片架组件及晶圆片架的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆生产领域，更具体地说，涉及一种片架组件及晶圆片架。


背景技术：

2.目前市场上常见的用于晶圆生产的容器多为晶圆片架，该晶圆片架存在以下缺点：1)目前的晶圆片架一般用于装载与其外形尺寸相对应的晶圆，该晶圆片架的外形尺寸通常是与装载其的载具和生产其的生产线对应设计的，所以同规格的载具和生产线一般只能与固定尺寸的晶圆片架相适配，当需要生产更小尺寸的晶圆时，一般需要制造对应尺寸的晶圆片架，并且只能通过更换载具以及调整生产线来放置对应的晶圆片架，从而加大了包装成本和设备成本，降低了生产效率。2)目前市场上的晶圆片架一般没有设置装载电子标签的装载结构，从而无法在其上设置电子标签，进而无法实现晶圆片架的数据信息与外置设备进行数据传输。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆片架，进一步提供一种改进的片架组件。
4.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆片架，包括具有通用外形的片架本体；所述片架本体中设置有容置设定尺寸晶圆的容置腔，所述片架本体的外形及外形尺寸与装载现有晶圆片架的载具和生产现有晶圆片架的生产线相适配；
5.所述晶圆片架还包括设置于所述片架本体上的装载结构，用于装载电子标签的装载结构。
6.在一些实施例中，所述片架本体包括供所述晶圆放入的第一端、以及与所述第一端相对设置的第二端；
7.所述片架本体包括相对设置的第一侧壁以及第二侧壁；所述第一侧壁设有第一延伸部；所述第一延伸部位于所述第一端且朝相背于所述第二侧壁一侧延伸；所述第二侧壁设有第二延伸部，所述第二延伸部位于所述第一端且朝相背于所述第一侧壁一侧延伸；
8.所述第一延伸部和所述第二延伸部的形状与装载现有片架本体的载具和生产现有片架本体的生产线相适配；
9.所述第一延伸部和所述第二延伸部最外侧边缘的距离与装载现有片架本体的载具内部尺寸相适配。
10.在一些实施例中，所述第一侧壁的内壁面设有多个第一限位槽，
11.所述第二侧壁的内壁面设有多个第二限位槽；
12.多个所述第一限位槽和多个所述第二限位槽一一对应设置，且相互配合给所述晶圆限位。
13.在一些实施例中，所述第一侧壁和/或所述第二侧壁的外壁面设有加强筋板；所述加强筋板从所述第一端朝所述第二端延伸设置；
14.所述装载结构设置于所述加强筋板上。
15.在一些实施例中，所述装载结构包括凸出设置于所述加强筋板上的容置部；所述容置部上设有容置所述电子标签的容纳腔。
16.在一些实施例中，所述容置部与所述加强筋板一体成型。
17.在一些实施例中，所述晶圆片架还包括设置于所述片架本体上的保护结构，用于保护片式标签。
18.在一些实施例中，所述保护结构包括设置于所述片架本体上容置所述片式标签的容置槽。
19.在一些实施例中，所述容置槽的内部形状以及尺寸与所述片式标签相适配，
20.所述保护结构还包括罩设于所述容置槽上的透明保护罩。
21.本实用新型还构造一种片架组件，包括可相互拼接的至少两个本实用新型所述的晶圆片架；
22.所述晶圆片架上设有拼接结构，用于与另一所述晶圆片架拼接。
23.实施本实用新型的片架组件及晶圆片架，具有以下有益效果：该晶圆片架通过设置具有通用外形的片架本体，并且将该片条本体的外形以及外形尺寸与装载现有晶圆片架的载具和生产现有晶圆片架的生产线相适配，从而能够适配现有的载具和生产线，提高现有载具和生产线的通用性，并且可降低设备成本，提高生产效率。另外，通过在片架本体上设置装载结构，从而可用于装载电子标签，进而可使得该晶圆片架与外置设备的数据信息进行无线双向传输。
附图说明
24.下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
25.图1是本实用新型一些实施例中晶圆片架的结构示意图；
26.图2是图1所示晶圆片架的另一角度的结构示意图；
27.图3是本实用新型一些实施例中片架组件的导片状态示意图；
