1.一种用于真空工艺系统的工艺挡板结构，所述工艺挡板结构包括：
2.根据权利要求1所述的结构，其中，所述支承表面(12)从所述镰刀形件的内周边dsi径向延伸，所述榫定位成在所述内径dsi附近或与邻近所述内径dsi。
3.根据权利要求1或2所述的结构，其中，所述片还包括沿水平侧向方向和/或竖直向下方向延伸的圆周边沿(6，6')。
4.根据权利要求3所述的结构，其中，所述榫眼布置在所述边沿的内径dri内或所述内部定位边沿的突出部内，并且邻近所述边沿或所述突出部。
5.根据前述权利要求中任一项所述的结构，其中，所述榫眼具有基本矩形几何形状。
6.根据前述权利要求中任一项所述的结构，其中，所述片涂覆有金属或陶瓷材料，或者由金属或陶瓷材料制成。
7.根据前述权利要求中任一项所述的结构，其中，所述挡板臂包括侧壁，所述侧壁至少部分地形成所述镰刀形件的外周边dso，其中所述片的外径ddo装配到所述侧壁的内周边dwi中。
8.根据权利要求7所述的结构，其中，所述侧壁包围大约半圆形的所述支承表面。
9.根据权利要求7所述的结构，其中，所述榫安装在从所述侧壁突出来的悬臂上。
10.根据前述权利要求中任一项所述的结构，其中，所述镰刀形件的支承表面在所述镰刀形件的内径dsi的180°至360°的角度范围内延伸。
11.根据前述权利要求中任一项所述的结构，其中，所述榫具有基本矩形、圆形或椭圆形几何形状。
12.根据权利要求11所述的结构，其中，所述榫具有带有圆角或圆形端部几何形状的矩形或方形基部。
13.根据前述权利要求中任一项所述的结构，其中，所述臂由具有至少100gpa的弹性模量的材料制成，尤其是相应的陶瓷材料。
14.根据前述权利要求中任一项所述的结构，其中，所述榫设置在所述片的第一表面处，并且所述榫眼设置在所述镰刀形件的支承表面上或从所述侧壁突出来的所述悬臂上。
15.一种挡板片，所述挡板片具有基本上圆周的外径ddo、厚度t、第一表面(2)和第二表面(3)，所述片在所述第一表面(2)中在所述外径ddo附近包括至少三个定位榫眼(4)，每个榫眼相对于在所述片的xy平面中的径向轴线ξ1-3与相应的竖直线之间的平面居中并对称，并且具有：平行于轴线ξ1-3或与轴线ξ1-3成直角定位的两条长边a；以及短尺寸b；以及深度尺寸d，其中b<a。
16.根据权利要求15的挡板片，其中，所述第二表面包括至少一个控制缺口。
17.一种挡板臂(10)，所述挡板臂包括：带有安装装置的柄(15)；带有内周边dsi的支承镰刀形件(11)；以及至少三个定位榫，所述定位榫在所述镰刀形件的内径dsi附近或邻近所述镰刀形件的内径dsi，每个榫定位在所述镰刀形件的xy平面中的径向轴线η1-3上并且关于沿相应轴线η1-3和高度方向z延伸的中间平面对称，每个榫具有长尺寸m、短尺寸n和高度尺寸h，其中n≤m。
18.一种真空工艺系统，所述真空工艺系统包括：真空工艺室(31)，所述真空工艺室容纳卡盘，所述卡盘带有销(21)，所述销沿z方向可移动地安装到销驱动器(22)；以及根据权利要求1至14中任一项所述的工艺挡板结构，其中所述结构的臂10安装到具有竖直旋转轴线r的杆的真空侧，所述杆通过馈通装置安装到所述室，并且在所述杆的大气侧处与挡板驱动器可操作地连接，以使所述臂从所述工艺室的适当位置或单独隔室旋转到在所述卡盘上方的中心位置中。
19.根据权利要求18所述的工艺系统，其中，所述销驱动器在大气侧或所述真空侧上安装到所述工艺室。
20.根据权利要求18或19所述的工艺系统，还包括控制单元，所述控制单元连接到所述销驱动器和所述挡板驱动器以协调所述臂的旋转运动和所述销的线性z运动，从而使所述臂与所述片一起旋转，并在所述臂处于所述中心位置中时抬升和降低所述片。
21.在根据权利要求18至20中任一项所述的真空工艺系统的室中使用根据权利要求1至14中任一项所述的工艺挡板结构的方法，所述方法包括以下步骤：
22.根据权利要求21所述的方法，进一步包括以下步骤：