微波等离子体清洗装置的制作方法

本发明涉及等离子体清洗设备，尤其涉及微波等离子体清洗装置。

背景技术：

1、微波等离子清洗技术可应用于材料表面改性、刻蚀及清洗；等离子化学气相沉积、溅射等领域。微波等离子体清洗设备主要由真空系统、水冷系统、控制系统、微波源和波导耦合系统组成，比较容易生成临界密度以上的稳定、高密度的等离子体，激发的等离子体中活化基团数量较高，没有电极放电不会产生电极污染。然而，市面上的微波真空等离子体清洗设备普遍是通过波导管传输，体积大，结构笨重，且一般都为单口馈入，生成的等离子体云面积小且主要集中在馈口处，均匀性差。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是：提供一种新型结构的微波等离子体清洗装置。

2、为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：微波等离子体清洗装置，包括壳体、微波馈口、传输铜棒、石英管和通道盖板；所述壳体具有一内腔，壳体上设有连通所述内腔的进气口和抽气口；所述通道盖板固定连接于所述壳体的外壁面，且所述通道盖板与壳体合围形成微波通道，所述石英管设于所述内腔中，且所述石英管与微波通道首尾相连通；所述传输铜棒包括首尾相连的馈入部和传输部，所述传输部设于所述微波通道中，所述馈入部设于所述石英管中；所述微波馈口设于所述壳体的外壁面上，且所述微波馈口与所述传输部的中部相连。

3、本发明的有益效果在于：本微波等离子体清洗装置利用微波通道和传输铜棒组成的同轴线结构将微波均分后从两侧馈入壳体的内腔，代替了体积较大的波导管和馈入口配合的传输方式，能够有效缩小清洗装置的体积，同时还能够增大微波馈入面积，使生成的等离子云不会聚集于壳体的一侧壁，有效增大了对产品表面的处理面积，缩短了处理时间，提高产品表面处理的均匀性和整体效率。

技术特征：

1.微波等离子体清洗装置，其特征在于：包括壳体、微波馈口、传输铜棒、石英管和通道盖板；所述壳体具有一内腔，壳体上设有连通所述内腔的进气口和抽气口；所述通道盖板固定连接于所述壳体的外壁面，且所述通道盖板与壳体合围形成微波通道，所述石英管设于所述内腔中，且所述石英管与微波通道首尾相连通；所述传输铜棒包括首尾相连的馈入部和传输部，所述传输部设于所述微波通道中，所述馈入部设于所述石英管中；所述微波馈口设于所述壳体的外壁面上，且所述微波馈口与所述传输部的中部相连。

2.根据权利要求1所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：所述馈入部的数量为多个，多个所述馈入部间隔排列设置。

3.根据权利要求1所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：所述壳体的两侧壁上分别设有与所述石英管的两端部配合的安装孔，所述壳体上还设有用于限位所述石英管的挡片。

4.根据权利要求3所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：所述石英管与所述安装孔的内壁面之间设有密封圈。

5.根据权利要求1所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：还包括屏蔽网，所述屏蔽网收容于所述内腔中并将所述内腔分隔为发生腔和收容腔，所述石英管设于所述发生腔中，所述进气口连通所述发生腔，所述抽气口连通所述收容腔。

6.根据权利要求5所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：还包括匀气板，所述匀气板收容于所述发生腔中并将所述发生腔分隔为微波馈入腔和匀气腔，所述石英管设于所述微波馈入腔中；所述匀气腔设于所述微波馈入腔远离所述收容腔的一侧，所述进气口连通所述匀气腔，所述匀气板上阵列地设有多个连通所述微波馈入腔和匀气腔的匀气孔。

7.根据权利要求1所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：还包括支架，所述支架包括承托板和支脚，所述承托板通过所述支脚固定连接于所述壳体内，所述抽气口设于所述承托板的正下方。

8.根据权利要求7所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：还包括治具，所述治具包括滑轨和若干个支撑杆，所述滑轨固定连接于所述承托板的顶面，若干个所述支撑杆分别与所述滑轨滑动配合。

9.根据权利要求1所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：还包括视窗玻璃，所述壳体的一侧壁上开设有观察窗，所述视窗玻璃封闭所述观察窗。

10.根据权利要求1所述的微波等离子体清洗装置，其特征在于：所述进气口处设有气管快速接头。

技术总结
本发明公开了微波等离子体清洗装置，包括壳体、微波馈口、传输铜棒、石英管和通道盖板；所述壳体具有一内腔，壳体上设有连通所述内腔的进气口和抽气口；所述通道盖板固定连接于所述壳体的外壁面，且所述通道盖板与壳体合围形成微波通道，所述石英管设于所述内腔中，且所述石英管与微波通道首尾相连通；所述传输铜棒包括首尾相连的馈入部和传输部，所述传输部设于所述微波通道中，所述馈入部设于所述石英管中；所述微波馈口设于所述壳体的外壁面上，且所述微波馈口与所述传输部的中部相连。本微波等离子体清洗装置利用微波通道和传输铜棒组成的同轴线结构将微波均分后从两侧馈入壳体内腔，能够增大微波馈入面积，提高产品表面处理的均匀性和效率。

技术研发人员：罗弦
受保护的技术使用者：广东澳地特电气技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12