28.图4是图3所述片架组件的另一导片状态示意图；
29.图5是图3所述片架组件的剖视图；
30.图6是图3所述片架组件的另一剖视图。
具体实施方式
31.为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。
32.图1及图2示出了本实用新型晶圆片架的一些优选实施例。该晶圆片架10可在生产线上用于收容晶圆20。该生产线可以为自动化生产线，且该晶圆片架10可装载在载具中，该载具可以为自锁式载具。该晶圆片架10可增强载具以及生产线的通用性，降低设备成本，提高生产效率。
33.如图1及图2所示，在一些实施例中，该晶圆片架可包括片架本体11，该片架本体11具有通用外形，其外形以及外形尺寸可与装载现有晶圆片架的载具和生产现有晶圆片架的生产线相适配。在一些实施例中，每个片架本体11中设置有容置腔110，该容置腔110可用于
容置设定尺寸的晶圆20。例如，晶圆片架x1的容置腔110可与8寸晶圆20对应设置；晶圆片架x2的容置腔110与6寸晶圆20对应设置；晶圆片架x1的片架本体11和晶圆片架x2的片架本体x2的外形以及外形尺寸一致，因此，可使用装载晶圆片架x2的自锁式载具来装载晶圆片架x2，而且也可采用生产8寸晶圆20的自动化生产线生产6寸晶圆20，该过程无需更换生产线也无需再设计对应的自锁式载具。通过将片架本体11的外形以及外形尺寸与装载现有晶圆片架的载具和生产现有晶圆片架的生产线相适配，在生产不同尺寸的晶圆时，无需更换自锁式载具和生产线，从而可提高现有载具和生产线的通用性，并且可降低设备成本，提高生产效率。在一些实施例中，该容置腔110可通过加厚该片架本体11的内壁或者减薄该片架本体11的内壁来设计对应尺寸进而适配设定尺寸晶圆20。需要说明的是，本实用新型所指的现有的载具和生产线，是指现有的装载标准尺寸和生产标准尺寸晶圆20的自锁式载具和生产线。
34.进一步地，在一些实施例中，该片架本体11为两端贯通的中空结构，即该片架本体11两端设有与该容置腔110连通的开口。具体地，该片架本体11包括第一端11a以及第二端11b。该第一端11a可供晶圆20放入，该第二端11b可与该第一端相对设置。在一些实施例中，该片架本体11的第一端11a的开口尺寸可大于该片架本体11的第二端11b的开口尺寸，且该片架本体11的第一端11a开口尺寸可大于第二端11b的开口尺寸，从而可使得晶圆20可从该第一端11a的开口装入，并收容于该容置腔110中，并可避免从该第二端11b的开口脱出。
35.进一步地，在一些实施例中，该片架本体11可包括第一侧壁111以及第二侧壁112；该第一侧壁111以及第二侧壁112相对设置。在一些实施例中，该片架本体11还可包括第三侧壁113和第四侧壁114；该第三侧壁113和该第四侧壁114可设置于该第一侧壁111和该第二侧壁112之间，该第三侧壁113和该第四侧壁114可间隔设置，且其分别与该第一侧壁111和该第二侧壁112连接。该第一侧壁111、第二侧壁112、第三侧壁113以及第四侧壁114可围设形成容置腔110。
36.进一步地，在一些实施例中，该第一侧壁111内壁面可设置第一限位槽1111，该第一限位槽1111可为多个，该多个第一限位槽可沿该第一侧壁111的长度方向间隔设置。该第一限位槽1111可以为贯穿该第一侧壁111内外侧的通槽，通过将其贯通设置，以方面可以起到减胶减轻整体重量作用，另一方面可方便清洗。该第一限位槽1111可包括第一直线槽以及第一斜线槽；该第一直线槽可从该片架本体11的第一端朝该容置腔110延伸，该第一斜线槽位于该片架本体11的下部且其一端可与该第一直线槽连接另一端可延伸至该片架本体11的第二端开口。该第一直线槽可供该晶圆20导入，该第一斜线槽可避免该晶圆20脱出。
