口421的双方来制作任意形状的方式称作可变成形方式(vsb方式)。

3、如上所述，在描绘装置中，使电子束等带电粒子束偏转进行描绘，但在这种射束偏转中使用dac放大器单元(也简称为dac放大器)。作为使用了这样的dac放大器单元的射束偏转的作用，例如可举出射束发射的形状、尺寸的控制、发射位置的控制以及射束的消隐。

4、为了高精度地进行这些射束偏转，需要验证各dac放大器的输出是否被高精度地输出。因此，在搭载于描绘装置之前，验证各dac放大器的输出性能。但是，即使在搭载于描绘装置之前的dac放大器单体的试验环境中性能试验合格，在搭载于描绘装置时，由于干扰、连接不良等影响，有时也不能发挥预定的性能。因此，期望在搭载于描绘装置的状态下进行dac放大器的验证。例如，公开了如下方法：在对成对的两个电极施加使正负反转的反相电压的情况下，将向各个电极输出电压的两个dac放大器的输出在分别经由电容器之后相加并使用该相加值检测该两个dac放大器的至少一方的异常的异常检测装置搭载于描绘装置(例如，参照jp2010-074055a)。

5、认为通过将上述异常检测装置那样的诊断装置搭载于描绘装置，能够高精度地检测dac放大器的输出性能。但是，将诊断装置与描绘装置的电路连接，诊断装置本身有可能作为干扰源而作用于dac放大器、dac放大器的输出信号，产生恶劣影响。例如，为了诊断dac放大器的输出而连接的电缆可以作为干扰的天线发挥作用。

技术实现思路

1、发明要解决的课题

2、因此，本发明的一个方案提供一种能够在描绘装置搭载诊断机构并排除或者降低干扰的影响的描绘装置以及方法。

3、用于解决课题的手段

4、本发明的一个方案的带电粒子束描绘装置，其特征在于，具备：

5、电极，使带电粒子束偏转；

6、放大器，向电极施加偏转电位；

7、诊断电路，诊断放大器；

8、开关电路，配置在放大器的输出与电极之间，在电极与诊断电路之间切换放大器的输出；

9、电子光学系统，将通过由放大器施加偏转电位而偏转的带电粒子束照射到试样；

10、柱，在内部配置有电极以及电子光学系统；

11、第1同轴电缆，将放大器的输出侧与开关电路相连；

12、第2同轴电缆，将电极与开关电路相连；

13、第3同轴电缆，将放大器的输出侧与诊断电路相连；以及

14、电阻，与开关电路并联地将第1同轴电缆的内部导体与第2同轴电缆的内部导体连接，

15、第1同轴电缆的内部导体经由开关电路与第2同轴电缆的内部导体的一端侧连接，第1同轴电缆的外部导体经由开关电路与第2同轴电缆的外部导体的一端侧连接，

16、第1同轴电缆的内部导体经由开关电路与第3同轴电缆的内部导体的一端侧连接，第1同轴电缆的外部导体经由开关电路与第3同轴电缆的外部导体的一端侧连接，

17、开关电路在将放大器的输出切换到电极侧的情况下，将第3同轴电缆的内部导体与外部导体的双方从第1同轴电缆断开。

18、本发明的一个方案的带电粒子束描绘方法，其特征在于，

19、使用带电粒子束描绘装置，利用通过由放大器施加偏转电位而偏转的带电粒子束照射试样，该带电粒子束描绘装置具备：电极，使带电粒子束偏转；放大器，向电极施加偏转电位；诊断电路，诊断放大器；开关电路，配置在放大器的输出与电极之间，在电极与诊断电路之间切换放大器的输出；电子光学系统，将通过由放大器施加偏转电位而偏转的带电粒子束照射到试样；柱，在内部配置有电极以及电子光学系统；第1同轴电缆，将放大器的输出侧与开关电路相连；第2同轴电缆，将电极与开关电路相连；第3同轴电缆，将放大器的输出侧与诊断电路相连；以及电阻，与开关电路并联地将第1同轴电缆的内部导体与第2同轴电缆的内部导体连接，第1同轴电缆的内部导体经由开关电路与第2同轴电缆的内部导体的一端侧连接，第1同轴电缆的外部导体经由开关电路与第2同轴电缆的外部导体的一端侧连接，第1同轴电缆的内部导体经由开关电路与第3同轴电缆的内部导体的一端侧连接，第1同轴电缆的外部导体经由开关电路与第3同轴电缆的外部导体的一端侧连接，开关电路在将放大器的输出切换到电极侧的情况下，将第3同轴电缆的内部导体与外部导体的双方从第1同轴电缆断开，

20、使用开关电路将放大器的输出切换到诊断电路侧，

21、使用诊断电路诊断放大器的输出，并输出结果。

22、发明效果

23、根据本发明的一个方案，能够在描绘装置搭载诊断机构，并排除或者降低干扰的影响。

技术特征：

1.一种带电粒子束描绘装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

7.一种带电粒子束描绘方法，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的带电粒子束描绘方法，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的带电粒子束描绘方法，其特征在于，

10.根据权利要求7所述的带电粒子束描绘方法，其特征在于，

技术总结
本发明的一个方案的带电粒子束描绘装置，其特征在于，具备：电极，使带电粒子束偏转；放大器，向电极施加偏转电位；诊断电路，诊断放大器；开关电路，配置在放大器的输出与电极之间，在电极与诊断电路之间切换放大器的输出；电子光学系统，将通过由放大器施加偏转电位而偏转的带电粒子束照射到试样；柱，在内部配置有电极以及电子光学系统；第1同轴电缆，将放大器的输出侧与开关电路相连；第2同轴电缆，将电极与开关电路相连；第3同轴电缆，将放大器的输出侧与诊断电路相连；以及电阻，与开关电路并联地将第1同轴电缆的内部导体与第2同轴电缆的内部导体连接。

技术研发人员：仙石康雄,五岛嘉国,J·W·凯,黎志诚
受保护的技术使用者：纽富来科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15