1.一种反铁电电容器,其特征在于,包含:
2.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,每个该反铁电层是选自由zro2、hfo2,以及hfxzr1-xo2所构成的群组的材料制成,其中x表示分数。
3.根据权利要求2所述的反铁电电容器,其特征在于,每个该反铁电层进一步掺杂有选自si、y、al、la、gd、n、ti、mg、sr、ce、sn、ge、fe、ta、ba、ga、in和sc所构成群组中的一种或多种元素。
4.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,每个该界面层由si、y、al、la、gd、n、ti、mg、sr、ce、sn、ge、fe、ta、ba、ga、in或sc的氧化物制成。
5.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,该反铁电电容器的效率大于70%。
6.根据权利要求5所述的反铁电电容器,其特征在于,当该反铁电电容器的温度升高到150℃时,效率保持在70%以上。
7.根据权利要求5所述的反铁电电容器,其特征在于,当施加1010个单极脉冲循环到该反铁电电容器之后,该效率保持在70%以上。
8.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,当按比例增加该主层的厚度时,沿该反铁电电容器的离面方向的压缩应变被保持。
9.根据权利要求8所述的反铁电电容器,其特征在于,该反铁电电容器的离面方向的压缩应变大于该反铁电电容器的面内方向的压缩应变。
10.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,该主层中存在面内双轴拉伸应力。
11.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,该反铁电电容器的能量储存密度esd大于60j/cm3。
12.根据权利要求11所述的反铁电电容器,其特征在于,该能量储存密度esd为70j/cm3。
13.根据权利要求12所述的反铁电电容器,其特征在于,当该反铁电电容器的温度升高到150℃时,该能量储存密度esd保持在70j/cm3。
14.根据权利要求12所述的反铁电电容器,其特征在于,当施加1010个单极脉冲循环到该反铁电电容器之后,该能量储存密度esd保持在70j/cm3。
15.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,在该反铁电电容器的制造过程中,在每个反铁电层以及其相邻的该界面层之间发生相互扩散。
16.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,该主层的厚度介于5纳米至2微米之间。
17.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,该反铁电电容器的功率密度大于4×1010w/kg。
18.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,该反铁电电容器的放电时间不超过6微秒。
19.根据权利要求1所述的反铁电电容器,其特征在于,该第一电极以及该第二电极是选自由pt、w、tin、ti、ir、ru、ruox、cr、ni、au、ag,及al所构成群组的导电材料制成。