37.进一步地，在一些实施例中，该第二侧壁112内壁面可设置第二限位槽1121，该第二限位槽1121可与该第一限位槽1111相互配合对晶圆20进行限位。该第二限位槽1121可为多个，该多个第二限位槽1121可沿该第二侧壁112的长度方向间隔设置。多个第二限位槽1121可与该多个第一限位槽1111一一对应设置。该第一限位槽1111与该第二限位槽1121对称均匀分布，有利于有效分离晶圆20并限制晶圆20的活动空间，能够有效防止晶圆20受损。该第二限位槽1121可以为贯穿该第二侧壁112内外侧的通槽，通过将其贯通设置，以方面可以起到减胶减轻整体重量作用，另一方面可方便清洗。该第二限位槽1121可包括第二直线槽以及第二斜线槽；该第二直线槽可从该片架本体11的第二端朝该容置腔110延伸，该第二斜线槽位于该片架本体11的下部且其一端可与该第二直线槽连接另一端可延伸至该片架
本体11的第二端开口。该第二直线槽可供该晶圆20导入，该第二斜线槽可避免该晶圆20脱出。
38.在一些实施例中，该第一限位槽1111和该第二限位槽1121的高度、宽度可与标准的晶圆片架10的限位槽的高度、宽度相一致，从而可使得制造限位槽的工艺可以通用，进而可降低制造成本。
39.进一步地，在一些实施例中，该第三侧壁113高度可小于该第一侧壁111以及第二侧壁112设置。该第三侧壁113的两端可分别与该第一侧壁111以及第二侧壁112连接，并可与该第三侧壁113一体成型。在一些实施例中，该第三侧壁113的外壁面可凸出设置限位凸筋1131，该限位凸筋1131可在该片架本体11至于自动化生产线时对该片架本体11进行限位，使得该片架本体11可平稳的设置于该自动化生产线中。
40.进一步地，在一些实施例中，该第四侧壁114的高度可小于该第一侧壁111以及第二侧壁112设置，从而可使得晶圆收容于容置腔110后，部分晶圆可从该第四侧壁114的顶部露出，进而可便于检测晶圆片架是否有存放晶圆。
41.进一步地，在一些实施例中，该第一侧壁111和该第二侧壁112的外壁面可设置加强筋板115，该加强筋板115可从该第一端11a朝第二端11b延伸设置。在一些实施例中，该第一侧壁111上和该第二侧壁112上均间隔设置两个加强筋板115，该加强筋板115可与第一侧壁111和第二侧壁112一体成型，具体地，其可与该第一侧壁111和该第二侧壁112通过注塑一体成型。该加强筋板115可用于加强该第一侧壁111和该第二侧壁112的强度。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一侧壁111上的加强筋板115可以省去，或该第二侧壁112上的加强筋板115也可省去。
42.进一步地，在一些实施例中，该第一侧壁111上设有第一延伸部116，该第一延伸部116可位于该片架本体11的第一端11a，且其可与该第一侧壁11a一体成型，其可从该片架本体11的第一端11a沿该第一侧壁111外侧延伸设置。该第一延伸部116的形状与该自锁式载具和自动化生产线适配，其可便于该片架本体11安装于现有的自锁式载具和自动化生产线上。
43.进一步地，在一些实施例中，该第二侧壁112上可设置第二延伸部117，该第二延伸部117可位于该片架本体11的第二端11b，且其可与该第二侧壁11b一体成型，其可从该片架本体11的第二端11b沿该第二侧壁112外侧延伸设置。该第二延伸部117可与该自锁式载具和自动化生产线适配，其可便于该片架本体11安装于现有的自锁式载具和自动化生产线上。
44.进一步地，在一些实施例中，该第一延伸部116和该第二延伸部117最外侧边缘的距离与装载现有片架本体11的载具内部尺寸相适配，进而可适用于现有的自锁式载具和自动化生产线。
45.进一步地，在一些实施例中，该片架本体11还包括第三延伸部118，该第三延伸部118可设置于该第一侧壁111远离该第一延伸部116的一端，且可向下延伸设置。该第三延伸部118可与该第一侧壁111一体成型，具体地，在一些实施例中，该第三延伸部118可与该第一侧壁111通过注塑一体成型。该第三延伸部118上设置有第一限位缺口1181，该第一限位缺口1181可用于与载具配合限位。在一些实施例中，该第一限位缺口1181可以为弧形缺口。
46.进一步地，在一些实施例中，该片架本体11还包括第四延伸部119，该第四延伸部
