1.一种用于制备异质结太阳能电池的设备，其特征在于，所述异质结太阳能电池包括硅衬底，依次层叠设置于所述硅衬底第一表面的第一本征钝化层和第一掺杂层，以及依次层叠设置于所述硅衬底第二表面的第二本征钝化层和第二掺杂层，所述第一本征钝化层包括第一子本征层和第二子本征层，所述第二本征钝化层包括第三子本征层和第四子本征层；所述设备包括：
2.根据权利要求1所述的用于制备异质结太阳能电池的设备，其特征在于，所述第一工艺腔体内的工艺温度范围为130～200℃，所述第二工艺腔体内的工艺温度范围为180～250℃。
3.根据权利要求1所述的用于制备异质结太阳能电池的设备，其特征在于，所述第一工艺腔体与所述第二工艺腔体通过第一门阀连通，所述第一工艺腔体和所述第二工艺腔体内分别设有第一加热装置和第二加热装置，所述第一工艺腔体和所述第二工艺腔体内还分别设有第一传输机构和第二传输机构；
4.根据权利要求1所述的用于制备异质结太阳能电池的设备，其特征在于，所述设备还包括加热腔体，所述加热腔体位于所述第一工艺腔体和所述第二工艺腔体之间；
5.根据权利要求1所述的用于制备异质结太阳能电池的设备，其特征在于，所述设备还包括第三工艺腔体，所述第三工艺腔体位于所述第一工艺腔体和所述第二工艺腔体之间；
6.根据权利要求5所述的用于制备异质结太阳能电池的设备，其特征在于，所述第一本征钝化层还包括第五子本征层，其中，所述第一子本征层、所述第五子本征层和所述第二子本征层依次层叠设置；和/或，所述第二本征钝化层还包括第六子本征层，其中，所述第三子本征层、所述第六子本征层和所述第四子本征层依次层叠设置；
7.根据权利要求1-6任一项所述的用于制备异质结太阳能电池的设备，其特征在于，所述设备还包括缓冲腔体，所述缓冲腔体内设有传输机构；
8.一种用于制备异质结太阳能电池的系统，其特征在于，所述异质结太阳能电池包括硅衬底，依次层叠设置于所述硅衬底第一表面的第一本征钝化层和第一掺杂层，以及依次层叠设置于所述硅衬底第二表面的第二本征钝化层和第二掺杂层，所述第一本征钝化层包括第一子本征层和第二子本征层，所述第二本征钝化层包括第三子本征层和第四子本征层；所述系统依次包括：第一镀膜设备和第二镀膜设备，其特征在于：
9.一种用于制备异质结太阳能电池的系统，其特征在于，所述异质结太阳能电池包括硅衬底，依次层叠设置于所述硅衬底第一表面的第一本征钝化层和第一掺杂层，以及依次层叠设置于所述硅衬底第二表面的第二本征钝化层和第二掺杂层，所述第一本征钝化层包括第一子本征层和第二子本征层，所述第二本征钝化层包括第三子本征层和第四子本征层；所述系统依次包括：第一镀膜设备、第二镀膜设备和第三镀膜设备，其特征在于：
10.根据权利要求8或9所述的用于制备异质结太阳能电池的系统，其特征在于，所述第一工艺腔体和所述第二工艺腔体之间还设置有加热腔体。
11.根据权利要求8或9所述的用于制备异质结太阳能电池的系统，其特征在于，所述第一工艺腔体和所述第二工艺腔体之间还设置有第三工艺腔体，其用于在所述第一子本征层和所述第二子本征层之间制备第五子本征层，或用于在所述第三子本征层和所述第四子本征层之间制备第六子本征层。
12.一种制备异质结太阳能电池的方法，其特征在于，所述方法至少使用两台如权利要求1-7任一项所述的用于制备异质结太阳能电池的设备；所述方法包括：
13.根据权利要求12所述的制备异质结太阳能电池的方法，其特征在于，所述第一工艺温度的范围为130～200℃，所述第二工艺温度的范围为180～250℃。