一种晶圆热缩加工机构的制作方法

本技术涉及晶圆加工设备领域，具体为一种晶圆热缩。

背景技术：

1、在制备晶圆工艺中，需要将晶圆切割成若干晶粒。在切割晶圆时，晶圆下方通常会设置有daf膜，利用设置在钢环上的覆膜粘贴daf膜，然后对晶圆进行激光切割。

2、在切割后，从覆膜下方对晶圆进行顶升，使得位于覆膜上方的晶粒彼此分开。但是，由于在对覆膜顶升的过程中，覆膜伸展，在完成对晶粒的扩展后覆膜无法恢复至扩展前的状态，此时覆膜在钢环内不能平整的铺开。因此，需要将覆膜从钢环上取下，然后将覆膜粘接在环心更大的钢环上，以使得覆膜在在钢环内平整铺开。这种方式工作效率低，生产成本高。

3、鉴于此，有必要提供一种晶圆热缩加工机构。

技术实现思路

1、本实用新型提供的一种晶圆热缩加工机构，有效的解决了现有晶圆加工过程中需要重新更换钢环引起的工作效率低、生产成本高的问题。

2、本实用新型所采用的技术方案是：

3、一种晶圆热缩加工机构，包括机架、盖板组件、可相对机架升降的安装架、固定设置在机架上且位于安装架下方的固定架以及固定设置在机架上的热吹风组件，所述安装架包括一号架和二号架，所述一号架包括若干可相对机架端面升降的一号导轴、固定设置在一号导轴上端的托板以及与一号导轴下端固定连接的三号板，所述二号架包括若干可相对机架端面升降的二号导轴、固定设置在二号导轴上端的吸板以及与二号导轴固定连接的四号板，所述固定架上设置有用于驱动一号架升降的六号气缸和用于驱动二号架升降的丝杆模组，所述托板上设置有对覆膜进行避位的三号通孔，所述吸板位于三号通孔下方，所述盖板组件包括两条平行设置在机架上的直线导轨、分别滑动设置在两条直线导轨上的移动板、连接两个移动板上端的限位板以及设置在机架上用于驱动移动板相对直线导轨运动的五号气缸，所述限位板上设置有通风孔，所述吸板上竖向设置有若干吸风孔，所述热吹风组件设置在安装架一侧用于对托板上的产品吹热风。

4、进一步的是：所述热吹风组件包括设置在机架上的立柱、设置在立柱上的二号直线模组、设置在二号直线模组上的支架、设置在支架上的旋转驱动组件、设置在旋转驱动组件输出端的热风枪和容纳热风枪的导风罩，所述导风罩的下端面设置有出风口。

5、进一步的是：所述通风孔的孔径不小于三号通孔孔径。

6、进一步的是：所述吸板外沿周向设置有若干滚轴，所述滚轴水平设置，若干所述滚轴滚动方向为三号通孔的径向，

7、进一步的是：所述托板上还中心对称设置有四个一号腰型槽，所述一号腰型槽与三号通孔连通，所述限位板上设置有可与四个一号腰型槽一一对应的二号腰型槽，所述限位板上设置有四个输出端伸缩方向与一号腰型槽一一对应的七号气缸，所述七号气缸的输出端上固定设置有与一号腰型槽滑动连接的限位柱，当限位板对产品进行限位时，所述限位柱上端伸入二号腰型槽内。

8、实用新型的有益效果：

9、1、热缩机构的结构设计以及具体实施方式能够使得经过拉伸后的覆膜受热收缩，且受热收缩的部分仅限于晶粒与钢环之间的覆膜。使得被拉伸后的覆膜不需要更换钢环。使得工作效率更高，生产成本更低。

