一种P型HBC电池结构及其制备方法与流程

文档序号:31622711发布日期:2022-09-23 23:45阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种p型hbc电池结构,其特征在于:它包括p型硅衬底(1),所述p型硅衬底(1)的背面中部设有一块p型重掺杂区(2),所述p型硅衬底(1)的正面和背面均设有非晶硅本征层(3),所述p型硅衬底(1)的背面的非晶硅本征层(3)的外侧设有n型非晶硅掺杂层(4),所述p型硅衬底(1)的正面的非晶硅本征层(3)的外侧设有sin
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减反膜(5);所述n型非晶硅掺杂层(4)的外侧设有tco导电膜(6);所述tco导电膜(6)的外侧设有若干n型ag电极(7),所述tco导电膜(6)上设有一个槽口,槽口的深度贯穿tco导电膜(6)和n型非晶硅掺杂层(4),使得p型重掺杂区(2)的底部裸露,所述p型重掺杂区(2)的底部连接p型ag电极(8),使用p型低温银浆料和p型重掺杂区(2)的铝浆料实现欧姆接触。2.根据权利要求1所述的一种p型hbc电池结构,其特征在于:所述p型重掺杂区(2)的宽度为20~60微米,高度为1~20微米。3.根据权利要求1所述的一种p型hbc电池结构,其特征在于:所述n型ag电极(7)使用n型低温银浆与tco导电膜(6)形成连接。4.根据权利要求1所述的一种p型hbc电池结构,其特征在于:所述槽口宽度大于p型重掺杂区(2)的宽度。5.一种权利要求1所述的p型hbc电池结构的制备方法,其特征在于,包括以下内容:步骤一、硅片清洗:选取p型硅片,对其进行制绒、清洗处理;硅片经高效清洗后制绒,硅片的正面形成绒面层;步骤二、印刷铝浆:在硅片的背面单面印刷,浆料为铝浆,印刷的位置为电池的p型重掺杂区;步骤三、高温烧结:将上述印刷后的硅片放入炉体中,在炉体中进行烧结,铝浆与硅片基体形成欧姆接触,形成p型重掺杂区域;步骤四、硅片清洗:将上述烧结后的硅片高效清洗,烧结后的铝浆依然裸漏于硅片表面,铝浆的厚度确保能和低温银浆形成接触;步骤五、双面本征层及n型非晶硅掺杂层镀膜:通过pecvd技术在电池片的正背面上均分别镀上本征非晶硅薄膜,形成非晶硅本征层;通过pecvd技术在电池片的背面镀上n型非晶硅掺杂层;步骤六、减反膜制备:通过pecvd方法在电池片的正面镀上sin
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减反膜;步骤七、tco导电膜沉积:通过采用pvd设备技术在电池片上镀透明的tco导电膜;步骤八、激光开槽 :在电池片背面的p型重掺杂区的底部激光开槽,激光消融tco导电膜、n型非晶硅掺杂层及非晶硅本征层,将铝浆料裸露在硅片表面;步骤九、电极印刷及烧结:通过丝网印刷工艺分别在电池背面印刷p型银浆和n型银浆,p型和n型的浆料均为低温银浆料;通过低温烧结后,n型低温银浆与tco膜层形成连接;通过低温烧结后,p型低温银浆料和铝浆料实现欧姆接触;
步骤十、分选测试:通过分选测试挑选需电池片。6.根据权利要求5所述的一种p型hbc电池结构的制备方法,其特征在于:步骤二中铝浆印刷浆料的宽度为20~60微米,高度为1~20微米。7.根据权利要求5所述的一种p型hbc电池结构的制备方法,其特征在于:步骤三中在炉体中的烧结温度为300~900℃。8.根据权利要求5所述的一种p型hbc电池结构的制备方法,其特征在于:步骤五中非晶硅本征层的膜层厚度为5~10nm,n型非晶硅掺杂层的厚度为5~15nm。9.根据权利要求5所述的一种p型hbc电池结构的制备方法,其特征在于:步骤八中激光开槽的宽度为100微米。10.根据权利要求5所述的一种p型hbc电池结构的制备方法,其特征在于:步骤八中将铝浆料裸露在硅片表面高度为5微米。

技术总结
本发明涉及的一种P型HBC电池结构及其制备方法,它包括P型硅衬底,所述P型硅衬底的背面中部设有一块P型重掺杂区,所述P型硅衬底的正面和背面均设有非晶硅本征层,所述P型硅衬底的背面的非晶硅本征层的外侧设有N型非晶硅掺杂层,所述P型硅衬底的正面的非晶硅本征层的外侧设有SiN


技术研发人员:杨飞 倪志春 连维飞 刘松民 张景洋
受保护的技术使用者:江苏爱康科技股份有限公司
技术研发日:2022.07.28
技术公布日:2022/9/22
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