119可设置于该第二侧壁112远离该第二延伸部117的一端，且可向下延伸设置。该第四延伸部119可与该第二侧壁112一体成型，具体地，在一些实施例中，该第四延伸部119可与该第二侧壁112通过注塑一体成型。该第四延伸部119上设置有第二限位缺口1191，该第二限位缺口1191可与该第一限位缺口1181相对设置，该第二限位缺口1191可与该载具配合限位。在一些实施例中，该第二限位缺口1191可以为弧形槽。
47.进一步地，在一些实施例中，该晶圆片架还包括装载结构12，该装载结构12可设置于该片架本体11上，用于装载电子标签。具体地，该电子标签可以为棒式电子标签。当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该电子标签可不限于为棒式电子标签。在一些实施例中，该装载结构12可设置于该加强筋板115上，当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该装载结构12可不限于设置于该加强筋板115上。该装载结构12可包括容置部，该容置部可设置于该加强筋板115上，与该加强筋板115一体成型。具体地，其可与该加强筋板115通过注塑一体成型。该容置部为在该加强筋板115上设置的管状凸起。该容置部上设有管式的容纳腔，该容纳腔可沿该加强筋板115的纵向设置，其该容纳腔与该第二端11b相对设置的的一端设有开口，以供电子标签装入。通过设置该容置部容置电子标签，从而可通过电子标签实现晶圆片架与外置设备的数据信息无线双向传输。
48.进一步地，在一些实施例中，该晶圆片架还包括保护结构13，该保护结构13设置于该片架本体11上，可用于供片式标签设置，用于保护片式标签。在一些实施例中，该保护结构13可包括容置槽131，该容置槽131可以为浅槽，该容置槽131设置于该片架本体11上，具体地，在一些实施例中，该容置槽131可设置于该第四侧壁114上。在一些实施例中，该容置槽131的内部形状以及尺寸可与该片式标签相适配。具体地，该容置槽131可以为方形槽，其深度可略大于该片式标签的深度，其长度和宽度均可略大于该片式标签的长度和宽度。在一些实施例中，该保护结构13还包括透明保护罩；该透明保护罩可罩设于该容置槽131上，且可与该容置槽131可拆卸连接，该透明保护罩可对该片式标签起到防护作用，比如可防止片式标签被撕坏或者被弄湿。可以理解地，在其他一些实施例中，该保护结构13不限于设置在该第四侧壁114上，且该保护结构13在一些实施例中也可以省去。
49.图3至图6示出了本实用新型片架组件的一些实施例。该片架组件可包括至少两个上述的晶圆片架10。该两个晶圆片架10可相互拼接，从而可便于实现导片。该晶圆片架10上设有拼接结构，该拼接结构可用于将两个晶圆片架10可拆卸拼接。具体地，该第一延伸部116和该第二延伸部117上均可设置于另一片架本体11可拆卸连接以进行导片的拼接结构。当然，可以理解地，在其他一些实施例中，该拼接结构可只设置于该第一延伸部116上或者只设置于该第二延伸部117上。
50.在一些实施例中，该拼接结构可包括设置在该第一延伸部116上的第一插销1161以及另一片架本体11上的第二延伸部117上设置的第二插孔1171。当第一晶圆片架10a，和第二晶圆片架10b进行装配时，可分别将该第一晶圆片架10a和第二晶圆片架10b旋转180度，再将其中一个的第一延伸部116与另一个的第二延伸部117对应设置，该第一延伸部116上的第一插销1161可拆卸插入该第二延伸部117中的第二插孔1171，进而可将该第一晶圆片架10a和第二晶圆片架10b装配，从而便于导片，从而可提高实用性和便捷性。可以理解地，在一些实施例中，该拼接结构也可包括设置在该第一延伸部116上的第一插孔以及设置在另一片架本体11的第二延伸部117上的第二插销。当然，可以理解地，在其他一些实施例
中，该晶圆片架10也可与现有的晶圆片架10装配进行导片，只需现有的晶圆片架10设有对应的拼接结构即可，例如对应设有插销或者插孔。在其他一些实施例中，该晶圆片架10也可与目前市场上与该晶圆片架10容置腔110同规格的标准外形的晶圆片架10进行装配，然后进行导片。
51.可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。