10、2、通过设置滚轴，能够使得滚轴在受热收缩时能够受到滚轴的托举和导向，使得覆膜的收缩能够顺利进行。

技术特征：

1.一种晶圆热缩加工机构，其特征在于：包括机架(1)、盖板组件(52)、可相对机架(1)升降的安装架、固定设置在机架(1)上且位于安装架下方的固定架以及固定设置在机架(1)上的热吹风组件(51)，所述安装架包括一号架和二号架，所述一号架包括若干可相对机架(1)端面升降的一号导轴(501)、固定设置在一号导轴(501)上端的托板(502)以及与一号导轴(501)下端固定连接的三号板(503)，所述二号架包括若干可相对机架(1)端面升降的二号导轴(504)、固定设置在二号导轴(504)上端的吸板(505)以及与二号导轴(504)固定连接的四号板(506)，所述固定架上设置有用于驱动一号架升降的六号气缸(507)和用于驱动二号架升降的丝杆模组(508)，所述托板(502)上设置有对覆膜进行避位的三号通孔，所述吸板(505)位于三号通孔下方，所述盖板组件(52)包括两条平行设置在机架(1)上的直线导轨(509)、分别滑动设置在两条直线导轨(509)上的移动板(510)、连接两个移动板(510)上端的限位板(511)以及设置在机架(1)上用于驱动移动板(510)相对直线导轨(509)运动的五号气缸(512)，所述限位板(511)上设置有通风孔(5111)，所述吸板(505)上竖向设置有若干吸风孔，所述热吹风组件(51)设置在安装架一侧用于对托板(502)上的产品吹热风。

2.根据权利要求1所述的晶圆热缩加工机构，其特征在于：所述热吹风组件(51)包括设置在机架(1)上的立柱(513)、设置在立柱(513)上的二号直线模组(514)、设置在二号直线模组(514)上的支架(515)、设置在支架(515)上的旋转驱动组件(519)、设置在旋转驱动组件(519)输出端的热风枪和容纳热风枪的导风罩(516)，所述导风罩(516)的下端面设置有出风口。

3.根据权利要求1所述的晶圆热缩加工机构，其特征在于：所述通风孔(5111)的孔径不小于三号通孔孔径。

4.根据权利要求1所述的晶圆热缩加工机构，其特征在于：所述吸板(505)外沿周向设置有若干滚轴(517)，所述滚轴(517)水平设置，若干所述滚轴(517)滚动方向为三号通孔的径向，

5.根据权利要求1所述的晶圆热缩加工机构，其特征在于：所述托板(502)上还中心对称设置有四个一号腰型槽(5020)，所述一号腰型槽(5020)与三号通孔连通，所述限位板(511)上设置有可与四个一号腰型槽(5020)一一对应的二号腰型槽(5110)，所述限位板(511)上设置有四个输出端伸缩方向与一号腰型槽(5020)一一对应的七号气缸(518)，所述七号气缸(518)的输出端上固定设置有与一号腰型槽(5020)滑动连接的限位柱(520)，当限位板(511)对产品进行限位时，所述限位柱(520)上端伸入二号腰型槽(5110)内。

技术总结
本技术公开了一种晶圆热缩加工机构，包括机架、盖板组件、可相对机架升降的安装架、固定架以及热吹风组件，安装架包括一号架和二号架，一号架包括若干可相对机架端面升降的一号导轴、托板以及与一号导轴下端固定连接的三号板，二号架包括若干二号导轴、吸板以及与二号导轴连接的四号板，固定架上设置有六号气缸和丝杆模组，托板上设置有三号通孔，吸板位于三号通孔下方，盖板组件包括直线导轨、分别滑动设置在两条直线导轨上的移动板、限位板以及五号气缸，限位板上设置有通风孔，吸板上设置有若干吸风孔，热吹风组件设置在安装架一侧用于对托板上的产品吹热风。优点：不用更换钢环。使得工作效率更高，生产成本更低。

技术研发人员：陶为银,蔡正道,王鹏,闫兴
受保护的技术使用者：河南通用智能装备有限公司
技术研发日：20221125
技术公布日：2024/1/11